含氟二氧化硅玻璃的制造方法与流程

本公开涉及一种含氟二氧化硅玻璃的制造方法。本申请基于2020年9月28日申请的日本专利申请第2020-162359号来主张优先权，并援引所述日本专利申请中记载的全部记载内容。

背景技术：

1、在专利文献1～3中公开了如下方法：通过将玻璃母材暴露在含有氟化合物气体以及he等非活性气体的气氛中而向玻璃母材添加氟，然后将玻璃母材烧结而使其透明化。如专利文献3所公开的那样，在这样的现有的含氟二氧化硅玻璃的制造方法中，将制造装置内的压力设为1个大气压以上来实施各工序。

2、在专利文献4中公开了如下内容：在能够减压至0.1torr以下的加热炉内，将玻璃微粒集合体暴露在含有卤素的非活性气体气氛中，由此促进玻璃微粒集合体的脱水反应。在专利文献5中公开了如下方法：在减压下一边吹送氯等卤素气体一边加热玻璃母材，使玻璃母材透明化。在专利文献6中记载了一种透明玻璃的制造方法，包括如下工序：在能够进行真空脱气的加热炉中供给含co气体，由此除去玻璃微粒堆积体中含有的oh，然后在减压下除去玻璃微粒堆积体的表面的co。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开昭60-90842号公报

6、专利文献2：日本特开昭62-153130号公报

7、专利文献3：日本特开昭61-247633号公报

8、专利文献4：日本特开昭56-63833号公报

9、专利文献5：日本特开平1-275441号公报

10、专利文献6：日本特开2008-50202号公报

技术实现思路

1、本公开的一个方式所涉及的含氟二氧化硅玻璃的制造方法，具有：

2、脱气工序，将多孔二氧化硅玻璃体插入到设置于具有气密性的容器内的炉心管内，然后一边对所述炉心管内进行加热一边进行减压脱气；

3、供给工序，在减压下向所述炉心管内供给氟化合物气体；

4、氟添加工序，一边在向所述炉心管内供给所述氟化合物气体的同时从所述炉心管内排出气体，一边在减压下对所述多孔二氧化硅玻璃体进行热处理；以及

5、透明玻璃化工序，在比所述脱气工序以及所述氟添加工序的温度高的温度下在减压气氛中进行加热处理。

技术特征：

1.一种含氟二氧化硅玻璃的制造方法，具有：

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，

3.根据权利要求1或2所述的制造方法，其中，

4.根据权利要求3所述的制造方法，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的制造方法，其中，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的制造方法，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的制造方法，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的制造方法，其中，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的制造方法，其中，

10.根据权利要求1至9中任一项所述的制造方法，其中，

11.根据权利要求1至10中任一项所述的制造方法，包括：

12.根据权利要求11所述的制造方法，其中，

13.根据权利要求1至12中任一项所述的制造方法，其中，

14.根据权利要求1至13中任一项所述的制造方法，其中，

技术总结
一种含氟二氧化硅玻璃的制造方法，具有：脱气工序，将多孔二氧化硅玻璃体插入到设置于具有气密性的容器内的炉心管内，然后一边对所述炉心管内进行加热一边进行减压脱气；供给工序，在减压下向所述炉心管内供给氟化合物气体；氟添加工序，一边在向所述炉心管内供给所述氟化合物气体的同时从所述炉心管内排出气体，一边在减压下对所述多孔二氧化硅玻璃体进行热处理；以及透明玻璃化工序，在比所述脱气工序以及所述氟添加工序的温度高的温度下在减压气氛中进行加热处理。

技术研发人员：春名徹也,石川真二,森田圭省,长谷川达郎,荒川盛司
受保护的技术使用者：住友电气工业株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13