单晶炉用保温炉盖及单晶炉的制作方法

本技术涉及保温炉盖及单晶炉，具体为单晶炉用保温炉盖及单晶炉，属于单晶炉。

背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

2、中国专利号cn212128335u提供一种单晶炉用保温盖及单晶炉，该单晶炉保温盖包括：多个块体，所述多个块体拼接形成环形结构；所述保温盖的材质包括：在大于或等于预设温度的情况下，不与硅的氧化物发生反应的材质。本实用新型实施例提供的保温盖由于在大于或等于预设温度的情况下，不产生碳扩散现象，因此能够在单晶硅生长过程中，避免碳的污染，能够提高单晶硅的生长质量，此外，本实用新型实施例提供的保温盖由于采用多个块体结构拼接形成，能够提高保温盖的稳定性。

3、然而，上述中案例虽然供的保温盖由于在大于或等于预设温度的情况下，不产生碳扩散现象，但是现有的单晶炉炉盖存在漏水问题，影响单晶炉的运作。

4、有鉴于此特提出本实用新型。

技术实现思路

1、本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供单晶炉用保温炉盖及单晶炉。

2、本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，单晶炉用保温炉盖，包括盖体组件，所述盖体组件包括螺纹盖、把手、进水管、抽气管、安装筒、筒体、环体，两个所述把手分别焊接在螺纹盖两侧外壁上，两个所述进水管、抽气管分别插接在螺纹盖顶部外壁两侧，且抽气管延伸至螺纹盖内部，四个所述安装筒等距离呈环形结构一体成型在螺纹盖顶部外壁靠近边缘处，所述筒体一体成型在螺纹盖顶部外壁上，所述环体一体成型在筒体顶端，所述筒体顶部外壁上开设有等距离呈环形结构分布的通孔，所述安装筒顶端螺纹连接有摄像头。

3、进一步的，所述螺纹盖内部设置有腔体，所述进水管一端延伸至腔体内部。

4、进一步的，所述筒体内部开设有连接腔二，且连接腔二与腔体相互贯通。

5、进一步的，所述安装筒内部开设有连接腔一，且连接腔一与腔体相互贯通。

6、进一步的，所述螺纹盖顶部内壁上设置有螺纹连接在安装筒内部的镜片组件，所述镜片组件包括框体，所述框体内部粘接有镜片。

7、进一步的，所述框体顶部外壁两侧均开设有安装槽，且安装槽内部粘接有泵体。

8、进一步的，所述框体内部开设有腔室，所述框体侧面内壁靠近底部处开设有等距离呈环形结构分布的气孔，且气孔与腔室相互贯通。

9、单晶炉，包括底座组件、炉体单元、盖体组件及拉丝模组，所述炉体单元插接在底座组件顶端，所述盖体组件螺纹连接在炉体单元顶端，所述拉丝模组插接在盖体组件上，所述底座组件包括底座，所述底座底部外壁上焊接有等距离呈环形结构分布的支腿，所述底座底部内壁中心处开设有插槽，所述底座底部内壁上开设有等距离呈环形结构分布的安置槽，且安置槽内部固设有与炉体单元相互接触的称重传感器。

10、本实用新型的技术效果和优点：(1)通过设置的盖体组件，由螺纹盖、把手等构成的盖体组件通过螺栓连接的方式安装在炉体单元上，可以提高盖体组件与炉体单元之间的密封性，避免该单晶炉运作时炉盖漏水；(2)通过设置的腔体、连接腔一及连接腔二，腔体、连接腔一及连接腔二配合可以使得螺纹盖中间变为一个空腔，在单晶炉运作时，可以向该空腔内部注水，从而对炉盖及其上的零件进行降温处理，同时在需要该炉盖保温时，向该空腔内部注水后不排出水可以提高该炉盖的保温能力；(3)通过设置的泵体、腔室及气孔，在摄像头拍摄的画面显示出较大的阴影时，可以启动泵体，使得腔室内部被冲入空气，而后空气从气孔喷出，从而对镜片进行吹拂，去除镜片上的灰尘等杂质，避免杂质影响摄像头的拍摄；(4)通过设置的底座组件，底座组件上的称重传感器可以对炉体单元的重量进行检测，从而在向炉体单元投入物料时便于工人精确把握向炉体单元内部投料质量，实现精确投料的目的。

