一种导流筒及具有其的单晶炉的制作方法

本技术涉及单晶硅生产设备，具体涉及一种导流筒及具有其的单晶炉。

背景技术：

1、导流筒是单晶硅直拉炉的核心热场部件，其在热场环境中起着支撑作用。随着单晶炉尺寸的逐渐增大，对导流筒的加工要求越来越高。

2、但是，现有的导流筒的筒体和法兰通常为整体结构，导流筒属于薄壁件产品，在导流筒制作过程中，预制体经过针刺、固化，预制体在沉积过程即高温石墨化、机加后，容易出现法兰疏松及开裂现象，需对法兰进行修补、打销钉，造成了加工成本量的增加。

技术实现思路

1、因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中现有的导流筒的筒体和法兰通常为整体结构，在制作过程中容易出现法兰疏松及开裂现象的缺陷，从而提供一种筒体和法兰能够进行分体拼接，避免在制作过程中出现法兰疏松及开裂现象的导流筒及具有其的单晶炉。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供的导流筒，包括：

3、筒体；

4、所述筒体的轴向一端设置有第一定位止口结构，所述第一定位止口结构开设于所述筒体的外侧周壁；

5、法兰盘，相对所述筒体独立设置，所述法兰盘适于套设于所述筒体的外侧周壁；

6、所述法兰盘沿轴向靠近所述筒体的一端设置有第二定位止口结构，所述第二定位止口结构开设于所述法兰盘的内侧周壁；所述第二定位止口结构与所述第一定位止口结构在径向和轴向上相互止位；

7、所述法兰盘与所述筒体销钉连接和/或螺栓连接。

8、可选的，所述筒体的第一定位止口结构的径向厚度为w，w满足5mm≤w≤q-p，其中，p的取值范围为2mm≤p≤3mm，q为所述筒体的径向厚度。

9、可选的，所述法兰盘沿轴向靠近所述筒体的一端设置有第一目标端面，所述第一定位止口结构包括第一轴向止位面，所述第一轴向止位面适于与所述第一目标端面相抵接，以对所述法兰盘进行轴向止位；

10、所述筒体沿轴向靠近所述法兰盘的一端设置有第二目标端面，所述第二定位止口结构包括第二轴向止位面，所述第二轴向止位面适于与所述第二目标端面相抵接，以对所述筒体进行轴向止位。

11、可选的，所述第一定位止口结构还包括第一径向止位面，所述第一径向止位面位于所述第一轴向止位面与所述第二目标端面之间；

12、所述第二定位止口结构还包括第二径向止位面，所述第二径向止位面位于所述第二轴向止位面与所述第一目标端面之间；

13、所述第一径向止位面适于与所述第二径向止位面相抵接，以使得所述筒体与所述法兰盘径向相互止位。

14、可选的，所述导流筒还包括第一销钉和第二销钉，所述第一销钉和所述第二销钉适于将所述法兰盘与所述筒体相连接；

15、所述第一销钉的中心轴线与所述法兰盘和/或所述筒体的中心轴线成锐角设置；

16、所述第二销钉的中心轴线与所述法兰盘和/或所述筒体的中心轴线垂直设置。

17、可选的，所述筒体包括筒身段和筒底段，所述筒身段和所述筒底段一体成型；所述筒身段沿轴向远离所述筒底段的一端适于与所述法兰盘相连接。

18、可选的，所述筒体包括筒身件和筒底件，所述筒身件与所述筒底件相互独立设置；所述筒身件的轴向一端适于与所述筒底件相连接，另一端适于与所述法兰盘相连接。

19、可选的，所述筒身件包括若干弧片，若干所述弧片适于沿周向围合形成所述筒身件，任一所述弧片均与所述筒底件相互独立设置，每片所述弧片的轴向一端适于与所述法兰盘相连接，另一端适于与所述筒底件相连接。

20、可选的，所述筒身件包括若干插片，若干所述插片适于沿周向围合形成所述筒身件，任一所述插片均与所述筒底件相互独立设置，每片所述插片的轴向一端适于与所述法兰盘相连接，另一端适于与所述筒底件相连接。

21、本实用新型还提供一种单晶炉，包括：单晶炉本体，以及如上述所述的导流筒。

22、本实用新型技术方案，具有如下优点：

23、1.本实用新型提供的导流筒，所述法兰盘与所述筒体分开独立加工，其中，所述筒体的轴向一端开设形成第一定位止口结构，所述第一定位止口结构开设于所述筒体的外侧周壁；所述法兰盘沿轴向靠近所述筒体的一端开设形成第二定位止口结构，所述第二定位止口结构开设于所述法兰盘的内侧周壁；在组装时，通过所述第二定位止口结构与所述第一定位止口结构在径向和轴向上相互止位，从而完成所述法兰盘与所述筒体之间的定位，然后再通过销钉将所述法兰盘与所述筒体进行连接，不仅能够缩短针刺加工时间，避免预制体在高温石墨化、机加后出现法兰疏松及开裂现象，而且在使用过程中，可以分别对所述法兰盘和所述筒体进行独立检修更换，从而降低材料损耗。

