一种液相法多感应线圈升降机构的制作方法

本技术属于碳化硅感应炉加热结构，具体涉及一种液相法多感应线圈升降机构。

背景技术：

1、随着新能源汽车市场的火热，第三代半导体材料碳化硅相关的投资也愈发的火热，第三代半导体材料碳化硅在军工、航天、电子电力、新能源汽车等诸多领域都具有很重要的应用价值，已经成为全球半导体材料的前沿产业。

2、现有市场上的碳化硅感应炉很多是气相法，其热场基本都是一个，且不能做到坩埚和热场同时升降，不能灵活控制热场梯度，改善热场内部环境，不利于碳化硅的生长。

技术实现思路

1、为解决现有技术的缺陷和不足问题；本实用新型的目的在于提供一种结构简单，设计合理、使用方便的液相法多感应线圈升降机构，它通过坩埚的升降结合热场的升降，能更好的控制热场梯度，改善热场内部环境，对长晶的控制做到更灵活，使长出的碳化硅成品质量更好，品质更高。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：它包括炉下盖、坩埚组件、导向杆、导向轮、下线圈组件和上线圈；所述炉下盖的内侧固定安装有四根导向杆，所述导向杆上套接安装有导向轮，所述导向杆的上端与上线圈保持固定连接，所述下线圈组件安装在导向杆的内侧，且导向轮通过侧向顶压与下线圈组件保持连接，所述坩埚组件安装在下线圈组件的内侧；

3、所述坩埚组件包含伺服电机、离合器、减速机、传动带、丝杆和dd马达；所述伺服电机与离合器和减速机保持固定连接，所述减速机的输出端通过传动带与丝杆保持连接，所述丝杆通过轴承座转动安装在支架上，所述丝杆通过螺母座与马达安装座保持连接，所述马达安装座通过滑轨滑动安装在支架上，所述马达安装座上固定安装有dd马达，所述dd马达的输出端穿过炉下盖与坩埚保持固定连接。

4、作为优选所述下线圈组件包含圆环、固定杆、下线圈、连接杆和电动缸；一对电动缸固定安装在炉下盖的底部，所述电动缸的伸出端与连接杆保持固定连接，所述连接杆穿过炉下盖后与上方的圆环保持固定连接，所述圆环上固定安装有数个固定杆，所述固定杆上固定安装有下线圈。

5、作为优选所述支架上固定安装有光栅尺。

6、作为优选所述上线圈与下线圈的内径保持一致。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：在液相法碳化硅感应炉上，本实用新型通过2组感应线圈灵活控制热场，其中下线圈还能随拉晶阶段的不同做升降，同时热场中间用来拉晶的坩埚也可以根据需要旋转和升降，本实用新型通过坩埚的升降结合热场的升降，能更好的控制热场梯度，改善热场内部环境，对长晶的控制做到更灵活，使长出的碳化硅成品质量更好，品质更高。

技术特征：

1.一种液相法多感应线圈升降机构，其特征在于：它包含炉下盖(1)、坩埚组件(2)、导向杆(3)、导向轮(4)、下线圈组件(5)和上线圈(6)；所述炉下盖(1)的内侧固定安装有四根导向杆(3)，所述导向杆(3)上套接安装有导向轮(4)，所述导向杆(3)的上端与上线圈(6)保持固定连接，所述下线圈组件(5)安装在导向杆(3)的内侧，且导向轮(4)通过侧向顶压与下线圈组件(5)保持连接，所述坩埚组件(2)安装在下线圈组件(5)的内侧；

2.根据权利要求1所述的一种液相法多感应线圈升降机构，其特征在于：所述下线圈组件(5)包含圆环(51)、固定杆(52)、下线圈(53)、连接杆(54)和电动缸(55)；一对电动缸(55)固定安装在炉下盖(1)的底部，所述电动缸(55)的伸出端与连接杆(54)保持固定连接，所述连接杆(54)穿过炉下盖(1)后与上方的圆环(51)保持固定连接，所述圆环(51)上固定安装有数个固定杆(52)，所述固定杆(52)上固定安装有下线圈(53)。

3.根据权利要求1所述的一种液相法多感应线圈升降机构，其特征在于：所述支架上固定安装有光栅尺(13)。

4.根据权利要求2所述的一种液相法多感应线圈升降机构，其特征在于：所述上线圈(6)与下线圈(53)的内径保持一致。

技术总结
本技术公开了一种液相法多感应线圈升降机构，它涉及碳化硅感应炉加热结构技术领域；所述炉下盖的内侧固定安装有四根导向杆，所述导向杆上套接安装有导向轮，所述导向杆的上端与上线圈保持固定连接，所述下线圈组件安装在导向杆的内侧，且导向轮通过侧向顶压与下线圈组件保持连接，所述坩埚组件安装在下线圈组件的内侧；本技术通过2组感应线圈灵活控制热场，其中下线圈还能随拉晶阶段的不同做升降，同时热场中间用来拉晶的坩埚也可以根据需要旋转和升降，本技术通过坩埚的升降结合热场的升降，能更好的控制热场梯度，改善热场内部环境，对长晶的控制做到更灵活，使长出的碳化硅成品质量更好，品质更高。

技术研发人员：王人松,胡动力,石海洋,黄新刚
受保护的技术使用者：连城凯克斯科技有限公司
技术研发日：20230113
技术公布日：2024/1/15