一种延长水冷时间的单晶炉炉盖的制作方法

本技术涉及单晶炉领域，尤其是涉及一种延长水冷时间的单晶炉炉盖。

背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。炉盖：中间筒、设于炉盖本体上向上延伸的观察筒以及热屏提升筒。

2、目前对炉盖降温的方式是水冷降温，但是水流速度快，无法充分吸收炉盖表面的热量，而且无法对观察筒、中间筒也进行有效降温。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本实用新型提供了一种延长水冷时间的单晶炉炉盖，能减慢水流速度，充分吸收炉盖热量，而且能对观察筒、中间筒也进行有效降温。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种延长水冷时间的单晶炉炉盖，包括半球形的炉盖本体和连接于炉盖本体中间向上延伸的中间筒、设于炉盖本体上向上延伸的观察筒以及热屏提升筒，所述炉盖本体包括外炉盖和内炉盖、设于外炉盖和内炉盖之间的主冷水通道，所述主冷水通道靠近中间筒处设有主进水口，主冷水通道位于炉盖本体外围设有主出水口，所述主冷水通道呈沿水流方向宽度逐渐变大再逐渐变小的螺旋形；

3、所述中间筒包括第一外筒和第一内筒，所述第一外筒和第一内筒之间沿竖直方向形成螺旋形的第一水冷通道；第一水冷通道顶部侧面设有第一进水口和连通主冷水通道的第一出水口；

4、所述观察筒包括第二外筒和第二内筒，所述第二外筒和第二内筒之间沿竖直方向形成螺旋形的第二水冷通道；第二水冷通道顶部侧面设有第二进水口和连通主冷水通道的第二出水口。

5、本产品将所述主冷水通道设计成沿水流方向宽度逐渐变大再逐渐变小的螺旋形，进而延长了水在主冷水通道内的停留时间，减慢了出水速度，进而使水能充分吸收炉盖的热量之后然后排出，提高降温效果；而且设计了所述第一水冷通道和第二水冷通道能对中间筒和观察筒通水降温，而且水最终会进入主冷水通道内继续吸收锅盖本体的热量然后排出。

6、进一步地，所述热屏提升筒包括第三外筒和第三内筒，所述第三外筒和第三内筒之间沿竖直方向形成螺旋形的第三水冷通道；第三水冷通道顶部侧面设有第三进水口和连通主冷水通道的第三出水口。该设计可对热屏提升筒通水降温，之后水进入主冷水通道内继续吸收锅盖本体的热量然后排出。

7、进一步地，所述第一水冷通道、第二水冷通道以及第三水冷通道也呈沿水流方向宽度逐渐变大再逐渐变小的螺旋形。该设计进一步延长了水在第一水冷通道、第二水冷通道以及第三水冷通道内停留的时间，使水充分吸收中间筒、观察筒以及热屏提升筒的热量之后排出。

8、进一步地，所述中间筒顶部设有第一法兰。方便拆装。

9、综上所述，本实用新型的有益效果：本产品能减慢水流速度，使水充分吸收炉盖热量之后排出；而且能对观察筒、中间筒也进行通水降温，之后水再进入主冷水通道设计对炉盖主体进行降温之后排出。

技术特征：

1.一种延长水冷时间的单晶炉炉盖，包括半球形的炉盖本体(1)和连接于炉盖本体(1)中间向上延伸的中间筒(2)、设于炉盖本体(1)上向上延伸的观察筒(3)以及热屏提升筒(4)，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的延长水冷时间的单晶炉炉盖，其特征在于：所述热屏提升筒(4)包括第三外筒(41)和第三内筒(42)，所述第三外筒(41)和第三内筒(42)之间沿竖直方向形成螺旋形的第三水冷通道(43)；第三水冷通道(43)顶部侧面设有第三进水口和连通主冷水通道(13)的第三出水口。

3.根据权利要求1所述的延长水冷时间的单晶炉炉盖，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的延长水冷时间的单晶炉炉盖，其特征在于：

技术总结
本技术涉及单晶炉领域，具体公开了一种延长水冷时间的单晶炉炉盖，外炉盖和内炉盖之间设有主冷水通道，主冷水通道靠近中间筒处设有主进水口，主冷水通道位于炉盖本体外围设有主出水口，主冷水通道呈沿水流方向宽度逐渐变大再逐渐变小的螺旋形；中间筒包括第一外筒和第一内筒，第一外筒和第一内筒之间沿竖直方向形成螺旋形的第一水冷通道；第一冷水通道侧面设有第一进水口和连通主冷水通道的第一出水口；观察筒包括第二外筒和第二内筒，第二外筒和第二内筒之间沿竖直方向形成螺旋形的第二水冷通道；第二冷水通道侧面设有第二进水口和连通主冷水通道的第二出水口。能减慢水流速度，充分吸收炉盖热量，能对观察筒、中间筒也进行有效降温。

技术研发人员：倪建刚
受保护的技术使用者：浙江浩祥精密机械制造有限公司
技术研发日：20230410
技术公布日：2024/1/13