24、2.本实用新型提供的导流筒，所述筒的第一定位止口结构的径向厚度w通过满足5mm≤w≤q-p，其中，p的取值范围为2mm≤p≤3mm，q为所述筒体的径向厚度，从而既能够降低所述筒体的撕裂风险，更好地适用碳碳脆性材料的结构功能，又能够保证所述第一定位止口结构对所述第二定位止口结构进行轴向止位，避免所述法兰盘在所述筒体上滑脱，有利于减小配合过程中的对位偏差。

25、3.本实用新型提供的导流筒，所述筒体包括相互独立设置的筒身件和筒底件；所述筒身件包括若干相互独立设置的弧片，若干所述弧片沿周向围合形成所述筒身件，当任一所述弧片出现损坏时，可将该弧单独进行维护更换，其余部件可循环利用，从而进一步降低耗材和成本。

26、4.本实用新型提供的导流筒，所述筒体包括相互独立设置的筒身件和筒底件；所述筒身件包括若干插片，若干所述插片沿周向围合形成所述筒身件；每片所述插片的宽度均小于所述弧片的宽度；当任一所述插片出现损坏时，可将该插片单独进行维护更换，其余部件可循环利用，从而进一步降低耗材和成本。

技术特征：

1.一种导流筒，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的导流筒，其特征在于，所述筒体(10)的第一定位止口结构(11)的径向厚度为w，w满足5mm≤w≤q-p，其中，p的取值范围为2mm≤p≤3mm，q为所述筒体(10)的径向厚度。

3.根据权利要求1所述的导流筒，其特征在于，所述法兰盘(20)沿轴向靠近所述筒体(10)的一端设置有第一目标端面(22)，所述第一定位止口结构(11)包括第一轴向止位面(111)，所述第一轴向止位面(111)适于与所述第一目标端面(22)相抵接，以对所述法兰盘(20)进行轴向止位；

4.根据权利要求3所述的导流筒，其特征在于，所述第一定位止口结构(11)还包括第一径向止位面(112)，所述第一径向止位面(112)位于所述第一轴向止位面(111)与所述第二目标端面(12)之间；

5.根据权利要求1所述的导流筒，其特征在于，所述导流筒还包括第一销钉(31)和第二销钉(32)，所述第一销钉(31)和所述第二销钉(32)适于将所述法兰盘(20)与所述筒体(10)相连接；

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的导流筒，其特征在于，所述筒体(10)包括筒身段(101)和筒底段(102)，所述筒身段(101)和所述筒底段(102)一体成型；所述筒身段(101)沿轴向远离所述筒底段(102)的一端适于与所述法兰盘(20)相连接。

7.根据权利要求1-5中任意一项所述的导流筒，其特征在于，所述筒体(10)包括筒身件(103)和筒底件(104)，所述筒身件(103)与所述筒底件(104)相互独立设置；所述筒身件(103)的轴向一端适于与所述筒底件(104)相连接，另一端适于与所述法兰盘(20)相连接。

8.根据权利要求7所述的导流筒，其特征在于，所述筒身件(103)包括若干弧片(1031)，若干所述弧片(1031)适于沿周向围合形成所述筒身件(103)，任一所述弧片(1031)均与所述筒底件(104)相互独立设置，每片所述弧片(1031)的轴向一端适于与所述法兰盘(20)相连接，另一端适于与所述筒底件(104)相连接。

9.根据权利要求7所述的导流筒，其特征在于，所述筒身件(103)包括若干插片(1032)，若干所述插片(1032)适于沿周向围合形成所述筒身件(103)，任一所述插片(1032)均与所述筒底件(104)相互独立设置，每片所述插片(1032)的轴向一端适于与所述法兰盘(20)相连接，另一端适于与所述筒底件(104)相连接。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括：单晶炉本体，以及如上述权利要求1-9中任意一项所述的导流筒。

技术总结
本技术涉及单晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种导流筒及具有其的单晶炉。所述导流筒包括：法兰盘，相对所述筒体独立设置，所述法兰盘适于套设于所述筒体的外侧周壁；所述法兰盘沿轴向靠近所述筒体的一端设置有第二定位止口结构，所述第二定位止口结构开设于所述法兰盘的内侧周壁；所述第二定位止口结构与所述第一定位止口结构在径向和轴向上相互止位；所述法兰盘与所述筒体销钉连接和/或螺栓连接。本技术提供的导流筒，筒体和法兰能够进行分体拼接，从而避免在制作过程中出现法兰疏松及开裂等现象。

技术研发人员：啜艳明,陈晓玮,段陶,周键
受保护的技术使用者：江油天力新陶碳碳材料科技有限公司
技术研发日：20230714
技术公布日：2024/3/12