技术特征：

1.单晶炉用保温炉盖，包括盖体组件(300)，其特征在于：所述盖体组件(300)包括螺纹盖(301)、把手(302)、进水管(303)、抽气管(304)、安装筒(305)、筒体(307)、环体(308)，两个所述把手(302)分别焊接在螺纹盖(301)两侧外壁上，两个所述进水管(303)、抽气管(304)分别插接在螺纹盖(301)顶部外壁两侧，且抽气管(304)延伸至螺纹盖(301)内部，四个所述安装筒(305)等距离呈环形结构一体成型在螺纹盖(301)顶部外壁靠近边缘处，所述筒体(307)一体成型在螺纹盖(301)顶部外壁上，所述环体(308)一体成型在筒体(307)顶端，所述筒体(307)顶部外壁上开设有等距离呈环形结构分布的通孔(309)，所述安装筒(305)顶端螺纹连接有摄像头(306)。

2.根据权利要求1所述的单晶炉用保温炉盖，其特征在于：所述螺纹盖(301)内部设置有腔体(310)，所述进水管(303)一端延伸至腔体(310)内部。

3.根据权利要求2所述的单晶炉用保温炉盖，其特征在于：所述筒体(307)内部开设有连接腔二(312)，且连接腔二(312)与腔体(310)相互贯通。

4.根据权利要求2所述的单晶炉用保温炉盖，其特征在于：所述安装筒(305)内部开设有连接腔一(311)，且连接腔一(311)与腔体(310)相互贯通。

5.根据权利要求1所述的单晶炉用保温炉盖，其特征在于：所述螺纹盖(301)顶部内壁上设置有螺纹连接在安装筒(305)内部的镜片组件(400)，所述镜片组件(400)包括框体(401)，所述框体(401)内部粘接有镜片(402)。

6.根据权利要求5所述的单晶炉用保温炉盖，其特征在于：所述框体(401)顶部外壁两侧均开设有安装槽(405)，且安装槽(405)内部粘接有泵体(406)。

7.根据权利要求6所述的单晶炉用保温炉盖，其特征在于：所述框体(401)内部开设有腔室(404)，所述框体(401)侧面内壁靠近底部处开设有等距离呈环形结构分布的气孔(403)，且气孔(403)与腔室(404)相互贯通。

8.单晶炉，包括权利要求1-7任一项所述的单晶炉用保温炉盖，还包括底座组件(100)、炉体单元(200)、盖体组件(300)及拉丝模组(500)，其特征在于：所述炉体单元(200)插接在底座组件(100)顶端，所述盖体组件(300)螺纹连接在炉体单元(200)顶端，所述拉丝模组(500)插接在盖体组件(300)上，所述底座组件(100)包括底座(101)，所述底座(101)底部外壁上焊接有等距离呈环形结构分布的支腿(104)，所述底座(101)底部内壁中心处开设有插槽(105)，所述底座(101)底部内壁上开设有等距离呈环形结构分布的安置槽(102)，且安置槽(102)内部固设有与炉体单元(200)相互接触的称重传感器(103)。

技术总结
本技术涉及保温炉盖及单晶炉，具体的说是单晶炉用保温炉盖及单晶炉，包括盖体组件，盖体组件包括螺纹盖、把手、进水管、抽气管、安装筒、筒体、环体，两个把手分别焊接在螺纹盖两侧外壁上，两个进水管、抽气管分别插接在螺纹盖顶部外壁两侧，且抽气管延伸至螺纹盖内部，四个安装筒等距离呈环形结构一体成型在螺纹盖顶部外壁靠近边缘处，筒体一体成型在螺纹盖顶部外壁上，环体一体成型在筒体顶端，筒体顶部外壁上开设有等距离呈环形结构分布的通孔；本技术由螺纹盖、把手等构成的盖体组件通过螺栓连接的方式安装在炉体单元上，可以提高盖体组件与炉体单元之间的密封性，避免该单晶炉运作时炉盖漏水。

技术研发人员：许建枫,祝林飞,郝振庆,曹林,曹刚
受保护的技术使用者：浙江昱力机电科技有限公司
技术研发日：20230216
技术公布日：2024/1/14