本发明涉及氟代乙烷的制造方法和氟代烯烃的制造方法。
背景技术：
以1,1,2－三氟乙烷(以下，记为“hfc－143”)为代表的氟代乙烷作为用于制造各种制冷剂的原料而被已知。作为hfc－143等的氟代乙烷的制造方法提出了各种方法。
例如，在专利文献1中，提出了在氢化催化剂的存在下通过氯三氟乙烯等的氢化反应制造hfc－143的技术。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平1－287044号公报
技术实现要素：
发明所要解决的课题
但是，例如在以专利文献1中公开的方法制造hfc－143等的氟代乙烷的情况下，存在目标生成物的选择性变差的问题。
本发明是鉴于上述状况作出的，目的在于提供一种作为目标生成物的氟代乙烷的选择率高的氟代乙烷的制造方法和氟代烯烃的制造方法。
用于解决课题的技术方案
本发明例如包含以下的项所述的发明。
项1
一种氟代乙烷的制造方法，其为下述通式(1)所示的氟代乙烷的制造方法，该制造方法的特征在于：
包括通过在催化剂的存在下的反应、从下述通式(3)所示的氟代乙烯得到含有上述氟代乙烷的生成物的工序，上述催化剂通过将贵金属载持于载体而形成，
在进行上述反应的反应器内，填充贵金属相对于上述催化剂全体的浓度为c1质量％的催化剂和贵金属相对于上述催化剂全体的浓度为c2质量％的催化剂，分别形成上游部和下游部，并且，c1＜c2，
上述反应通过将上述式(3)所示的氟代乙烯和氢气依照上述上游部和上述下游部的次序与上述上游部和上述下游部接触来进行，
cx1x2fcx3x4x5(1)
(式(1)中，x1、x2、x3、x4和x5相同或不同，表示氢原子、氟原子或氯原子，x1、x2、x3、x4和x5之中的至少一个表示氢原子)
cx9f＝cx10x11(3)
(式(3)中，x9、x10和x11相同或不同，表示氢原子、氟原子或氯原子)。
项2
如项1所述的氟代乙烷的制造方法，其中：
上述贵金属为钯。
项3
如项1或2所述的氟代乙烷的制造方法，其中：
上述式(3)所示的氟代乙烯包含氯三氟乙烯。
项4
如项1～3中任一项所述的氟代乙烷的制造方法，其中：
上述氟代乙烷包含1,1,2－三氟乙烷。
项5
如项4所述的制造方法，其中：
上述生成物包含以该生成物的总量为基准时为60摩尔％以上的1,1,2－三氟乙烷。
项6
如项1～5中任一项所述的制造方法，其中：
上述生成物包含以该生成物的总量为基准时为40摩尔％以下的三氟乙烯。
项7
一种氟代烯烃的制造方法，其包括通过以项1～6中任一项所述的制造方法得到的氟代乙烷的脱氟化氢反应得到氟代烯烃的工序。
发明效果
根据本发明的制造方法，能够以高的选择率得到作为目标生成物的氟代乙烷。
具体实施方式
本发明的发明人查明了，在氟代乙烷的制造方法中，例如在根据专利文献1中公开的方法制造hfc－143(1,1,2－三氟乙烷)等的氟代乙烷时，在多数情况下，作为目标生成物的氟代乙烷的选择率较差。而且确认了，在专利文献1所公开的方法中，在反应中显著地发生反应器的堵塞和腐蚀。特别是，在增大反应器的容量的情况下(即，在扩大为大量生产用规模的情况下)，更显著地出现选择率的降低以及反应中的反应器的堵塞和腐蚀。
为此，本发明的发明人为了提供作为目标生成物的氟代乙烷的选择率高、不易发生反应器的堵塞和腐蚀的制造方法这样的目的而反复进行了研究。其结果发现，在将贵金属载持于载体而成的催化剂中，通过使贵金属的载持量具有梯度，能够实现上述目的。
以下，对本发明所包含的实施方式进行详细说明。此外，在本说明书中，关于“含有”和“包含”这样的表达，包括“含有”、“包含”、“实质由……构成”和“仅由……构成”这样的概念。
