方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备的制作方法

本发明涉及半导体制造，尤其涉及一种方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备。

背景技术：

1、针对方形石英板材通常采用治具对石英板材进行夹持固定，以配合机器人进行自动火焰抛光，现有技术中治具通常为两块夹板，以将石英板材夹紧固定，夹板的板面直接与石英板材接触，这种大面积接触，容易造成对石英板材大面积的污染。

2、因此，有必要提出一种方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备以解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，用以改善现有的治具容易造成对石英板材大面积污染的问题。

2、本发明提供了一种方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，该装夹设备包括：架体、安装于所述架体之上的滑轨以及由石墨制成的第一夹持件和第二夹持件；所述第一夹持件和所述第二夹持件呈竖向设置且可移动调节地安装于所述滑轨之上，通过移动调节所述第一夹持件或所述第一夹持件的位置，以调节所述第一夹持件和所述第二夹持件的间距，从而将石英板材夹紧固定于所述第一夹持件和所述第二夹持件之间；所述第一夹持件靠近所述第二夹持件的一侧凸伸形成有间隔分布的若干个第一凸台，所述第二夹持件靠近所述第一夹持件的一侧凸伸形成有间隔分布的若干个第二凸台，在夹紧固定石英板材时，所述第一夹持件通过所述第一凸台与所述石英板材接触，所述第二夹持件通过所述第二凸台与所述石英板材接触。

3、在一种可能的实施例中，所述第一夹持件和所述第二夹持件呈对称设置；所述第一夹持件呈l形状且包括垂直连接的第一竖向部和第一水平部，所述第一水平部可移动调节地安装于所述滑轨之上，若干个所述第一凸台凸伸形成于所述第一竖向部靠近所述第二夹持件的一侧；所述第二夹持件呈l形状且包括垂直连接的第二竖向部和第二水平部，所述第二水平部可移动调节地安装于所述滑轨之上，若干个所述第二凸台凸伸形成于所述第二竖向部靠近所述第一夹持件的一侧。

4、在一种可能的实施例中，所述滑轨上设有调节孔，所述调节孔的设置方向与所述滑轨的长度方向一致；所述第一水平部滑设所述滑轨之上且可沿所述滑轨的长度方向移动，所述第一水平部上设有第一安装孔，通过第一锁紧件穿过所述第一安装孔、所述调节孔，使所述第一锁紧件的底端伸出所述滑轨的底面外，并通过第一螺母螺纹连接于所述第一锁紧件的底端上，以将所述第一夹持件锁紧固定于所述滑轨上；所述第二水平部滑设所述滑轨之上且可沿所述滑轨的长度方向移动，所述第二水平部上设有第二安装孔，通过第二锁紧件穿过所述第二安装孔、所述调节孔，使所述第二锁紧件的底端伸出所述滑轨的底面外，并通过第二螺母螺纹连接于所述第二锁紧件的底端上，以将所述第二夹持件锁紧固定于所述滑轨上。

5、在一种可能的实施例中，所述第一安装孔竖向贯穿所述第一水平部，所述第一安装孔的横截面呈u形状且于所述第一水平部远离所述第一竖向部的端面处形成有第一敞口；所述第二安装孔竖向贯穿所述第二水平部，所述第二安装孔的横截面呈u形状且于所述第二水平部远离所述第二竖向部的端面处形成有第二敞口。

6、在一种可能的实施例中，所述第一凸台的数量为四个，其中两个所述第一凸台位于所述第一夹持件顶部的两侧，其余两个所述第一凸台位于所述第一夹持件中部的两侧；所述第二凸台的数量为四个，其中两个所述第二凸台位于所述第二夹持件顶部的两侧，其余两个所述第二凸台位于所述第二夹持件中部的两侧。

7、在一种可能的实施例中，该装夹设备还包括承托架和定位杆；所述承托架安装于所述架体的侧面，所述承托架的顶面间隔地设有若干个插孔，若干个所述插孔与所述架体的间距不相同，所述插孔用于插置所述定位杆的底端，以使所述定位杆立置于所述承托架之上；所述定位杆用于贴靠所述石英板材的端面，以指示火焰抛光的机械手臂的起始基准位置，通过选择不同的所述插孔插置所述定位杆，以适配不同长度的石英板材。

