本发明涉及半导体制造，尤其是指一种用于分子束外延腔体中的磷回收单元、系统及回收方法。
背景技术：
1、在分子束外延(molecular beam epitaxy, mbe)系统中，材料通过在超高真空状态下蒸发固态源并直接沉积到衬底的方法完成合成。
2、其中磷源是一种常见的用于mbe生长的源材料，mbe生长磷化物广泛应用于激光器、雷达、探测器及高频通讯器件中。然而，mbe技术不可避免得带来一个问题，即大量的材料被蒸发至腔体中沉积在腔室表面无法去除。
3、磷，尤其是白磷，因其质地松散、燃点极低等特点，使得生长完磷化物的mbe腔体维护十分困难，安全事故频发；磷材料燃烧产生的烟雾也对现场mbe的使用及维护人员造成生理毒性伤害。
4、为解决这一问题，目前主流的方法是采用在mbe系统上使用磷回收系统，具体如下：在mbe结束生长开腔体维护前，先进行高温烘烤将腔体中多余的磷材料驱赶至一个有液氮冷却的磷回收单元中，烘烤结束后将此磷回收单元与腔体用阀门隔绝，之后再单独处理此磷回收单元。
5、但这种方法存在的问题如下：单独处理此磷回收单元时，仍然无法避免大量的磷材料与空气接触并产生爆燃，造成安全事故，需要一种更加完善的隔绝空气的机制。
6、因此，设计一种更加完备的磷化物mbe腔体磷回收单元对于设备维护、ehs（environment、health、safety，健康、安全与环境一体化的管理）保护等都具有重要的意义。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本发明公开了一种用于分子束外延腔体中的磷回收单元、系统及回收方法。
2、本发明所采用的技术方案如下：
3、一种用于分子束外延腔体中的磷回收单元，包括：
4、磷回收模块，所述磷回收模块内部形成磷回收腔体，所述磷回收腔体连接有第一通道，所述第一通道用于连接mbe系统腔体，所述第一通道上设置有第一隔离元件；所述磷回收腔体内设有冷阱和真空水雾喷淋模块；
5、真空泵，通过第二通道连接到所述磷回收腔体。
6、在本发明的一个实施例中，所述冷阱包括冷阱管，所述冷阱管上设置有冷却剂入口和冷却剂出口，所述冷却剂入口和冷却剂出口延伸到所述磷回收模块外侧。
7、在本发明的一个实施例中，还包括冷却剂供应模块，所述冷却剂供应模块包括气液分离器，所述气液分离器内部形成容纳气体的空间和容纳液体的空间，所述气液分离器上分别设有冷却剂循环出口、冷却剂循环入口、冷却剂补充口和排气口，所述冷却剂循环出口、冷却剂循环入口分别与所述冷阱的冷却剂入口和冷却剂出口连接；所述冷却剂循环出口与所述气液分离器内容纳液体的空间连通，所述排气口与所述气液分离器内容纳气体的空间连通。
8、在本发明的一个实施例中，所述冷却剂为液氮。
9、在本发明的一个实施例中，所述冷却剂补充口设有第一控制元件。
10、在本发明的一个实施例中，所述真空水雾喷淋模块包括通过管道连接的雾化器和水源，所述管道设有第二控制元件和第三控制元件，所述第二控制元件控制水雾进入所述磷回收腔体，所述第三控制元件控制所述水源的进水量。
11、在本发明的一个实施例中，所述第二通道上设有第二隔离元件。
12、在本发明的一个实施例中，所述真空泵和所述磷回收模块之间设有第三隔离元件。
13、一种基于上述所述的用于分子束外延腔体中的磷回收单元的方法，其特征在于，包括以下步骤：
14、s1、将所述磷回收单元的第一通道连接mbe系统腔体的出口，所述mbe系统腔体的出口上设置有第三隔离元件；
15、s2、启动真空泵，使所述磷回收腔体内的压力低于大气压；向所述磷回收腔体内的冷阱内通入冷却剂，并开启第一隔离元件和第三隔离元件，将mbe系统腔体中的磷通过烘烤驱赶至磷回收腔体中；
16、s3、关闭第一隔离元件和第三隔离元件，停止向所述冷阱内通入冷却剂，水雾喷淋模块向所述磷回收腔体喷洒水雾使冷阱上的磷外表凝结冰层；
17、s4、断开磷回收单元的第一通道与分子束外延腔体的连接，对所述磷回收单元内的磷进行处理。
18、一种用于分子束外延腔体中的磷回收系统，包括：
19、mbe系统腔体，
20、和如上述所述的用于分子束外延腔体中的磷回收单元。
21、本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
22、本发明所述的分子束外延腔体中磷材料的清理系统可以有效解决磷化物mbe腔体处理磷材料中所存在的问题：独立的、液氮冷却回收单元使得mbe腔体中的磷化物可以得到有效的分离和捕捉；水喷雾装置可以在捕捉的磷材料表面覆盖一层冰层，有效隔绝磷和空气的接触，极大降低火灾和有害物质泄露风险，大幅提高操作安全性。
1.一种用于分子束外延腔体中的磷回收单元，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于分子束外延腔体中的磷回收单元，其特征在于，所述冷阱（8）包括冷阱管，所述冷阱管上设置有冷却剂入口和冷却剂出口，所述冷却剂入口和冷却剂出口延伸到所述磷回收模块（4）外侧。
3.根据权利要求2所述的用于分子束外延腔体中的磷回收单元，其特征在于，还包括冷却剂供应模块（12），所述冷却剂供应模块（12）包括气液分离器，所述气液分离器内部形成容纳气体的空间和容纳液体的空间，所述气液分离器上分别设有冷却剂循环出口（10）、冷却剂循环入口（11）、冷却剂补充口（13）和排气口（14），所述冷却剂循环出口（10）、冷却剂循环入口（11）分别与所述冷阱（8）的冷却剂入口和冷却剂出口连接；所述冷却剂循环出口（10）与所述气液分离器内容纳液体的空间连通，所述排气口与所述气液分离器内容纳气体的空间连通。
4.根据权利要求3所述的用于分子束外延腔体中的磷回收单元，其特征在于，所述冷却剂为液氮。
5.根据权利要求3所述的用于分子束外延腔体中的磷回收单元，其特征在于，所述冷却剂补充口（13）设有第一控制元件（15）。
6.根据权利要求1所述的用于分子束外延腔体中的磷回收单元，其特征在于，所述真空水雾喷淋模块（9）包括通过管道连接的雾化器和水源（18），所述管道设有第二控制元件（16）和第三控制元件（17），所述第二控制元件（16）控制水雾进入所述磷回收腔体（7），所述第三控制元件（17）控制所述水源（18）的进水量。
7.根据权利要求1所述的用于分子束外延腔体中的磷回收单元，其特征在于，所述第二通道上设有第二隔离元件（3）。
8.根据权利要求1所述的用于分子束外延腔体中的磷回收单元，其特征在于，所述真空泵（6）和所述磷回收模块（4）之间设有第三隔离元件（5）。
9.一种基于权利要求1-8任意一项所述的用于分子束外延腔体中的磷回收单元的方法，其特征在于，包括以下步骤：
10.一种用于分子束外延腔体中的磷回收系统，其特征在于，包括：