1.氟代乙烷的制造方法
在本发明的制造方法中，制造下述通式(1)所示的氟代乙烷。
cx1x2fcx3x4x5(1)
(式(1)中，x1、x2、x3、x4和x5相同或不同，表示氢原子、氟原子或氯原子，x1、x2、x3、x4和x5之中的至少一个表示氢原子)
在本发明的制造方法中，包括通过在催化剂的存在下的反应、从下述通式(3)所示的氟代乙烯得到含有上述氟代乙烷的生成物的工序。
cx9f＝cx10x11(3)
(式(3)中，x9、x10和x11相同或不同，表示氢原子、氟原子或氯原子)
以下，在本说明书中，将本发明的氟代乙烷的制造方法记为“本发明的制造方法1”。
特别是在本发明的制造方法1中，上述催化剂通过将贵金属载持于载体而形成。另外，在进行上述氢化反应的反应器内，填充贵金属相对于上述催化剂全体的浓度为c1质量％的催化剂和贵金属相对于上述催化剂全体的浓度为c2质量％的催化剂，分别形成上游部和下游部，并且，c1＜c2。上述氢化反应通过使上述式(3)所示的氟代乙烯和氢气依照上述上游部和上述下游部的次序与上述上游部和上述下游部接触来进行。
在本发明的制造方法1中，目标生成物是式(1)所示的氟代乙烷(以下，简称为“氟代乙烷”)。另外，在本发明的制造方法1中，除了生成上述氟代乙烷以外，还生成副产物。因此，生成物有时为目标生成物与上述副产物的混合气体。
在本发明的制造方法1中，作为副产物，例如，为下述通式(2)所示的氟代乙烯。
cx6f＝cx7x8(2)
式(2)中，x6、x7和x8相同或不同，表示氢原子、氟原子或氯原子，x6、x7和x8之中的至少一个表示氢原子)。
在本发明的制造方法1中，能够以高的选择率得到作为目标生成物的氟代乙烷。而且，在本发明的制造方法1中，能够不易发生氢化反应中的反应器的堵塞和腐蚀。
(生成物)
在本发明的制造方法1中，生成物所含的上述氟代乙烷是本发明的制造方法1的主生成物且为目标物。这里所说的主生成物是指在生成物中含有50摩尔％以上的成分。
上述氟代乙烷只要是上述式(1)所示的化合物即可，没有特别限定。在式(1)中，x1、x2、x3、x4和x5之中的至少一个表示氢原子，例如，能够使x5为氢原子。优选x1、x2、x3、x4和x5之中的至少一个为氟原子。
作为上述氟代乙烷的进一步具体例，可以例示选自1－氯－1－氟乙烷(hcfc－151)、氟代乙烷(hfc－161)、1,2－二氯－1,2－二氟乙烷(hcfc－132)、2－氯－1,1－二氟乙烷(hcfc－142)、1－氯－1,2－二氟乙烷(hcfc－142a)、1,2－二氟乙烷(hfc－152)、1,1－二氟乙烷(hfc－152a)、2－氯－1,1,2－三氟乙烷(hcfc－133)、1－氯－1,1,2－三氟乙烷(hcfc－133b)、1,1,1－三氟乙烷(hfc－143a)、1,1,2－三氟乙烷(hfc－143)、1,1,2,2－四氟乙烷(hfc－134)和1,1,1,2－四氟乙烷(hfc－134a)中的至少1种。
在本发明的制造方法1中，生成1种或2种以上的上述氟代乙烷。即，在制造方法1中，生成物包含1种或2种以上的上述氟代乙烷。更优选作为本发明的制造方法1的主生成物的上述氟代乙烷至少包含1,1,2－三氟乙烷(hfc－143)，特别优选1,1,2－三氟乙烷(hfc－143)为主生成物。在1,1,2－三氟乙烷(hfc－143)为主生成物的情况下，例如，有时也同时生成hcfc－133和hcfc－133b等。
