图案形成用自组织化组合物及图案形成方法与流程

文档序号:16512587发布日期:2019-01-05 09:25阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明以提供图案尺寸的可应用范围宽广、且可容易形成良好的相分离构造的图案形成用自组织化组合物为课题。本发明关于一种图案形成用自组织化组合物,含有嵌段共聚物,该嵌段共聚物含有:具有选自下述通式(103)所示构造及下述通式(104)所示构造的至少一者的聚合部a;与具有下述通式(105)所示构造的聚合部b;嵌段共聚物中的糖部的含有率相对于嵌段共聚物的总质量,为3质量%以上且80质量%以下。

技术研发人员:森田和代;服部贵美子
受保护的技术使用者:王子控股株式会社
技术研发日:2017.02.27
技术公布日:2019.01.04
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