一种氮化镓外延片生长基盘的制作方法

本技术涉及晶体生长设备，具体涉及一种氮化镓外延片生长基盘。

背景技术：

1、外延片是led制备过程中的初级成品，led外延片包括衬底、缓冲层、n型半导体层、有源层和p型半导体层，缓冲层、n型半导体层、有源层和p型半导体层依次层叠在衬底上，衬底用于为外延材料提供生长表面，缓冲层用于为外延材料的生长提供成核中心，n型半导体层用于提供进行复合发光的电子，p型半导体层用于提供进行复合发光的空穴，有源层用于进行电子和空穴的辐射复合发光，衬底的材料通常采用蓝宝石、碳化硅或者硅等，缓冲层、n型半导体层、有源层和p型半导体层的材料选择氮化镓基材料(氮化镓基材料包括氮化镓、氮化铝镓、氮化铟镓等)。

2、目前氮化镓外延片生长的主流工艺是生产过程中使用基盘，而现如今201320559604.0的实用新型专利公开一种外延片生长基盘，由储槽、盘体组成，储槽设置在盘体上，储槽设置为直径相等的圆形，该外延片生长基盘虽然一次能生长54片，生产效率高，生产成本低，外延片的均匀性较好，外延片的质量稳定。但是相邻两个储槽之间的间隙还是比较多，这样会导致浪费较多的空间，从而很难进一步提高生产效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种氮化镓外延片生长基盘，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、一种氮化镓外延片生长基盘，包括盘体，还包括：

3、蜂窝储槽结构，所述蜂窝储槽结构可拆卸连接在盘体中，所述蜂窝储槽结构包括多块蜂窝块，所述蜂窝块呈正六边形结构，所述蜂窝块中均设有储槽。

4、具体地，所述盘体中设有蜂窝安装槽，所述蜂窝储槽结构安装在蜂窝安装槽内部，所述蜂窝安装槽内壁固定有内软垫。

5、具体地，所述蜂窝块外壁均固定有外软垫，所述外软垫与内软垫接触。

6、具体地，所述外软垫和内软垫均由橡胶制成。

7、具体地，所述外软垫和内软垫均由硅胶制成。

8、具体地，所述外软垫和内软垫均由橡胶磁条制成。

9、本实用新型的有益效果：该氮化镓外延片生长基盘，通过将储槽设置在蜂窝块中，因为蜂窝块呈正六边形结构，所以通过多块蜂窝块拼接组成蜂窝储槽结构，使得最上侧或最下侧的蜂窝块数量均为6块，然后朝盘体中心增加数量，分别为6、7、8、9、10，中间一组蜂窝块的数量为10，上下的蜂窝块数量均呈6、7、8、9、10排列，这样就一次能生长70片，生产效率高，生产成本低，氮化镓外延片的均匀性较好，氮化镓外延片的质量稳定。

技术特征：

1.一种氮化镓外延片生长基盘，包括盘体(1)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种氮化镓外延片生长基盘，其特征在于：所述盘体(1)中设有蜂窝安装槽(11)，所述蜂窝储槽结构(2)安装在蜂窝安装槽(11)内部，所述蜂窝安装槽(11)内壁固定有内软垫(12)。

3.根据权利要求2所述的一种氮化镓外延片生长基盘，其特征在于：所述蜂窝块(21)外壁均固定有外软垫(22)，所述外软垫(22)与内软垫(12)接触。

4.根据权利要求3所述的一种氮化镓外延片生长基盘，其特征在于：所述外软垫(22)和内软垫(12)均由橡胶制成。

5.根据权利要求3所述的一种氮化镓外延片生长基盘，其特征在于：所述外软垫(22)和内软垫(12)均由硅胶制成。

6.根据权利要求3所述的一种氮化镓外延片生长基盘，其特征在于：所述外软垫(22)和内软垫(12)均由橡胶磁条制成。

技术总结
本技术公开了一种氮化镓外延片生长基盘，包括盘体，还包括：蜂窝储槽结构，蜂窝储槽结构可拆卸连接在盘体中，蜂窝储槽结构包括多块蜂窝块，蜂窝块呈正六边形结构，蜂窝块中均设有储槽。该氮化镓外延片生长基盘，通过将储槽设置在蜂窝块中，因为蜂窝块呈正六边形结构，所以通过多块蜂窝块拼接组成蜂窝储槽结构，使得最上侧或最下侧的蜂窝块数量均为6块，然后朝盘体中心增加数量，分别为6、7、8、9、10，中间一组蜂窝块的数量为10，上下的蜂窝块数量均呈6、7、8、9、10排列，这样就一次能生长70片，生产效率高，生产成本低，氮化镓外延片的均匀性较好，氮化镓外延片的质量稳定。

技术研发人员：胡晓海
受保护的技术使用者：苏州中科重仪半导体材料有限公司
技术研发日：20230703
技术公布日：2024/1/15