一种石英板的焊接方法与流程

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种石英板的焊接方法。

背景技术：

1、石英玻璃制品是广泛应用于半导体芯片制程中的重要器件，在一些特定的工艺中，石英玻璃制品需要通过热加工的方式结合在一起，比如在清洗硅片的过程中需要使用耐酸耐碱的高纯石英清洗槽，而石英清洗槽就是由多块石英板拼焊成的槽体。

2、现有技术中，石英板在焊接之前需要对焊接面上宽度方向的两端进行倒角，请参考附图2、3和4的左边示意图，这里的倒角尺寸一般为c1-c3，也即倒角的直角边宽度为1至3毫米，倒角后，对两个石英板进行固定，使得两个倒角端对准另一个石英板，两个石英板之间的距离，也即定位焊缝一般为1至1.5毫米，固定好后将两个焊接件，一般是焊丝，分别放置在两个倒角处，焊接件的直径一般为3至4毫米，然后通过5#单层出火口的火焰枪进行焊接，待焊丝熔化将两个石英板粘合，焊接结束。

3、整个焊接过程需由三人配合进行作业，一人手拉两个焊丝，再由两人各自手持一个火焰枪对一个焊丝进行焊接作业，这样的作业方式十分耗费人力。

技术实现思路

1、本发明主要提供了一种石英板的焊接方法，用以解决上述背景技术中提出的焊接方法耗费人力等技术问题。

2、本发明解决上述技术问题采用的技术方案为：

3、一种石英板的焊接方法，包括：提供第一石英板和第二石英板；对所述第一石英板的焊接面进行一个倒角处理；固定所述第一石英板和所述第二石英板，保持所述第一石英板的焊接面和所述第二石英板的焊接面之间有一预设距离；将焊接件放置于倒角处并用焊枪进行焊接。

4、优选的，在固定所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，通过固定装置对所述第一石英板进行水平固定，对所述第二石英板进行竖直固定，且所述第一石英板的焊接面朝向所述第二石英板的焊接面。

5、优选的，在固定所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，所述第一石英板的倒角朝上进行固定。

6、优选的，在将焊接件放置于倒角处步骤中，将所述焊接件卡接在倒角和所述第二石英板之间。

7、优选的，在用所述焊枪进行焊接步骤中，单人一边手持焊接件，一边用所述焊枪对准所述焊接件进行焊接作业。

8、优选的，在提供所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，所述第一石英板的焊接面宽度为4至6毫米，在对所述第一石英板的焊接面进行一个倒角处理步骤中，所述倒角的直角边宽度为2至4毫米；在固定所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，保持所述第一石英板的焊接面和所述第二石英板的焊接面之间1.5至2毫米的距离；在将焊接件放置于倒角处步骤中，所述焊接件的直径为4至5毫米。

9、优选的，在将所述焊接件放置于所述倒角处步骤中，使用石英焊接件放置于所述倒角处。

10、优选的，在将所述焊接件放置于所述倒角处步骤中，所述焊接件是焊丝、焊条或焊块。

11、优选的，在用所述焊枪进行焊接步骤中，使用双层出火口的所述焊枪进行焊接。

12、优选的，在用所述焊枪进行焊接步骤中，双层出火口的所述焊枪内圈出火口的内径为1.5至2毫米，外圈出火口的内径为7至8毫米。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果为：

14、本发明提供了一种石英板的焊接方法，相比于传统方法下的两次倒角，本发明只倒角一次，简化步骤的同时，焊接作业可以由单人一边手持焊接件，一边使用焊枪焊接来完成，实现单人一次拉料完成作业，相较于传统方法下的三人共同焊接作业，本发明的焊接方法节省人力，提高了作业效率，单人使用焊枪也更安全。

15、以下将结合附图与具体的实施例对本发明进行详细的解释说明。

技术特征：

1.一种石英板的焊接方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，在固定所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，通过固定装置对所述第一石英板进行水平固定，对所述第二石英板进行竖直固定，且所述第一石英板的焊接面朝向所述第二石英板的焊接面。

3.根据权利要求2所述的焊接方法，其特征在于，在固定所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，所述第一石英板的所述倒角朝上进行固定。

4.根据权利要求3所述的焊接方法，其特征在于，在将所述焊接件放置于所述倒角处步骤中，将所述焊接件卡接在所述倒角和所述第二石英板之间。

5.根据权利要求4所述的焊接方法，其特征在于，在用所述焊枪进行焊接步骤中，单人一边手持焊接件，一边用所述焊枪对准所述焊接件进行焊接作业。

6.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，在提供所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，所述第一石英板的焊接面宽度为4至6毫米；

7.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，在将所述焊接件放置于所述倒角处步骤中，使用石英焊接件放置于所述倒角处。

8.根据权利要求1或7所述的焊接方法，其特征在于，在将所述焊接件放置于所述倒角处步骤中，所述焊接件是焊丝、焊条或焊块。

9.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，在用所述焊枪进行焊接步骤中，使用双层出火口的所述焊枪进行焊接。

10.根据权利要求9所述的焊接方法，其特征在于，在用所述焊枪进行焊接步骤中，双层出火口的所述焊枪内圈出火口的内径为1.5至2毫米，外圈出火口的内径为7至8毫米。

技术总结
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种石英板的焊接方法，提供第一石英板和第二石英板；对所述第一石英板的焊接面进行一个倒角处理；固定所述第一石英板和所述第二石英板，保持所述第一石英板的焊接面和所述第二石英板的焊接面之间有一预设距离；将焊接件放置于倒角处并用焊枪进行焊接，本发明提供了一种石英板的焊接方法，相比于传统方法下的两次倒角，本发明只倒角一次，简化步骤的同时，焊接作业可以由单人一边手持焊接件，一边使用焊枪焊接来完成，实现单人一次拉料完成作业，相较于传统方法下的三人共同焊接作业，本发明的焊接方法节省人力，提高了作业效率，单人使用焊枪也更安全。

技术研发人员：周文华,周韦军,吕红兵,邱增云,成贵升
受保护的技术使用者：上海强华实业股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/17