一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置的制作方法

本技术涉及半导体材料生长，具体为一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置。

背景技术：

1、高温化学气相沉积(htcvd)是目前进行生长碳化硅外延材料的主流技术，在碳化硅外延生长时需要使用沉积装置来进行，现如今所使用的沉积装置出料较为不便，在反应生长后不易将碳化硅取出，使用存在一定的缺陷，为此我们提出一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，解决以上提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，具备方便对反应后的碳化硅取出的优点，解决了现有的沉积装置出料较为不便，在反应生长后不易将碳化硅取出，使用存在一定的缺陷的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，包括反应罐，所述反应罐底部的中心处固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒的左右两侧自上而下均匀固定连接有承载板，所述承载板的顶部设置有沉积箱，所述沉积箱底部的四角均固定连接有销块，所述承载板顶部的四角均开设有卡槽，所述销块与卡槽之间插接。

3、作为本实用新型的一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置优选的，所述螺纹套筒左右两侧的底部均固定连接有滑块，所述反应罐内腔的左右两侧均开设有配合滑块使用的滑槽，所述滑块的外表面与滑槽的内表面滑动连接。

4、作为本实用新型的一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置优选的，所述螺纹套筒的顶部固定连接有盖板，所述盖板的底部固定连接有密封垫，所述密封垫的底部与反应罐的顶部紧密贴合。

5、作为本实用新型的一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置优选的，所述反应罐的顶部开设有通孔，所述承载板的外表面与通孔的内表面滑动连接。

6、作为本实用新型的一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置优选的，所述沉积箱的顶部设置有把手，所述反应罐底部的四角均固定连接有支腿。

7、作为本实用新型的一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置优选的，所述沉积箱正面的顶部设置有显示屏，所述沉积箱正面的底部设置有控制开关。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

9、本实用新型通过设置反应罐和沉积箱，能够对碳化硅进行生长，通过设置伺服电机、螺纹杆、螺纹套筒和承载板，能够带动沉积箱向上移动，通过设置销块和卡槽，能够方便将沉积箱取出，通过设置以上结构，具备方便对反应后的碳化硅取出的优点，解决了现有的沉积装置出料较为不便，在反应生长后不易将碳化硅取出，使用存在一定的缺陷的问题。

技术特征：

1.一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，包括反应罐(1)，其特征在于：所述反应罐(1)底部的中心处固定连接有伺服电机(2)，所述伺服电机(2)的输出端固定连接有螺纹杆(3)，所述螺纹杆(3)的外表面螺纹连接有螺纹套筒(4)，所述螺纹套筒(4)的左右两侧自上而下均匀固定连接有承载板(5)，所述承载板(5)的顶部设置有沉积箱(6)，所述沉积箱(6)底部的四角均固定连接有销块(7)，所述承载板(5)顶部的四角均开设有卡槽(8)，所述销块(7)与卡槽(8)之间插接。

2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，其特征在于：所述螺纹套筒(4)左右两侧的底部均固定连接有滑块(9)，所述反应罐(1)内腔的左右两侧均开设有配合滑块(9)使用的滑槽(10)，所述滑块(9)的外表面与滑槽(10)的内表面滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，其特征在于：所述螺纹套筒(4)的顶部固定连接有盖板(11)，所述盖板(11)的底部固定连接有密封垫(12)，所述密封垫(12)的底部与反应罐(1)的顶部紧密贴合。

4.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，其特征在于：所述反应罐(1)的顶部开设有通孔(13)，所述承载板(5)的外表面与通孔(13)的内表面滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，其特征在于：所述沉积箱(6)的顶部设置有把手(14)，所述反应罐(1)底部的四角均固定连接有支腿。

6.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，其特征在于：所述沉积箱(6)正面的顶部设置有显示屏(15)，所述沉积箱(6)正面的底部设置有控制开关(16)。

技术总结
本技术公开了一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，包括反应罐，所述反应罐底部的中心处固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒的左右两侧自上而下均匀固定连接有承载板，所述承载板的顶部设置有沉积箱，所述沉积箱底部的四角均固定连接有销块，所述承载板顶部的四角均开设有卡槽，本技术通过设置反应罐和沉积箱，能够对碳化硅进行生长，通过设置伺服电机、螺纹杆、螺纹套筒和承载板，能够带动沉积箱向上移动，通过设置销块和卡槽，能够方便将沉积箱取出，通过设置以上结构，具备方便对反应后的碳化硅取出的优点。

技术研发人员：姜佑霖,马良来
受保护的技术使用者：昊石新材料科技南通有限公司
技术研发日：20230619
技术公布日：2024/1/15