一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置的制作方法

本技术涉及二氧化碳纯化，具体地说，涉及一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置。

背景技术：

1、二氧化碳，一种碳氧化合物，常温常压下是一种无色无味或无色无嗅而略有酸味的气体，也是一种常见的温室气体，还是空气的组分之一，在物理性质方面，二氧化碳的熔点为-78.5℃，沸点为-56.6℃，密度比空气密度大，微溶于水，在化学性质方面，二氧化碳的化学性质不活泼，热稳定性很高，不能燃烧，通常也不支持燃烧，属于酸性氧化物。

2、经检索，专利公告号为cn208553607u公开了一种二氧化碳气体纯化器，属于二氧化碳气体纯化技术领域，它包括纯化罐本体和外壳本体，纯化罐本体套设在外壳本体的内侧，纯化罐本体的外部套设有陶瓷加热圈，陶瓷加热圈和外壳本体之间设有铝箔圈，铝箔圈和陶瓷加热圈之间设有绝热棉，铝箔圈和外壳本体之间开设有空腔，所述外壳本体的顶部和底部分别固定连接有上封头和下封头，上封头的顶部固定连接有管路夹块，管路夹块的顶部分别设有工艺气入口管和工艺气出口管，然而对比文件对二氧化碳的提纯处理方式较为单一，从而降低了对二氧化碳的纯化洁净度，而且对比文件不方便对设备进行保护，当设备在使用时受到外界撞击，容易使设备造成损坏，从而增加了维修成本。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，通过在液氧汽化器的另一侧活动安装有气体加压泵，能够通过气体加压泵进行加压处理，接着利用活性炭吸附箱进行净化，然后利用加热器进行加热杀毒，接着利用干燥机进行干燥，最后利用冷凝器进行冷凝工作，能够利用多个设备对二氧化碳进行多级处理，从而提升了二氧化碳的纯化洁净度，通过在保护箱的顶部皆贯穿设置有散热槽，最后利用维修槽口活动安装密封门，方便对设备进行保护，防止设备收到外界的撞击，从而降低了设备的后续维修成本，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，包括液氧汽化器，所述液氧汽化器的一侧贯穿安装有汽化运输管，所述液氧汽化器的另一侧活动安装有气体加压泵，所述气体加压泵的底部活动安装有活性炭吸附箱，所述活性炭吸附箱的另一侧活动安装有加热器，所述加热器的内部固定安装有流动管道，所述加热器的底部活动安装有支撑板。

4、优选的，所述液氧汽化器的一侧活动安装有储气罐，储气罐的一侧贯穿安装有外部进气管道，所述液氧汽化器的底部活动安装有保护箱，保护箱的表面皆活动安装有密封门，密封门的另一侧固定安装有plc控制器，plc控制器的底部固定安装有电源插孔，保护箱的另一侧活动安装有收集箱。

5、优选的，所述支撑板的顶部活动安装有干燥机，干燥机的顶部贯穿安装有输送管道，输送管道的另一侧活动安装有冷凝器，冷凝器的另一侧贯穿安装有排气管道，排气管道的底部固定安装有软胶管道。

6、优选的，所述保护箱的顶部皆贯穿设置有散热槽，所述保护箱的两侧皆贯穿设置有穿管通孔，所述保护箱的表面皆贯穿设置有维修槽口。

7、优选的，所述密封门的一侧皆固定安装有铰链，所述密封门的一端皆固定安装有密封胶条，所述密封门的内部皆贯穿设置有观察玻璃，所述密封门的表面皆贯穿设置有把手。

8、优选的，所述收集箱的顶部贯穿设置有密封阀口，所述收集箱的另一侧固定安装有拉手，所述收集箱的底部固定安装有底板，底板的底部皆固定安装有万向轮。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、(1)通过在液氧汽化器的另一侧活动安装有气体加压泵，能够通过气体加压泵进行加压处理，接着利用活性炭吸附箱进行净化，然后利用加热器进行加热杀毒，接着利用干燥机进行干燥，最后利用冷凝器进行冷凝工作，能够利用多个设备对二氧化碳进行多级处理，从而提升了二氧化碳的纯化洁净度；