8、在一种可能的实施例中，所述定位杆包括杆部以及连接于所述杆部底端的插头部，所述杆部的截面尺寸大于所述插头部的截面尺寸，所述插头部的尺寸与所述插孔的尺寸相适配且用于插置于所述插孔内。

9、在一种可能的实施例中，所述承托架呈三角形状且包括侧板、顶板以及斜板；所述侧板竖向地安装于所述架体的侧面；所述顶板水平地固定连接于所述侧板之上，所述顶板顶面的高度低于所述架体顶面的高度，所述插孔设于所述顶板上；所述斜板斜向地固定连接于所述侧板的底端和所述顶板远离所述架体的一端。

10、在一种可能的实施例中，该装夹设备还包括安装于所述承托架顶面的托块，所述托块靠近所述架体设置且用于承托所述石英板材。

11、在一种可能的实施例中，所述架体包括呈方形状的一对框体以及垂直连接于一对所述框体之间的若干个支撑杆。

12、本发明方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备的有益效果在于：在夹紧固定石英板材时，所述第一夹持件通过所述第一凸台与所述石英板材接触，所述第二夹持件通过所述第二凸台与所述石英板材接触，一方面，通过多点定位方式以实现对石英板材有效的夹紧固定，另一方面，仅通过第一凸台、第二凸台接触石英板材，大大减小了与石英板材的接触面，可大大减少对石英板材表面的污染。

技术特征：

1.一种方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，其特征在于，所述装夹设备包括：架体、安装于所述架体之上的滑轨以及由石墨制成的第一夹持件和第二夹持件；

2.根据权利要求1所述的方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，其特征在于，所述第一夹持件和所述第二夹持件呈对称设置；

3.根据权利要求2所述的方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，其特征在于，所述滑轨上设有调节孔，所述调节孔的设置方向与所述滑轨的长度方向一致；

4.根据权利要求3所述的方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，其特征在于，所述第一安装孔竖向贯穿所述第一水平部，所述第一安装孔的横截面呈u形状且于所述第一水平部远离所述第一竖向部的端面处形成有第一敞口；

5.根据权利要求1-4中任一项所述的方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，其特征在于，所述第一凸台的数量为四个，其中两个所述第一凸台位于所述第一夹持件顶部的两侧，其余两个所述第一凸台位于所述第一夹持件中部的两侧；

6.根据权利要求1-4中任一项所述的方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，其特征在于，还包括承托架和定位杆；

7.根据权利要求6所述的方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，其特征在于，所述定位杆包括杆部以及连接于所述杆部底端的插头部，所述杆部的截面尺寸大于所述插头部的截面尺寸，所述插头部的尺寸与所述插孔的尺寸相适配且用于插置于所述插孔内。

8.根据权利要求6所述的方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，其特征在于，所述承托架呈三角形状且包括侧板、顶板以及斜板；

9.根据权利要求6所述的方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，其特征在于，还包括安装于所述承托架顶面的托块，所述托块靠近所述架体设置且用于承托所述石英板材。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，其特征在于，所述架体包括呈方形状的一对框体以及垂直连接于一对所述框体之间的若干个支撑杆。

技术总结
本发明提供了一种方形石英板材自动火焰抛光用的装夹设备，包括：架体、安装于架体之上的滑轨以及由石墨制成的第一夹持件和第二夹持件；第一夹持件和第二夹持件呈竖向设置且可移动调节地安装于滑轨之上；第一夹持件靠近第二夹持件的一侧凸伸形成有间隔分布的若干个第一凸台，第二夹持件靠近第一夹持件的一侧凸伸形成有间隔分布的若干个第二凸台，在夹紧固定石英板材时，第一夹持件通过第一凸台与石英板材接触，第二夹持件通过第二凸台与石英板材接触。本发明仅通过第一凸台、第二凸台接触石英板材，大大减小了与石英板材的接触面，可大大减少对石英板材表面的污染。

技术研发人员：周文华,周韦军,吕红兵,谢栋磊,姚家鹏
受保护的技术使用者：上海强华实业股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/4