一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉

本技术属于半导体加工，具体涉及一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉。

背景技术：

1、单晶硅是许多半导体集成电路的制造基础，主要用于生产和深加工制造电路级、整流器件级、二极管级以及太阳能电池级单晶产品,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域。目前，单晶硅的生产方式主要为坩埚直拉法，使用到的设备为直拉单晶炉。

2、目前使用的直拉单晶炉对震动比较敏感，如受到地震影响或生产场地周围建筑施工、工厂生产等引起的地面震动，易造成直拉单晶炉液面波动和硅棒晃动，进而使拉晶断线，生长被破坏。现有炉底的安装，坩埚的传动装置往往直接与底座焊死连接，而装有硅料的坩埚通过一只石墨埚托与坩埚传动装置直接连接，坩埚全部重量均由埚托承载。这种连接方式会导致底座的所有震动将全部或大部分传递到坩埚，从而使液面产生波动，剧烈时引起拉晶变晶生长，造成所谓的断线。

3、因此目前需要解决的问题是：寻找一种可以有效抗震的直拉单晶炉。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型设计了一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉。

2、为了达到上述技术目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，包括：直拉单晶炉、坩埚传动装置、减震器、减震底座四部分；

4、所述直拉单晶炉底部与支撑框架顶部固定连接；

5、所述减震器由减震弹簧和阻尼器构成，减震弹簧和阻尼器同轴心放置，顶部连接坩埚传动装置，底部固定连接炉座，炉座嵌入减震底座；

6、所述减震底座分为两层，外层为水泥底座，内层为胶粘花岗岩破碎石，减震器安装于铺平后的胶粘花岗岩破碎石上；

7、进一步的，所述减震器与减震底座中间安装一炉座，所述炉座为网格结构；

8、进一步的，所述坩埚传动装置周围安装有支撑框架；

9、进一步的，所述减震器通过螺栓连接坩埚传动装置与炉座；

10、进一步的，所述减震器安装4-8个；

11、本实用新型的有益效果是：

12、本实用新型提供了一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其通过在水泥底座中加胶粘花岗岩破碎石、坩埚传动装置底部安装减震器与底座相连接，当受到外界因素影响发生地面晃动，如轻度地震、周围建筑施工、工厂生产等，可以有效减缓炉体晃动，保持液面平稳，降低断线率；同时减震器由减震弹簧与阻尼器组成，具有复合隔振降噪，固有频率低，隔振效果好的优点。

技术特征：

1.一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，包括：直拉单晶炉、坩埚传动装置、减震器、减震底座四部分；

2.根据权利要求1所述的一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，所述减震器与减震底座中间安装一炉座，所述炉座为网格结构。

3.根据权利要求1所述的一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，所述坩埚传动装置周围安装有支撑框架。

4.根据权利要求1所述的一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，所述减震器通过螺栓连接坩埚传动装置与炉座。

5.根据权利要求1所述的一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其特征在于，所述减震器安装4-8个。

技术总结
本技术公开了一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，包括：直拉单晶炉、坩埚传动装置、减震器、减震底座四部分。本技术提供了一种具有抗震炉底结构的直拉单晶炉，其通过在水泥底座中加胶粘花岗岩破碎石、坩埚传动装置底部安装减震器与底座相连接，当受到外界因素影响发生地面晃动，如轻度地震、周围建筑施工、工厂生产等，可以有效减缓炉体晃动，保持液面平稳，降低断线率；同时减震器使用其中减震弹簧与阻尼器组成，具有复合隔振降噪，固有频率低，隔振效果好的优点。

技术研发人员：任永生,王正省,马文会,雷云,魏奎先,吕国强,伍继君,李绍元,曾毅,祖钰博
受保护的技术使用者：昆明理工大学
技术研发日：20230307
技术公布日：2024/1/15