11、(2)通过在保护箱的顶部皆贯穿设置有散热槽，能够通过保护箱对设备进行保护，接着利用散热槽进行散热，然后利用穿管通孔对管道进行安插，最后利用维修槽口活动安装密封门，方便对设备进行保护，防止设备收到外界的撞击，从而降低了设备的后续维修成本。

技术特征：

1.一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，包括液氧汽化器(7)，其特征在于：所述液氧汽化器(7)的一侧贯穿安装有汽化运输管(701)，所述液氧汽化器(7)的另一侧活动安装有气体加压泵(8)，所述气体加压泵(8)的底部活动安装有活性炭吸附箱(9)，所述活性炭吸附箱(9)的另一侧活动安装有加热器(10)，所述加热器(10)的内部固定安装有流动管道(1001)，所述加热器(10)的底部活动安装有支撑板(13)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，其特征在于：所述液氧汽化器(7)的一侧活动安装有储气罐(6)，储气罐(6)的一侧贯穿安装有外部进气管道(601)，所述液氧汽化器(7)的底部活动安装有保护箱(1)，保护箱(1)的表面皆活动安装有密封门(4)，密封门(4)的另一侧固定安装有plc控制器(2)，plc控制器(2)的底部固定安装有电源插孔(3)，保护箱(1)的另一侧活动安装有收集箱(5)。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，其特征在于：所述支撑板(13)的顶部活动安装有干燥机(11)，干燥机(11)的顶部贯穿安装有输送管道(1101)，输送管道(1101)的另一侧活动安装有冷凝器(12)，冷凝器(12)的另一侧贯穿安装有排气管道(1201)，排气管道(1201)的底部固定安装有软胶管道(1202)。

4.根据权利要求2所述的一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，其特征在于：所述保护箱(1)的顶部皆贯穿设置有散热槽(102)，所述保护箱(1)的两侧皆贯穿设置有穿管通孔(101)，所述保护箱(1)的表面皆贯穿设置有维修槽口(103)。

5.根据权利要求2所述的一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，其特征在于：所述密封门(4)的一侧皆固定安装有铰链(404)，所述密封门(4)的一端皆固定安装有密封胶条(401)，所述密封门(4)的内部皆贯穿设置有观察玻璃(402)，所述密封门(4)的表面皆贯穿设置有把手(403)。

6.根据权利要求2所述的一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，其特征在于：所述收集箱(5)的顶部贯穿设置有密封阀口(501)，所述收集箱(5)的另一侧固定安装有拉手(502)，所述收集箱(5)的底部固定安装有底板(503)，底板(503)的底部皆固定安装有万向轮(504)。

技术总结
本技术公开了一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，包括液氧汽化器，所述液氧汽化器的一侧贯穿安装有汽化运输管，所述液氧汽化器的另一侧活动安装有气体加压泵，所述气体加压泵的底部活动安装有活性炭吸附箱，所述活性炭吸附箱的另一侧活动安装有加热器，所述加热器的内部固定安装有流动管道，所述加热器的底部活动安装有支撑板。本技术通过在液氧汽化器的另一侧活动安装有气体加压泵，能够通过气体加压泵进行加压处理，接着利用活性炭吸附箱进行净化，然后利用加热器进行加热杀毒，接着利用干燥机进行干燥，最后利用冷凝器进行冷凝工作，能够利用多个设备对二氧化碳进行多级处理，从而提升了二氧化碳的纯化洁净度。

技术研发人员：侯鹏,李文强,韩江江,刘松青
受保护的技术使用者：大连华邦化学有限公司
技术研发日：20230417
技术公布日：2024/1/13