本技术涉及单晶生产辅助设备,具体涉及一种单晶炉加热器取出装置。
背景技术:
1、直拉法是拉制单晶硅棒的主要方法之一,该方法是将原料多晶硅放入单晶炉的石英坩埚内,利用石墨加热器加热熔化多晶硅原料,再经过调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉等过程完成单晶硅棒的拉制。
2、随着n型硅片市场需求增多,控氧成为行业一大难题,相应热场也进行了整改优化,如增加隔热环、降低埚转(速度)等,而且行业对于工时把控越来越严,缩短拆炉时间是一个趋势。
3、目前,拆炉时采用人工操作取出加热器,由于炉内温度高,导致加热器的取出时间延长,增加了无效工时,效率低,同时高温环境容易烫伤操作人员。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本实用新型提供一种单晶炉加热器取出装置,以解决现有加热器的取出采用人工操作而导致时间延长,增加了无效工时,效率低,同时高温环境容易烫伤操作人员的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型提供了以下技术方案:
3、一种单晶炉加热器取出装置,包括:
4、受力环,用于起吊整个装置;
5、第一杆件,竖直连接于所述受力环下方;
6、第二杆件,呈l型结构,其横杆水平连接于所述第一杆件下端侧面;及
7、承载座,连接于所述第二杆件向下延伸的竖杆下端,其可与所述加热器下沿接触以托起所述加热器;
8、其中,所述竖杆与所述第一杆件之间的水平距离可调节;所述第二杆件与所述承载座一一对应地设有多个且它们绕所述第一杆件圆周均匀分布。
9、在本申请公开的一个实施例中,所述承载座横截面呈l型结构,其主要由横板与立板构成。
10、在本申请公开的一个实施例中,所述横板与立板均为弧形板。
11、在本申请公开的一个实施例中,所述立板对应的圆心角为45~60°。
12、在本申请公开的一个实施例中,所述立板上沿中部与所述竖杆下端可拆卸连接。
13、在本申请公开的一个实施例中,所述承载座采用耐高温的非金属材质一体成型制作而成。
14、在本申请公开的一个实施例中,所述横杆为气动或电动伸缩杆;
15、多个第二杆件的横杆同步动作。
16、在本申请公开的一个实施例中,所述第二杆件与所述承载座一一对应地至少设有3个。
17、在本申请公开的一个实施例中,所述第二杆件与所述承载座一一对应地设有4个。
18、在本申请公开的一个实施例中,所述第一杆件为气动或电动伸缩杆,用于调节整个装置的高度。
19、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
20、1、根据不同的热场尺寸,通过调节竖杆与第一杆件之间的水平距离,可以适用于不同规格的加热器,并利用代替人手的承载座托起加热器将其快速取出,避免了操作人员烫伤的风险,提高了取出加热器的效率。
21、2、横板与加热器下沿接触时立板还能与加热器内侧面接触,从而平稳地托起加热器,保证加热器在取出过程中的安全,同时该结构能够很好地保护加热器,降低了加热器损坏几率。
22、3、弧形结构的横板能够延长与加热器下沿的接触长度,弧形结构的立板能够增大与加热器内侧面的接触面积,进一步降低了加热器损坏几率、提高本装置的平稳性能,横板与立板均为弧形板。
23、4、耐高温特性可延长承载座的使用寿命,非金属材质重量轻、成本低且易于加工制作。
24、5、通过第一杆件的伸出或缩回,可以根据操作人员身高高低对本装置的高度进行调整,提高了本装置的便捷性。
1.一种单晶炉加热器取出装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的单晶炉加热器取出装置,其特征在于,所述承载座横截面呈l型结构,其主要由横板与立板构成。
3.根据权利要求2所述的单晶炉加热器取出装置,其特征在于,所述横板与立板均为弧形板。
4.根据权利要求2或3所述的单晶炉加热器取出装置,其特征在于,所述立板对应的圆心角为45~60°。
5.根据权利要求4所述的单晶炉加热器取出装置,其特征在于,所述立板上沿中部与所述竖杆下端可拆卸连接。
6.根据权利要求1或5所述的单晶炉加热器取出装置,其特征在于,所述承载座采用耐高温的非金属材质一体成型制作而成。
7.根据权利要求1所述的单晶炉加热器取出装置,其特征在于:
8.根据权利要求1或7所述的单晶炉加热器取出装置,其特征在于,所述第二杆件与所述承载座一一对应地至少设有3个。
9.根据权利要求8所述的单晶炉加热器取出装置,其特征在于,所述第二杆件与所述承载座一一对应地设有4个。
10.根据权利要求1或9所述的单晶炉加热器取出装置,其特征在于,所述第一杆件为气动或电动伸缩杆,用于调节整个装置的高度。