一种扩散工艺三氯氧磷供应设备的制作方法

本技术是关于晶体硅太阳能电池生产领域，特别是关于一种扩散工艺三氯氧磷供应设备。

背景技术：

1、晶体硅太阳能电池在进行生产时需要经过多道生产工艺，其中扩散工艺是其中一个重要的环节。

2、扩散使用的设备是扩散炉，三氯氧磷是扩散的主要原材料，将装有三氯氧磷的扩散源瓶安装到设备的恒温装置中，扩散源瓶上设置有两个气体输送管道和两个气体输送机构，一个气体输送管道内通入氮气，另一个气体管道用于通入三氯氧磷，扩散源瓶通过气体管道向扩散炉内输送三氯氧磷。

3、扩散是利用载气，常称小氮，通过液态扩散源，即三氯氧磷，携带着扩散源蒸汽进入高温扩散反应管，扩散源在高温下分解，并与硅表面硅原子发生反应，释放出掺杂原子向硅中扩散。

4、其中三氯氧磷它是一种无色透明、有辛辣刺鼻的味道、有腐蚀性、有毒性的化学液体，呈酸性。若吸入挥发气体会刺激呼吸系统黏膜组织。若接触皮肤能造成皮肤的灼伤。遇水会产生剧烈反应，一旦泄露会给周围环境会造成很大的危险。

5、然而恒温装置中安装的扩散源瓶内的三氯氧磷需要经常进行使用，因此需要经常向扩散源瓶内进行补充三氯氧磷，多次增加易增加扩散源瓶内的三氯氧磷泄露的危险，安全性较低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，其能够实现不需要多次对扩散源瓶内进行补充三氯氧磷，补充次数少，安全性高。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，包括恒温装置主体，所述恒温装置主体内设置有扩散源瓶，所述扩散源瓶上设置有第一气体输送机构、第二气体输送机构、氮气输送管和三氯氧磷输送管，所述恒温装置主体的外侧端面连接有三氯氧磷供应设备；

3、所述三氯氧磷供应设备包括三氯氧磷气体储存罐和密封储存箱，所述三氯氧磷气体储存罐储存在密封储存箱内，所述三氯氧磷气体储存罐内储存有三氯氧磷，所述三氯氧磷供应设备和扩散源瓶之间设置有气体输送软管，所述气体输送软管贯穿三氯氧磷供应设备、恒温装置主体和扩散源瓶，所述气体输送软管位于三氯氧磷供应设备和恒温装置主体的侧壁底部端面。

4、在一个或多个实施方式中，所述密封储存箱包括箱盖，所述密封储存箱和箱盖之间设置有开合机构。

5、在一个或多个实施方式中，所述开合机构包括连接耳和转动轴，所述箱盖上固定连接有连接耳，所述密封储存箱上固定连接有一对与连接耳相匹配的固定块，所述连接耳的底部端面固定连接有转动轴，一对所述固定块内均开设有与转动轴相匹配的转动孔，所述转动轴贯穿一对转动孔。

6、在一个或多个实施方式中，所述箱盖和密封储存箱上设置有箱锁，所述箱盖的上部端面固定连接有拿取把手。

7、在一个或多个实施方式中，所述箱盖和密封储存箱的连接处固定连接有第一密封条。

8、在一个或多个实施方式中，所述密封储存箱为不锈钢材质。

9、在一个或多个实施方式中，所述三氯氧磷气体储存罐上设置有第三气体输送机构，所述第三气体输送机构连接有气体输送连接管，所述气体输送连接管连接外部三氯氧磷供应管。

10、在一个或多个实施方式中，所述气体输送连接管和第三气体输送机构之间设置有气体输送连接管。

11、在一个或多个实施方式中，所述三氯氧磷气体储存罐在水平面的投影大于扩散源瓶在水平面的投影。

12、在一个或多个实施方式中，所述三氯氧磷气体储存罐和扩散源瓶的侧壁底部端面均焊接有气体输送软管，所述密封储存箱和恒温装置主体的侧壁底部端面均开设有与气体输送软管相匹配的限位孔，所述气体输送软管贯穿限位孔，所述气体输送软管内储存有软管。

13、与现有技术相比，根据本实用新型的一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，通过三氯氧磷供应设备，实现不需要多次对扩散源瓶内进行补充三氯氧磷，补充次数少，安全性高。

技术特征：

1.一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，包括恒温装置主体，所述恒温装置主体内设置有扩散源瓶，所述扩散源瓶上设置有第一气体输送机构、第二气体输送机构、氮气输送管和三氯氧磷输送管，其特征在于，所述恒温装置主体的外侧端面连接有三氯氧磷供应设备；

2.如权利要求1所述的一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，其特征在于，所述密封储存箱包括箱盖，所述密封储存箱和箱盖之间设置有开合机构。

3.如权利要求2所述的一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，其特征在于，所述开合机构包括连接耳和转动轴，所述箱盖上固定连接有连接耳，所述密封储存箱上固定连接有一对与连接耳相匹配的固定块，所述连接耳的底部端面固定连接有转动轴，一对所述固定块内均开设有与转动轴相匹配的转动孔，所述转动轴贯穿一对转动孔。

4.如权利要求2所述的一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，其特征在于，所述箱盖和密封储存箱上设置有箱锁，所述箱盖的上部端面固定连接有拿取把手。

5.如权利要求4所述的一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，其特征在于，所述箱盖和密封储存箱的连接处固定连接有第一密封条。

6.如权利要求1或4所述的一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，其特征在于，所述密封储存箱为不锈钢材质。

7.如权利要求1所述的一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，其特征在于，所述三氯氧磷气体储存罐上设置有第三气体输送机构，所述第三气体输送机构连接有气体输送连接管，所述气体输送连接管连接外部三氯氧磷供应管。

8.如权利要求7所述的一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，其特征在于，所述气体输送连接管和第三气体输送机构之间设置有气体输送连接管。

9.如权利要求1所述的一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，其特征在于，所述三氯氧磷气体储存罐在水平面的投影大于扩散源瓶在水平面的投影。

10.如权利要求1所述的一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，其特征在于，所述三氯氧磷气体储存罐和扩散源瓶的侧壁底部端面均焊接有气体输送软管，所述密封储存箱和恒温装置主体的侧壁底部端面均开设有与气体输送软管相匹配的限位孔，所述气体输送软管贯穿限位孔，所述气体输送软管内储存有软管。

技术总结
本技术公开了一种扩散工艺三氯氧磷供应设备，包括恒温装置主体，所述恒温装置主体内设置有扩散源瓶，所述扩散源瓶上设置有第一气体输送机构、第二气体输送机构、氮气输送管和三氯氧磷输送管所述恒温装置主体的外侧端面连接有三氯氧磷供应设备，所述三氯氧磷供应设备包括三氯氧磷气体储存罐和密封储存箱，所述三氯氧磷气体储存罐储存在密封储存箱内，所述三氯氧磷气体储存罐内储存有三氯氧磷，所述三氯氧磷供应设备和扩散源瓶之间设置有气体输送软管。本技术实现不需要多次对扩散源瓶内进行补充三氯氧磷，补充次数少，安全性高。

技术研发人员：魏飞,安籽龙,杨屹帆
受保护的技术使用者：中润新能源（徐州）有限公司
技术研发日：20230524
技术公布日：2024/1/15