盖板、坩埚及铸锭炉的制作方法

文档序号:36143834发布日期:2023-11-23 00:15阅读:89来源:国知局

本技术涉及铸锭,尤其是涉及一种盖板、坩埚及铸锭炉。


背景技术:

1、相关技术中,铸锭炉可用于多晶硅的生产制造,铸锭炉包括炉体、加热器以及坩埚,坩埚以及加热器均设于炉体内,加热器设于坩埚外且用于对坩埚加热,坩埚包括坩埚主体以及盖设在坩埚主体的顶部的盖板,盖板包括第一子盖板和第二子盖板,第一子盖板和第二子盖板并排放置,第一子盖板和第二子盖板之间存在缝隙,该缝隙连通坩埚内部和坩埚外部,第一子盖板与第二子盖板之间共同限定出进气孔,气体通过进气孔注入坩埚中,例如,气体可以为氩气,使坩埚内的气压会大于坩埚外部的气压,气流会通过排气孔排出。但在气流作用下,盖板会有所偏移,第一子盖板与第二子盖板之间的缝隙会变大,炉体内的杂质粉尘等会通过第一子盖板与第二子盖板之间的缝隙进入坩埚主体的内部,有可能导致铸锭炉的产物中的杂质含量提高,影响生产质量。因此,有待改进。


技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型的一个目的在于提出一种盖板,沿第一方向拼接的第一子盖板和第二子盖板,第一子盖板包括第一盖板主体以及连接在第一盖板主体沿第一方向一侧的第一配合部,第二子盖板包括第二盖板主体以及连接在第二盖板主体沿第一方向一侧的第二配合部,通过将第一配合部和第二配合部在上下方向上设为叠置,受到气流冲击时第一配合部和第二配合部不易完全错开,当第一配合部和第二配合部的部分错开时,仍有部分第一配合部和部分第二配合部叠置,从而可以降低炉体内的杂质粉尘等通过第一子盖板和第二子盖板之间的缝隙进入坩埚主体的内部的概率,提高了盖板对坩埚主体的密封性,有利于降低铸锭炉的产物的杂质含量,提高了利用该铸锭炉生产出的铸锭的质量。

2、本实用新型还提出了一种具有上述盖板的坩埚。

3、本实用新型还提出了一种具有上述坩埚的铸锭炉。

4、根据本实用新型第一方面实施例的用于铸锭炉的盖板,所述铸锭炉包括炉体、加热器以及坩埚,所述坩埚以及所述加热器均设于所述炉体内,所述加热器设于所述坩埚外且用于对所述坩埚加热,所述坩埚包括坩埚主体以及盖设在所述坩埚主体的顶部的所述盖板,其特征在于,所述盖板包括:

5、沿第一方向拼接的第一子盖板和第二子盖板,所述第一方向平行于水平方向,所述第一子盖板与所述第二子盖板之间共同限定出进气孔,所述第一子盖板包括第一盖板主体以及连接在所述第一盖板主体沿所述第一方向一侧的第一配合部,所述第二子盖板包括第二盖板主体以及连接在所述第二盖板主体沿所述第一方向一侧的第二配合部,所述第一配合部和所述第二配合部在上下方向上叠置。

6、根据本实用新型实施例的盖板,沿第一方向拼接的第一子盖板和第二子盖板,第一子盖板包括第一盖板主体以及连接在第一盖板主体沿第一方向一侧的第一配合部,第二子盖板包括第二盖板主体以及连接在第二盖板主体沿第一方向一侧的第二配合部,通过将第一配合部和第二配合部在上下方向上设为叠置,受到气流冲击时第一配合部和第二配合部不易完全错开,当第一配合部和第二配合部的部分错开时,仍有部分第一配合部和部分第二配合部叠置,从而可以降低炉体内的杂质粉尘等通过第一子盖板和第二子盖板之间的缝隙进入坩埚主体的内部的概率,提高了盖板对坩埚主体的密封性,有利于降低铸锭炉的产物的杂质含量,提高了利用该铸锭炉生产出的铸锭的质量。

7、根据本实用新型的一些实施例,在所述第一方向上,所述第一配合部的宽度为20-40mm,所述第二配合部的宽度为20-40mm。

8、根据本实用新型的一些实施例,所述第一配合部的厚度小于所述第一盖板主体的厚度,所述第二配合部的厚度小于所述第二盖板主体的厚度。

9、根据本实用新型一些可选地实施例,所述第一盖板主体的厚度为16-26mm,所述第一配合部的厚度为8-13mm;所述第二盖板主体的厚度为16-26mm,所述第二配合部的厚度为8-13mm。

10、根据本实用新型一些可选地实施例,所述第一子盖板的邻近所述第二子盖板的一端形成有第一配合缺口,所述第一配合缺口与所述第一配合部在上下方向上排布;所述第二子盖板的邻近所述第一子盖板的一端形成有第二配合缺口,所述第二配合缺口与所述第二配合部在上下方向上排布;

