感光性树脂组合物及干膜抗蚀剂的制作方法
【专利摘要】提供了能够容易地形成可利用碱性水溶液进行显影、高敏感度，绝缘性、耐热性等诸特性以及介电性能优异的固化膜的感光性树脂组合物及干膜。该感光性树脂组合物含有(A)成分、(B)成分及(C)成分，(A)成分：对二乙烯基化合物(a)20～99摩尔%及单乙烯基化合物(b)80～1摩尔%进行共聚所获得的共聚物，侧链具有来自于二乙烯基化合物(a)的乙烯基的溶剂可溶性多官能乙烯基共聚物，(B)成分：含有使多元醇化合物与多元羧酸类反应所获得的含羧基共聚物(b)的碱可溶性树脂成分，及(C)成分：光引发剂，相对于(A)成分、(B)成分及(C)成分的总量，(A)成分为1～98.9wt%、(B)成分为98.9～1wt%、(C)成分为0.1～10wt%。
【专利说明】感光性树脂组合物及干膜抗蚀剂
【技术领域】
[0001]本发明涉及高敏感度、高绝缘、介电性能、耐热性等优异的感光性树脂组合物及使用了该感光性树脂组合物的干膜抗蚀剂。
【背景技术】
[0002]近年来，电子机器领域的安装方法朝向小型化、高密度化的倾向显著，与此同时，在材料方面也要求更为优异的特性。例如，在印刷电路板中使用的绝缘树脂材料中，也要求耐热、微细加工性、电特性等。作为绝缘树脂材料的微细加工的有效手段，已知通过曝光、显影进行图案化的方法，在其中可以使用感光性树脂组合物，但越来越要求高敏感度、对于基板的密合性、电特性、耐镀覆性、耐热性、尺寸稳定性等诸多特性。特别是，就电特性而言，具有高频率区域内的介电性能差的缺点，作为搭载高频率电路的多层印刷电路板的材料变得无法应对。
[0003]另一方面，在这些领域中使用的感光性树脂组合物通常以具有不饱和双键的聚合性低聚物、聚合性单体及光聚合引发剂作为必须成分。作为感光性成分主要使用的上述聚合性低聚物有聚酯丙烯酸酯、丙烯酸氨基甲酸酯及环氧丙烯酸酯等，这些聚合性低聚物由于具有聚合性的不饱和基团，因此利用由光聚合引发剂产生的自由基，与其他聚合性单体一起进行反应、交联，从而变成固化物。
[0004]这些聚合性化合物一般来说由于分子量小、通过光照射瞬间地发生固化，因此具有在涂膜中产生残留应力，相对于基材的密合性、机械特性降低的问题。为了解决该问题，还研究了聚合性化合物的高分子量化，但为了调整成能够进行涂布的粘度，需要大量的溶剂或反应性稀释剂，因而这种感光性树脂组合物缺乏机械强度、耐药品性等。进而，通过高分子量化，还具有相对于碱显影液的溶解性降低、无法进行显影等问题。另外，在涂布干燥了这些感光性树脂组合物的干膜中，在贴附于基材之前的状态下，没有断裂、褶缝等，在贴附时要求相对于基材的随动性、平坦性。
[0005]专利文献I中，尝试了通过使用碱显影性的感光性多官能的乙烯基化合物，来改善介电性能。另外，专利文献2、3中公开了溶剂可溶性的多官能乙烯基共聚物，但没有碱显影性。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献1:日本特开2004-27145号公报
[0008]专利文献2:日本特开2004-123873号公报
[0009]专利文献3:日本特开2005-213443号公报
【发明内容】
[0010]本发明的目的在于提供能够容易地形成可用碱性水溶液进行显影、高敏感度，且绝缘性、耐热性等诸特性以及以往难以与这些特性同时实现的介电性能优异的图案状薄膜的感光性树脂组合物及干膜抗蚀剂。[0011]本发明涉及一种能够碱显影的感光性树脂组合物，其为含有(A)成分、(B)成分及(C)成分的感光性树脂组合物，其中
[0012]⑷成分:对二乙烯基化合物(a) 20~99摩尔％及单乙烯基化合物(b) 80~I摩尔％进行共聚所获得的共聚物，来自于二乙烯基化合物(a)的由下述式(al)所示的含有未反应的乙烯基的结构单元的含量为10~90摩尔％的溶剂可溶性多官能乙烯基共聚物；
[0013](B)成分:含有使多元醇化合物与多元羧酸类反应所获得的含羧基共聚物(b)、酸值为50~200mgK0H/g的碱可溶性树脂成分；及
[0014](C)成分:光引发剂，
[0015]其特征在于，相对于(A)成分、(B)成分及(C)成分的总量，(A)成分的配合量为I~98.9wt%、(B)成分的配合量为98.9~lwt%、(C)成分的配合量为0.1~10wt%。
[0016]
【权利要求】
1.一种能够碱显影的感光性树脂组合物，其为含有㈧成分、⑶成分及(C)成分的感光性树脂组合物，其中 (A)成分:对二乙烯基化合物(a)20~99摩尔％及单乙烯基化合物(b) 80~I摩尔％进行共聚所获得的共聚物，来自于二乙烯基化合物(a)的由下述式(al)所示的含有未反应的乙烯基的结构单元的含量为10~90摩尔％的溶剂可溶性多官能乙烯基共聚物，
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，溶剂可溶性多官能乙烯基共聚物在末端具有酚性羟基，其导入量为2.2个/分子以上。
3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，溶剂可溶性多官能乙烯基共聚物在末端具有由下述式(a2)所示的含有不饱和键的端基，
4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，含羧基共聚物(b)是使具有I个以上乙烯基的多元醇化合物与多元羧酸类反应所获得的含羧基共聚物，重均分子量为 3，000 ~40，000、酸值为 50 ~200mgK0H/g。
5.一种干膜抗蚀剂，其为在能够剥离的支撑基材上设有感光性树脂层的干膜抗蚀剂，其特征在于，感光性树脂层包含权利要求1~4任一项所述的感光性树脂组合物。
【文档编号】C08F291/06GK103842908SQ201280046740
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2012年9月20日 优先权日:2011年9月26日
【发明者】片山久史, 稻叶真司, 川边正直 申请人:新日铁住金化学株式会社