一种单晶炉炉体控压装置的制作方法

本发明属于单晶炉，具体的说是一种单晶炉炉体控压装置。

背景技术：

1、单晶炉是一种利用石墨加热器对多晶材料熔化生长的设备，并且单晶炉内部需要充入惰性气体，用直拉法生长无错位单晶。

2、单晶的直径在生长过程中，较为容易受到温度、提拉速度、坩埚跟踪速度和保护气体的流速等因素的影响，决定能否成晶的主要因素是单晶炉内的温度。

3、在使用单晶炉生晶时，随着加热器对密闭单晶炉内部加热，从而对硅料熔化，单晶炉内的温度增高，气压也就随之越高，过高的气压容易影响单晶的生长，从而导致生长出的单晶存在质量问题，严重时甚至出现变晶现象。

4、为此，本发明提供一种单晶炉炉体控压装置。

技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种单晶炉炉体控压装置，包括单晶炉盖；所述单晶炉盖的顶端固接有真空阀；所述单晶炉盖的底端安装有单晶炉筒；所述单晶炉盖的顶端固接有控压筒，且控压筒通过底端的通管连通单晶炉筒内部；所述控压筒的内部固接有电机盒，且电机盒的内部安装有伺服电机；所述伺服电机的输出端固接有连接杆；所述连接杆的外部固接有搅拌叶，且搅拌叶设置有多个；所述控压筒远离真空阀的一端设置有存储机构，存储机构用于对气体回收；所述控压筒的内部且靠近单晶炉筒处安装有监测器，且监测器分别与伺服电机和真空阀电连接。

3、优选的，所述存储机构包括存储箱、一号存储腔、支撑架和封闭组件；所述存储箱固接在控压筒远离真空阀的一端，且存储箱与控压筒相连通；所述一号存储腔开设在存储箱的内部，且一号存储腔位于靠近控压筒处；所述支撑架固接在存储箱的底端，且支撑架远离存储箱的一端固接单晶炉筒外部；所述封闭组件设置在存储箱的内部，封闭组件用于对存储箱内部控制封堵。

4、优选的，所述存储箱的内部开设有二号存储腔，且二号存储腔设置有多个；所述存储箱的内部且位于二号存储腔与一号存储腔之间开设有导流腔；所述存储箱的内部靠近导流腔处通过电滑块滑动连接有封堵块。

5、优选的，所述单晶炉筒的外部固接有保温筒；所述保温筒的内部开设有蓄热腔；所述支撑架的内部开设有流通槽，且蓄热腔通过流通槽与一号存储腔相连通。

6、优选的，所述单晶炉筒的内部固接有进料管，且进料管贯穿支撑架内部；所述进料管的材质为金属材质。

7、优选的，所述封闭组件包括固定杆、一号封堵板、一号弹性件和配合部件；两个所述固定杆固接在存储箱的内部；所述一号封堵板滑动连接在固定杆的外部，一号封堵板用于封堵存储箱的的进气口；所述一号弹性件套接在固定杆的外部，且一号弹性件位于存储箱内壁与一号封堵板之间；所述配合部件设置在一号封堵板的内部，配合部件用于封堵一号封堵板。

8、优选的，所述配合部件包括二号封堵板和二号弹性件；所述二号封堵板滑动连接在一号封堵板的内壁，且二号封堵板位于靠近连接杆的一端；所述二号弹性件固接在一号封堵板与二号封堵板之间，且二号弹性件设置有多个。

9、优选的，所述一号封堵板的内部滑动连接有限位块，且限位块设置有多个；多个所述限位块的外部固接有三号弹性件，且三号弹性件固接一号封堵板内壁；所述存储箱的内部靠近一号封堵板处开设有限位槽，且限位槽与限位块相对应。

10、优选的，所述控压筒的内部固接有过滤网板，且连接杆转动连接在过滤网板的中心外部；所述连接杆的外部且靠近过滤网板处固接有转筒；所述转筒的外部固接有一号刮板，且一号刮板贴合过滤网板的外壁。

11、优选的，所述转筒的外部固接有支撑板，且支撑板设置有多个；多个所述支撑板的外部固接有二号刮板，且二号刮板贴合控压筒的内壁。

12、本发明的有益效果如下：

13、1.本发明所述的一种单晶炉炉体控压装置，通过设置的监测器对单晶炉筒内部的气压实时监测，在单晶炉筒内部气压过高时，伺服电机带动多个搅拌叶正向转动，抽取单晶炉筒内部的热量送至存储箱的内部暂存，起到对单晶炉筒内部减压的作用，若单晶炉筒内部气压过低，利用伺服电机反向转动，将存储箱内部的热量回送单晶炉筒内部，起到对单晶炉筒内部增压的效果，利用封堵块对二号存储腔实现封堵，起到对热气封存的作用，依靠保温筒内暂存部分热量，起到对单晶炉筒外壁保温的作用，利用回收的部分热量对进料管加热，能够对进料管内的料物进行预热。

14、2.本发明所述的一种单晶炉炉体控压装置，通过设置的一号封堵板随风力吹动滑向一号存储腔处，在单晶炉筒内部减压时，能够使控压筒和存储箱连通，在一号封堵板随风力抽动滑向连接杆处时，连接杆将二号封堵板顶开远离一号封堵板，能够使控压筒和存储箱再次连通，利用多个限位块卡入限位槽中，起到对一号封堵板辅助限位的作用，依靠过滤网板对杂质过滤，配合多个一号刮板刮扫过滤网板的外壁，保证过滤网板的过滤效果，利用支撑板随连接杆转动，带动二号刮板对控压筒的内壁刮扫，减少控压筒内壁的杂质附着。