另外，本发明的制造方法1中生成的副产物之中，作为上述式(2)所示的氟代乙烯，优选包含选自三氟乙烯(hfo－1123)、1,2－二氟乙烯(hfo－1132)、1,1－二氟乙烯(hfo－1132a)、氟代乙烯(hfo－1141)、1－氯－2－氟代乙烯、1,2－二氯氟乙烯(hcfo－1121)中的至少1种。这些之中，特别优选上述式(2)所示的氟代乙烯包含三氟乙烯(hfo－1123)。本发明的制造方法1中所生成的副产物为1种或2种以上。
在制造方法1中，上述生成物优选以上述生成物的总量为基准时包含60摩尔％以上的1,1,2－三氟乙烷，更优选包含70摩尔％以上，特别优选包含80摩尔％以上。
在制造方法1中，上述生成物优选以上述生成物的总量为基准时包含40摩尔％以下的三氟乙烯，更优选包含30摩尔％以下，特别优选包含20摩尔％以下。
在制造方法1中，上述生成物可以进行精制来提高目标化合物的纯度，也可以不进行精制而将所得到的生成物作为目标化合物来使用。另外，在生成物中包含未反应的原料的情况下，能够将原料通过适当的方法进行分离，再一次作为反应用的原料使用。即，在制造方法1中，能够将粗生成物使用于原料的再利用中。
(原料)
在本发明的制造方法1中，式(3)所示的氟代乙烯是用于得到目标的生成物的原料，是本发明的制造方法1中所进行的反应的原料。式(3)所示的氟代乙烯能够根据作为目标的上述氟代乙烷的结构式进行适当选择。
例如，作为上述式(3)所示的氟代乙烯，优选为选自氟代乙烯(hfo－1141)、1,2－二氯－1,2－二氟乙烯(cfo－1112)、1,1－二氟乙烯(hfo－1132a)、1,2－二氟乙烯(hfo－1132)、氯三氟乙烯(ctfe、cfo－1113)、三氟乙烯(hfo－1123)、2－氯－1,1－二氟乙烯(hcfo－1122)、1－氯－1,2－二氟乙烯(hcfo－1122a)、四氟乙烯(fo－1114)中的至少1种。这些之中，上述氟代乙烯更优选包含选自氯三氟乙烯(ctfe、cfo－1113)和四氟乙烯(fo－1114)中的至少1种，特别优选包含氯三氟乙烯(ctfe、cfo－1113)。
式(3)所示的氟代乙烯能够单独使用1种，或者能够并用2种以上。在单独使用1种式(3)所示的氟代乙烯的情况下，在该氟代乙烯中，例如，可以包含不可避免地存在的杂质或者其它成分。
(催化剂)
在本发明的制造方法1中，在催化剂的存在下，将式(3)所示的氟代乙烯交付给反应中。在后面进行阐述，该反应例如为氢化反应和与其相伴随的脱氯化氢反应、以及氯化氢加成反应。
在本发明的制造方法1中，只要是使用将贵金属载持在载体上而形成的催化剂即可，其种类没有特别限定，例如，能够广泛使用氢化反应中所使用的公知的催化剂。
在本发明的制造方法1中所使用的催化剂中，作为上述贵金属，例如，能够列举钯(pd)、铂(pt)、钌(ru)、铑(rh)、镍(ni)、钴(co)等。上述贵金属优选为选自钯、铂和镍中的1种以上，特别优选含有钯。
在本发明的制造方法1中所使用的催化剂中，作为上述载体，例如，能够列举活性炭、以沸石为代表的多孔性铝硅酸盐、氧化铝、氧化硅、氧化钛、氧化锆、氧化锌、氟化铝等。载体能够仅以1种材料形成，或者也能够以2种以上的材料形成。
在本发明的制造方法1中，特别是在进行上述反应的反应器内，填充贵金属相对于上述催化剂总质量的浓度为c1质量％的催化剂和贵金属相对于上述催化剂总质量的浓度为c2质量％的催化剂，将前者形成为上游部，将后者形成为下游部。这里，c1＜c2。
这样，分别形成上游部的催化剂和下游部的催化剂，使式(3)所示的氟代乙烯和氢气依照上述上游部和上述下游部的次序与上述上游部和上述下游部接触，由此进行反应。因此，本发明中所说的上游部和下游部分别是指投入作为原料的式(3)所示的氟代乙烯的入口侧和出口侧。
