一种热场部件的清理装置以及晶棒拉制装置的制作方法

文档序号:41110453发布日期:2025-03-04 16:37阅读:193来源:国知局

本申请属于光伏加工,具体涉及一种热场部件的清理装置以及晶棒拉制装置。


背景技术:

1、rcz(重复拉晶)是目前制备硅棒的一种主要方法,具有较高的晶棒拉制效率。在拉制晶棒的过程中,热屏等热场部件可以用于提供热场环境,其清洁度影响的晶棒的质量。因此,在单晶炉停炉之后,热场部件通常需要拆下来进行表面挥发物的清理,方便下一炉重复使用。

2、现有的技术中,通常采用热屏移动车拆装并运输热屏等热场部件,再通过人工清理的方式对热场部件进行清理,热场部件的拆装清理效率较低。而且,通常一种热屏移动车仅能用于一种热场部件的拆装,通用性较差。


技术实现思路

1、本申请旨在提供一种热场部件的清理装置以及晶棒拉制装置,以解决现有的热屏移动车拆装清理效率低且通用性较差的问题。

2、为了解决上述技术问题,本申请是这样实现的:

3、第一方面,本申请公开了一种热场部件的清理装置,所述清理装置包括:

4、移动机构;

5、升降机构,所述升降机构连接于所述移动机构上;

6、支撑板,所述支撑板设置于所述升降机构上;

7、旋转支座,所述旋转支座转动连接在所述支撑板上,所述旋转支座用于托举热场部件;

8、以及多个防护爪,所述防护爪连接于所述支撑板,多个所述防护爪沿所述旋转支座的周向间隔设置且与所述旋转支座之间具有间距,所述防护爪用于防止所述旋转支座上的所述热场部件倾倒。

9、可选地,所述清理装置还包括回转轴承,所述回转轴承连接在所述旋转支座与所述支撑板之间,所述旋转支座通过所述回转轴承转动连接于所述支撑板。

10、可选地,所述回转轴承包括间隔设置的外圈、内圈以及设置于外圈和所述内圈之间的滚动部,所述外圈与所述内圈可通过所述滚动部相对转动;其中,

11、所述旋转支座连接于所述外圈和所述内圈中的其中之一,所述外圈和所述内圈中的其中另一连接于所述支撑板。

12、可选地,所述防护爪包括安装板、斜板以及直板;其中,

13、所述安装板连接于所述支撑板且与所述旋转支座之间具有间距;

14、所述斜板的一端连接于所述安装板远离所述旋转支座的一端,所述斜板的另一端朝向远离所述旋转支座的一侧倾斜向上延伸;

15、所述直板的一端连接于的所述斜板的另一端,所述直板的另一端朝向竖直向上的方向延伸。

16、可选地,

17、所述清理装置还包括清理件,所述清理件滑动连接于所述支撑板,所述清理件用于清理所述旋转支座上的所述热场部件。

18、可选地,所述清理装置还包括清理机构,清理机构包括清理件,清理件通过清理机构滑动连接于所述支撑板。

19、可选地,所述清理机构包括支架、滑轨、第一锁定件、支撑架以及清理件;其中,

20、所述滑轨连接于所述支撑板且沿所述旋转支座的径向延伸,所述支撑架滑动连接于所述滑轨,所述第一锁定件分别与所述支架和所述滑轨连接,在所述支架滑动至第一目标位置的情况下,所述第一锁定件用于将所述支架锁定在所述第一目标位置;

21、所述支撑架连接于所述支架,所述清理件可拆卸地连接于所述支撑架。

22、可选地,所述清理装置还包括清理机构,所述清理机构包括支架、支撑架以及清理件;其中,

23、所述支架固定或者滑动连接于所述支撑板,所述支撑架滑动连接于所述支架。

24、可选地,所述支撑架包括第二滑块、连接杆、第二锁定件以及固定板;其中,

25、所述支架上设置有滑杆;

26、所述第二滑块滑动连接于所述滑杆,所述连接杆连接在所述第二滑块与所述固定板之间,所述清理件可拆卸的连接于所述固定板;

27、所述第二锁定件分别与所述第二滑块和所述滑杆连接,在所述第二滑块移动至第二目标位置的情况下,所述第二锁定件用于将所述第二滑块锁定在所述第二目标位置。

28、可选地,所述清理机构还包括:弹性件,所述弹性件连接在所述连接杆上且分别与所述支架和所述固定板抵接。

29、可选地,所述清理件为柔性清理件,所述柔性清理件贴合于所述固定板;

30、所述固定板的形状与所述热场部件的形状适配。

31、可选地,所述清理装置还包括旋转把手,所述旋转把手连接于所述旋转支座,所述旋转把手用于带动所述旋转支座转动。所述旋转把手的数量为一个或多个,当设置多个旋转把手时,多个所述旋转把手沿所述旋转支座的周向间隔分布。

32、可选地,所述清理装置还包括:油缸组件,所述油缸组件包括油缸本体、油泵以及泄压阀,所述油泵、所述泄压阀皆通过管道连接于所述油缸本体,所述油缸本体连接于所述升降机构;