11、其中,所述第一配合部容纳于所述第二配合缺口,所述第二配合部容纳于所述第一配合缺口。

12、根据本实用新型一些可选地实施例,所述第一配合部的背离所述第一配合缺口的表面为第一表面,所述第二盖板主体的表面与所述第一表面位于同一侧的部分为第二表面,所述第一表面与所述第二表面齐平设置;

13、所述第二配合部的背离所述第二配合缺口的表面为第三表面,所述第一盖板主体的表面与所述第三表面位于同一侧的部分为第四表面,所述第三表面与所述第四表面齐平设置。

14、根据本实用新型的一些实施例,盖板还包括呈长条形的压板,所述压板盖设在所述第一子盖板与所述第二子盖板的拼接缝的上方,所述拼接缝沿第二方向延伸,所述第二方向平行于水平方向且垂直与所述第一方向,所述压板沿所述第二方向延伸。

15、根据本实用新型一些可选地实施例,所述压板为碳纤维板;和/或,所述压板为两个,两个所述压板设在所述进气孔沿第二方向的相对两侧。

16、根据本实用新型第二方面实施例的坩埚,包括:盖板,所述盖板为根据本实用新型上述第一方面实施例的盖板。

17、根据本实用新型实施例的坩埚,通过设置上述的盖板,可以提高坩埚的密封性,可以有效防止炉体内的杂质粉尘等进入坩埚主体的内部。

18、根据本实用新型第三方面实施例的铸锭炉,包括:坩埚,所述坩埚为根据本实用新型上述第二方面实施例的坩埚。

19、根据本实用新型实施例的铸锭炉,通过设置上述的坩埚,降低了铸锭炉的产物的杂质含量。

20、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。



技术特征:

1.一种用于铸锭炉的盖板,所述铸锭炉包括炉体、加热器以及坩埚,所述坩埚以及所述加热器均设于所述炉体内,所述加热器设于所述坩埚外且用于对所述坩埚加热,所述坩埚包括坩埚主体以及盖设在所述坩埚主体的顶部的所述盖板,其特征在于,所述盖板包括:

2.根据权利要求1所述的盖板,其特征在于,在所述第一方向上,所述第一配合部的宽度为20-40mm,所述第二配合部的宽度为20-40mm。

3.根据权利要求1所述的盖板,其特征在于,所述第一配合部的厚度小于所述第一盖板主体的厚度,所述第二配合部的厚度小于所述第二盖板主体的厚度。

4.根据权利要求3所述的盖板,其特征在于,所述第一盖板主体的厚度为16-26mm,所述第一配合部的厚度为8-13mm;所述第二盖板主体的厚度为16-26mm,所述第二配合部的厚度为8-13mm。

5.根据权利要求3所述的盖板,其特征在于,所述第一子盖板的邻近所述第二子盖板的一端形成有第一配合缺口,所述第一配合缺口与所述第一配合部在上下方向上排布;所述第二子盖板的邻近所述第一子盖板的一端形成有第二配合缺口,所述第二配合缺口与所述第二配合部在上下方向上排布;

6.根据权利要求5所述的盖板,其特征在于,所述第一配合部的背离所述第一配合缺口的表面为第一表面,所述第二盖板主体的表面与所述第一表面位于同一侧的部分为第二表面,所述第一表面与所述第二表面齐平设置;

7.根据权利要求1-6中任一项所述的盖板,其特征在于,还包括呈长条形的压板,所述压板盖设在所述第一子盖板与所述第二子盖板的拼接缝的上方,所述拼接缝沿第二方向延伸,所述第二方向平行于水平方向且垂直与所述第一方向,所述压板沿所述第二方向延伸。

8.根据权利要求7所述的盖板,其特征在于,所述压板为碳纤维板;和/或,所述压板为两个,两个所述压板设在所述进气孔沿第二方向的相对两侧。

9.一种坩埚,其特征在于,包括:根据权利要求1-8中任一项所述的盖板。

10.一种铸锭炉,其特征在于,包括:根据权利要求9所述的坩埚。


技术总结
本技术公开了一种盖板、坩埚及铸锭炉,铸锭炉包括炉体、加热器以及坩埚,坩埚以及加热器均设于炉体内,加热器设于坩埚外且用于对坩埚加热,坩埚包括坩埚主体以及盖设在坩埚主体的顶部的盖板,盖板包括:沿第一方向拼接的第一子盖板和第二子盖板,第一方向平行于水平方向,第一子盖板与第二子盖板之间共同限定出进气孔,第一子盖板包括第一盖板主体以及连接在第一盖板主体沿第一方向一侧的第一配合部,第二子盖板包括第二盖板主体以及连接在第二盖板主体沿第一方向一侧的第二配合部,第一配合部和第二配合部在上下方向上叠置。根据本技术实施例的盖板,提高了盖板对坩埚主体的密封性,提高了利用该铸锭炉生产出的铸锭的质量。

技术研发人员:周洁,周永驰,张华利,汪晨
受保护的技术使用者:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
技术研发日:20230609
技术公布日:2024/1/15
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