一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体的制作方法

文档序号:35257668发布日期:2023-08-27 13:11阅读:38来源:国知局
一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体的制作方法

本技术涉及单晶炉,具体地说,涉及一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体。


背景技术:

1、单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,现如今的单晶体内部安装有坩埚,坩埚底端多安装有支撑组件,发明人在实现本实用新型的过程中发现现有技术存在如下问题:现如今的支撑组件多为单独杆体,对坩埚的支撑稳定效果较差,容易造成坩埚的不稳定,其次支撑组件与坩埚之间多为简易的限位安装,从而降低了连接的稳定效果,为此我们亟需提供一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体。


技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体,增加了支撑组件对坩埚的支撑效果,其次增加了支撑组件与坩埚之间连接的稳定效果。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案,一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体,所采用的技术方案是:包括炉体,所述炉体的内部活动连接有支撑杆,所述支撑杆的内部活动连接有稳定机构,所述稳定机构包括限位杆,所述限位杆的外壁活动连接有复位弹簧,所述复位弹簧的一端固定连接有挤压内块,所述挤压内块的外壁固定连接有连接块,所述连接块的外壁固定连接有挤压外块,所述挤压外块的外壁固定连接有支撑架,所述支撑架的顶端固定连接有摩擦板。

5、所述炉体的内部活动连接有保温筒,所述炉体的内部固定连接有电极螺母,所述电极螺母的外壁活动连接有加热筒,所述炉体的内部活动连接有坩埚,所述坩埚的底端固定连接有连接机构,所述炉体的顶部活动连接有板材,所述板材的底端活动连接有导流筒。

6、作为优选方案,所述连接机构包括安装架,所述安装架的内部活动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的一端固定连接有转动块,所述螺纹杆的外壁活动连接有夹持块,所述安装架的内部固定连接有固定杆,所述夹持块的外壁固定连接有限位块,增加了支撑组件与坩埚之间连接的稳定效果。

7、作为优选方案,所述支撑杆的内部开设有与提供挤压内块移动的移动槽,且移动槽的外壁开设有与连接块的外壁相匹配的连接槽,所述限位杆固定安装于移动槽的内壁,增加了坩埚的稳定效果。

8、作为优选方案,所述挤压内块的内部开设有与限位杆的外壁相匹配的移动口,所述挤压内块的底端通过复位弹簧与移动槽的内壁连接,通过复位弹簧的设置增加了支撑的效果。

9、作为优选方案,所述挤压外块设置于支撑杆的外壁,所述支撑架设置有两组,且两组支撑架倾斜设置,增加了对坩埚的支撑效果。

10、作为优选方案,所述安装架的内部开设有提供支撑杆顶部连接的连接槽,且连接槽的两侧均开设有与提供夹持块移动的移动槽,所述螺纹杆的一端外壁通过轴承与移动槽的内壁转动连接,便捷了对夹持块的移动和限位。

11、作为优选方案,所述夹持块的内部开设有与螺纹杆的外壁相匹配的螺纹槽,所述夹持块的一侧内部开设有与支撑杆的顶部外壁相匹配的弧形槽,所述限位块的内部开设有与固定杆的外壁相匹配的限位口,增加了连接后稳定效果。

12、(三)有益效果

13、与现有技术相比,本实用新型提供了一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体,具备以下有益效果:

14、1、本实用新型通过设置安装架、螺纹杆、转动块、夹持块、固定杆和限位块,在对支撑杆和安装架进行连接时首先将支撑杆的顶端放置在安装架的内部,通过转动转动块从而带动螺纹杆进行转动,同时带动夹持块依附螺纹杆的外壁进行移动,同时通过限位块依附固定杆的外壁,从而对夹持块进行限位,从而带动夹持块对支撑杆的进行夹持,便捷了对支撑杆的顶端进行夹持连接,增加了支撑杆和安装架连接的稳定效果。

15、2、本实用新型通过设置限位杆、复位弹簧、挤压内块、连接块、挤压外块、支撑架和摩擦板,同时在支撑杆进入安装架的内部时,摩擦板抵住安装架的底端,同时通过复位弹簧的复位带动挤压内块向上移动,同时通过连接块的连接带动挤压外块向上移动,从而带动支撑架带动摩擦板抵住安装架的底端,从而通过支撑架对坩埚进行支撑,通过复位弹簧的复位和支撑架的设置,增加了支撑效果。



技术特征:

1.一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的内部活动连接有支撑杆(2),所述支撑杆(2)的内部活动连接有稳定机构(3),所述稳定机构(3)包括限位杆(301),所述限位杆(301)的外壁活动连接有复位弹簧(302),所述复位弹簧(302)的一端固定连接有挤压内块(303),所述挤压内块(303)的外壁固定连接有连接块(304),所述连接块(304)的外壁固定连接有挤压外块(305),所述挤压外块(305)的外壁固定连接有支撑架(306),所述支撑架(306)的顶端固定连接有摩擦板(307);

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体,其特征在于:所述连接机构(8)包括安装架(801),所述安装架(801)的内部活动连接有螺纹杆(802),所述螺纹杆(802)的一端固定连接有转动块(803),所述螺纹杆(802)的外壁活动连接有夹持块(804),所述安装架(801)的内部固定连接有固定杆(805),所述夹持块(804)的外壁固定连接有限位块(806)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体,其特征在于:所述支撑杆(2)的内部开设有与提供挤压内块(303)移动的移动槽,且移动槽的外壁开设有与连接块(304)的外壁相匹配的连接槽,所述限位杆(301)固定安装于移动槽的内壁。

4.根据权利要求2所述的一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体,其特征在于:所述挤压内块(303)的内部开设有与限位杆(301)的外壁相匹配的移动口,所述挤压内块(303)的底端通过复位弹簧(302)与移动槽的内壁连接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体,其特征在于:所述挤压外块(305)设置于支撑杆(2)的外壁,所述支撑架(306)设置有两组,且两组支撑架(306)倾斜设置。

6.根据权利要求2所述的一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体,其特征在于:所述安装架(801)的内部开设有提供支撑杆(2)顶部连接的连接槽,且连接槽的两侧均开设有与提供夹持块(804)移动的移动槽,所述螺纹杆(802)的一端外壁通过轴承与移动槽的内壁转动连接。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体,其特征在于:所述夹持块(804)的内部开设有与螺纹杆(802)的外壁相匹配的螺纹槽,所述夹持块(804)的一侧内部开设有与支撑杆(2)的顶部外壁相匹配的弧形槽,所述限位块(806)的内部开设有与固定杆(805)的外壁相匹配的限位口。


技术总结
本技术涉及一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体,包括炉体,所述炉体的内部活动连接有支撑杆,所述支撑杆的内部活动连接有稳定机构,所述稳定机构包括限位杆,所述限位杆的外壁活动连接有复位弹簧,所述复位弹簧的一端固定连接有挤压内块,所述挤压内块的外壁固定连接有连接块,所述连接块的外壁固定连接有挤压外块,所述挤压外块的外壁固定连接有支撑架,所述支撑架的顶端固定连接有摩擦板。本技术通过复位弹簧的复位带动挤压内块向上移动,同时通过连接块的连接带动挤压外块向上移动,从而带动支撑架带动摩擦板抵住安装架的底端,从而通过支撑架对坩埚进行支撑,通过复位弹簧的复位和支撑架的设置,增加了支撑效果。

技术研发人员:赖东为,李静,陈龙,蔡秀明
受保护的技术使用者:福建鑫睿晶学科技有限公司
技术研发日:20230222
技术公布日:2024/1/13
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