33、和/或,所述移动机构包括底座以及连接于所述底座底部的脚轮。

34、第二方面,本申请还公开了一种晶棒拉制装置,所述晶棒拉制装置包括:单晶炉以及上述任一项所述的清理装置;其中,

35、所述单晶炉内设置有热场部件,所述清理装置可相对所述单晶炉移动,所述清理装置用于清理所述热场部件。

36、本申请实施例中,所述升降机构可以用于驱动所述支撑板上的旋转支座升降,以使得所述旋转支座能够托举热场部件。由于所述旋转支座转动连接于所述支撑板,通过所述旋转支座带动所述热场部件转动,能够快速的完成对于所述热场部件的拆装,从而提升对于所述热场部件的清理效率。而且,由于所述防护爪连接于所述支撑板且与所述旋转支座之间具有间距,可以便于所述旋转支座托举不同尺寸的所述热场部件。相应的,所述防护爪可以用于防止不同尺寸的所述热场部件的倾倒,以使得不同尺寸的所述热场部件可以共用一个所述清理装置,提高所述清理装置的通用性。此外,在将所述热场部件拆下来之后,可以使用清理机构对所述热场部件的外部进行清理,以避免人工清理所述热场部件的操作,实现自动化清理,提高对于所述热场部件的清理效率。

37、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。



技术特征:

1.一种热场部件的清理装置,其特征在于,所述清理装置包括:

2.根据权利要求1所述的清理装置,其特征在于,所述清理装置还包括回转轴承(17),所述回转轴承(17)连接在所述旋转支座(6)与所述支撑板(5)之间,所述旋转支座(6)通过所述回转轴承(17)转动连接于所述支撑板(5)。

3.根据权利要求2所述的清理装置,其特征在于,所述回转轴承(17)包括间隔设置的外圈、内圈以及设置于外圈和所述内圈之间的滚动部,所述外圈与所述内圈可通过所述滚动部相对转动;其中,

4.根据权利要求1所述的清理装置,其特征在于,所述防护爪(7)包括安装板(71)、斜板(72)以及直板(73);其中,

5.根据权利要求1所述的清理装置,其特征在于,所述清理装置还包括清理件(13),所述清理件(13)滑动连接于所述支撑板(5),所述清理件(13)用于清理所述旋转支座(6)上的所述热场部件(15)。

6.根据权利要求5所述的清理装置,其特征在于,所述清理装置还包括清理机构(11),清理机构(11)包括清理件(13),清理件(13)通过清理机构(11)滑动连接于所述支撑板(5)。

7.根据权利要求6所述的清理装置,其特征在于,所述清理机构(11)包括支架(110)、滑轨(21)、第一锁定件(22)、支撑架以及清理件(13);其中,

8.根据权利要求5-7任一项所述的清理装置,其特征在于,所述清理装置还包括清理机构(11),所述清理机构(11)包括支架(110)、支撑架以及清理件(13);其中,所述支架(110)连接于所述支撑板,所述支撑架滑动连接于所述支架(110),所述支撑架包括第二滑块(10)、连接杆(101)、第二锁定件(14)以及固定板(102);其中,

9.根据权利要求8所述的清理装置,其特征在于,所述清理机构(11)还包括:弹性件(12),所述弹性件(12)连接在所述连接杆(101)上且分别与所述支架(110)和所述固定板(102)抵接。

10.根据权利要求9所述的清理装置,其特征在于,所述清理件(13)为柔性清理件,所述柔性清理件贴合于所述固定板(102);

11.根据权利要求1所述的清理装置,其特征在于,所述清理装置还包括一个或多个旋转把手(23),所述旋转把手(23)连接于所述旋转支座(6),当设置多个旋转把手(23)时,多个所述旋转把手(23)沿所述旋转支座(6)的周向间隔分布所述旋转把手(23)用于带动所述旋转支座(6)转动。

12.根据权利要求1所述的清理装置,其特征在于,所述清理装置还包括:油缸组件,所述油缸组件包括油缸本体(80)、油泵(8)以及泄压阀(9),所述油泵(8)、所述泄压阀(9)皆通过管道连接于所述油缸本体(80),所述油缸本体(80)连接于所述升降机构(4);

13.一种晶棒拉制装置,其特征在于,所述晶棒拉制装置包括:单晶炉以及权利要求1至12任一项所述的清理装置;其中,


技术总结
本申请实施例提供了一种热场部件的清理装置以及晶棒拉制装置。所述清理装置包括:移动机构;升降机构,所述升降机构连接于所述移动机构上;支撑板,所述支撑板设置于所述升降机构上;旋转支座,所述旋转支座转动连接在所述支撑板上,所述旋转支座用于托举热场部件;以及多个防护爪,所述防护爪连接于所述支撑板,多个所述防护爪沿所述旋转支座的周向间隔设置且与所述旋转支座之间具有间距,所述防护爪用于防止所述旋转支座上的所述热场部件倾倒。本申请的清理装置可以快速的完成对于热场部件的拆装,提升对于所述热场部件的清理效率,而且,通用性较好。

技术研发人员:杜康,张建华,贾祯,马学贵,景霞,杨兰兰,王楠
受保护的技术使用者:银川隆基光伏科技有限公司
技术研发日:20240205
技术公布日:2025/3/3
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