技术特征：

1.一种单晶炉炉体控压装置，其特征在于：包括单晶炉盖（1）；所述单晶炉盖（1）的顶端固接有真空阀（11）；所述单晶炉盖（1）的底端安装有单晶炉筒（12）；所述单晶炉盖（1）的顶端固接有控压筒（13），且控压筒（13）通过底端的通管连通单晶炉筒（12）内部；所述控压筒（13）的内部固接有电机盒（14），且电机盒（14）的内部安装有伺服电机；所述伺服电机的输出端固接有连接杆（15）；所述连接杆（15）的外部固接有搅拌叶（16），且搅拌叶（16）设置有多个；所述控压筒（13）远离真空阀（11）的一端设置有存储机构，存储机构用于对气体回收；所述控压筒（13）的内部且靠近单晶炉筒（12）处安装有监测器（17），且监测器（17）分别与伺服电机和真空阀（11）电连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体控压装置，其特征在于：所述存储机构包括存储箱（2）、一号存储腔（21）、支撑架（22）和封闭组件；所述存储箱（2）固接在控压筒（13）远离真空阀（11）的一端，且存储箱（2）与控压筒（13）相连通；所述一号存储腔（21）开设在存储箱（2）的内部，且一号存储腔（21）位于靠近控压筒（13）处；所述支撑架（22）固接在存储箱（2）的底端，且支撑架（22）远离存储箱（2）的一端固接单晶炉筒（12）外部；所述封闭组件设置在存储箱（2）的内部，封闭组件用于对存储箱（2）内部控制封堵。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉炉体控压装置，其特征在于：所述存储箱（2）的内部开设有二号存储腔（3），且二号存储腔（3）设置有多个；所述存储箱（2）的内部且位于二号存储腔（3）与一号存储腔（21）之间开设有导流腔（31）；所述存储箱（2）的内部靠近导流腔（31）处通过电滑块滑动连接有封堵块（32）。

4.根据权利要求2所述的一种单晶炉炉体控压装置，其特征在于：所述单晶炉筒（12）的外部固接有保温筒（4）；所述保温筒（4）的内部开设有蓄热腔（41）；所述支撑架（22）的内部开设有流通槽，且蓄热腔（41）通过流通槽与一号存储腔（21）相连通。

5.根据权利要求2所述的一种单晶炉炉体控压装置，其特征在于：所述单晶炉筒（12）的内部固接有进料管（5），且进料管（5）贯穿支撑架（22）内部；所述进料管（5）的材质为金属材质。

6.根据权利要求2所述的一种单晶炉炉体控压装置，其特征在于：所述封闭组件包括固定杆（6）、一号封堵板（61）、一号弹性件（62）和配合部件；两个所述固定杆（6）固接在存储箱（2）的内部；所述一号封堵板（61）滑动连接在固定杆（6）的外部，一号封堵板（61）用于封堵存储箱（2）的的进气口；所述一号弹性件（62）套接在固定杆（6）的外部，且一号弹性件（62）位于存储箱（2）内壁与一号封堵板（61）之间；所述配合部件设置在一号封堵板（61）的内部，配合部件用于封堵一号封堵板（61）。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉炉体控压装置，其特征在于：所述配合部件包括二号封堵板（7）和二号弹性件（71）；所述二号封堵板（7）滑动连接在一号封堵板（61）的内壁，且二号封堵板（7）位于靠近连接杆（15）的一端；所述二号弹性件（71）固接在一号封堵板（61）与二号封堵板（7）之间，且二号弹性件（71）设置有多个。

8.根据权利要求7所述的一种单晶炉炉体控压装置，其特征在于：所述一号封堵板（61）的内部滑动连接有限位块（8），且限位块（8）设置有多个；多个所述限位块（8）的外部固接有三号弹性件（81），且三号弹性件（81）固接一号封堵板（61）内壁；所述存储箱（2）的内部靠近一号封堵板（61）处开设有限位槽，且限位槽与限位块（8）相对应。

9.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体控压装置，其特征在于：所述控压筒（13）的内部固接有过滤网板（9），且连接杆（15）转动连接在过滤网板（9）的中心外部；所述连接杆（15）的外部且靠近过滤网板（9）处固接有转筒（91）；所述转筒（91）的外部固接有一号刮板（92），且一号刮板（92）贴合过滤网板（9）的外壁。

10.根据权利要求9所述的一种单晶炉炉体控压装置，其特征在于：所述转筒（91）的外部固接有支撑板，且支撑板设置有多个；多个所述支撑板的外部固接有二号刮板（93），且二号刮板（93）贴合控压筒（13）的内壁。

技术总结
本发明属于单晶炉技术领域，具体的说是一种单晶炉炉体控压装置，包括单晶炉盖；所述单晶炉盖的顶端固接有真空阀；通过设置的监测器对单晶炉筒内部的气压实时监测，在单晶炉筒内部气压过高时，伺服电机带动搅拌叶正向转动，抽取单晶炉筒内部的热量送至存储箱的内部暂存，起到对单晶炉筒内部减压的作用，若单晶炉筒内部气压过低，利用伺服电机反向转动，将存储箱内部的热量回送单晶炉筒内部，起到对单晶炉筒内部增压的效果，利用封堵块对二号存储腔实现封堵，起到对热气封存的作用，依靠保温筒内暂存部分热量，起到对单晶炉筒外壁保温的作用，利用回收的部分热量对进料管加热，能够对进料管内的料物进行预热。

技术研发人员：高树良,曹晓旭,马文龙,蒋林
受保护的技术使用者：连城凯克斯科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/24