引晶功率的确定方法及装置与流程

本发明涉及单晶硅生产，尤其涉及一种引晶功率的确定方法及装置。

背景技术：

1、硅是目前最常见、应用最广的新型材料之一，在单晶硅的生产工艺中，引晶功率是控制拉晶过程的一个重要参数。由于设备炉型、热场存在差异，且热场在使用过程中存在性能衰减、损耗、换件等，而人工修正引晶功率受限于经验，且需考虑因素过多，难以根据每台的设备情况进行引晶功率的精准修正。当所确定的引晶功率不合理时，即使可以正常完成引晶，但进入放肩后，引晶功率偏差造成放肩过程直径增长速度不一致，也容易导致放肩扩断或者等径断苞。

2、相关技术中，人工修正引晶功率没有成体系的标准，主观经验影响大，考虑因素复杂，修正值难以精准，不能保证不同炉台、炉次、根次间修正法的统一，不利于提升各拉晶工序的拉速、晶体形状、温度的一致性，对产量也有着负面影响，故亟需一种更可靠的引晶功率的确定方法。

技术实现思路

1、本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

2、为此，本发明的第一个目的在于提出一种引晶功率的确定方法，基于单晶硅生产过程中的历史数据样本建立的引晶功率计算模型，实现单晶硅生产过程中的实时引晶功率的精准确定，避免人工不合理修正，提高单晶硅对应的成晶率和产能。

3、本发明的第二个目的在于提出一种引晶功率的确定装置。

4、本发明的第三个目的在于提出一种电子设备。

5、本发明的第四个目的在于提出一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质。

6、本发明的第五个目的在于提出一种计算机程序产品。

7、为达上述目的，本发明第一方面实施例提出了一种引晶功率的确定方法，包括：

8、获取单晶硅生产过程中的历史数据样本，其中，所述历史数据样本包括与引晶功率相关的工况特征向量，以及不同工况特征向量对应的引晶功率；

9、基于所述工况特征向量与所述引晶功率之间的映射关系，构建所述单晶硅对应的引晶功率计算模型；

10、将所述单晶硅实时生产过程中的实时工况特征向量输入到所述引晶功率计算模型进行预测，以得到实时引晶功率。

11、为达上述目的，本发明第二方面实施例提出了一种引晶功率的确定装置，包括：

12、获取模块，用于获取单晶硅生产过程中的历史数据样本，其中，所述历史数据样本包括与引晶功率相关的工况特征向量，以及不同工况特征向量对应的引晶功率；

13、构建模块，用于基于所述工况特征向量与所述引晶功率之间的映射关系，构建所述单晶硅对应的引晶功率计算模型；

14、预测模块，用于将所述单晶硅实时生产过程中的实时工况特征向量输入到所述引晶功率计算模型进行预测，以得到实时引晶功率。

15、为达上述目的，本发明第三方面实施例提出了一种电子设备，包括：至少一个处理器；以及与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行第一方面所述的方法。

16、为了实现上述目的，本发明第四方面实施例提出了一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质，计算机指令用于使所述计算机执行第一方面所述的方法。

17、为了实现上述目的，本发明第五方面实施例提出了一种计算机程序产品，计算机程序在被处理器执行时实现第一方面所述的方法。

18、本发明实施例提供的引晶功率的确定方法、装置、电子设备、存储介质和计算机程序，获取单晶硅生产过程中的历史数据样本，其中，历史数据样本包括与引晶功率相关的工况特征向量，以及不同工况特征向量对应的引晶功率；基于工况特征向量与引晶功率之间的映射关系，构建单晶硅对应的引晶功率计算模型；将单晶硅实时生产过程中的实时工况特征向量输入到引晶功率计算模型进行预测，以得到实时引晶功率，由此，基于单晶硅生产过程中的历史数据样本建立的引晶功率计算模型，实现单晶硅生产过程中的实时引晶功率的精准确定，避免人工不合理修正，提高单晶硅的成晶率和产能。

19、本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种引晶功率的确定方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，所述获取单晶硅生产过程中的历史数据样本，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

6.一种引晶功率的确定装置，其特征在于，所述装置包括：

7.根据权利要求6所述的装置，所述获取模块，具体用于：

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

9.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

11.一种电子设备，其特征在于，包括：

12.一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机指令用于使所述计算机执行根据权利要求1-5中任一项所述的方法。

13.一种计算机程序产品，其特征在于，包括计算机程序，所述计算机程序在被处理器执行时实现根据权利要求1-5中任一项所述的方法。

技术总结
本发明提出一种引晶功率的确定方法及装置，涉及单晶硅生产技术领域，方法包括：获取单晶硅生产过程中的历史数据样本，其中，历史数据样本包括与引晶功率相关的工况特征向量，以及不同工况特征向量对应的引晶功率；基于工况特征向量与引晶功率之间的映射关系，构建单晶硅对应的引晶功率计算模型；将单晶硅实时生产过程中的实时工况特征向量输入到引晶功率计算模型进行预测，以得到实时引晶功率，由此，基于单晶硅生产过程中的历史数据样本建立的引晶功率计算模型，实现单晶硅生产过程中的实时引晶功率的精准确定，避免人工不合理修正，提高单晶硅的成晶率和产能。

技术研发人员：曹建伟,傅林坚,刘华,钟坚,童佳妮
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15