在本发明的制造方法1中，在反应器内设置上述上游部和下游部的位置没有特别限定。例如，能够使上游部和下游部邻接地设置，或者能够将上游部和下游部隔开间隔地设置。在上游部和下游部之间还能够进一步填充催化剂形成中游部。中游部能够仅以一层形成，或者也能够以两层以上形成。在形成中游部的催化剂中，在将该催化剂的贵金属浓度以cm质量％表示时，能够设为c1＜cm＜c2。
上述上游部和下游部的厚度也没有特别限定，能够根据反应器的大小、气体的流量等适当选择。上游部和下游部的厚度是指相对于原料流动方向的长度。
在上述上游部中，贵金属相对于催化剂总质量的载持量、即c1(质量％)例如能够调整为0.01～10质量％，优选调整为0.1～3质量％。
在上述下游部中，贵金属相对于催化剂总质量的载持量、即c2(质量％)例如能够调整为1～15质量％，优选调整为1～5质量％。
对于催化剂的制备方法没有特别限定，能够广泛使用公知的制备方法。例如，将贵金属载持于载体上而成的催化剂，能够利用将载体浸渍于含有贵金属的溶液中从而使该溶液含浸于载体中、此后根据需要进行中和以及烧制等的方法来得到。此时，通过调节溶液的浓度、含浸的时间等，能够控制贵金属在载体中的载持量。
在本发明的制造方法1中，催化剂的使用量没有特别限定，例如，能够与公知的氢化反应同样。例如，能够根据反应器的大小、使用的原料的量和生成的氟代乙烷的使用量等适当设定。
(反应)
在本发明的制造方法1中，反应例如为氢化反应。另外，在本发明的制造方法1中，就反应而方，有时除了上述氢化反应以外还包含脱氯化氢反应和氯化氢加成反应的一个或双方。
在本发明的制造方法1中，反应通过在反应器内在催化剂的存在下使式(3)所示的氟代乙烯与氢气反应来进行。通常，该反应以气相进行。另外，在本发明的制造方法1中，反应能够采用连续式和分批式的任一种方式。
具体而言，在本发明的制造方法1中，在填充有催化剂的反应器内流入式(3)所示的氟代乙烯和氢气，与催化剂接触，由此进行氢化反应，而且与该氢化反应相伴随的脱氯化氢反应和氯化氢加成反应也可以进行。此时，氟代乙烯和氢气一边依照上述上游部的催化剂和上述下游部的催化剂的次序与上述上游部的催化剂和上述下游部的催化剂接触一边通过催化剂，在反应器中流动，此后，在反应器外，含有目标的氟代乙烷的生成物例如作为混合气体被捕集。在该混合气体中，除了含有作为目标生成物的氟代乙烷以外，还可以含有前述的副产物、例如式(2)所示的氟代乙烯。
在本发明的制造方法1中，氢化反应中，在脱氯化氢反应和氯化氢加成反应的任一方或双方的反应作为副反应进行的情况下，除了生成作为目标生成物的氟代乙烷以外，还能生成式(2)所示的氟代乙烯等的副产物。
就反应器而言，能够使用例如管型的流通型反应器等。作为流通型反应器，例如，能够使用绝热反应器和利用热介质进行缓慢冷却的多管型反应器等。反应器优选由不锈钢(sus)等的对腐蚀作用具有抵抗性的材料形成，特别优选以哈氏合金(hastalloy)、因康镍合金(inconel)、蒙乃尔合金(monel)等形成。
反应器也能够具有用于调节反应器内的温度的套管，在套管内，例如，能够流通热介质等。由此，能够调节反应器内的气体(例如，作为原料的氟代乙烯和氢)的温度。
在本发明的制造方法1中，反应可以在减压下、大气压下和加压下的任一种情况下进行。例如，在本发明的制造方法1中，从反应性的观点考虑，反应时的压力优选为2mpag以下，更优选为1mpag以下，特别优选为0.3mpag以下。此外，“mpag”的g是指表压，表示以大气压为基准(即，设大气压为0mpag)的压力计的显示值。另外，反应也能够在不活泼性气体的存在下和空气的存在下的任一种的存在下进行。
在本发明的制造方法1中，上游部中的反应温度(原料与上游部接触时的气氛气温度)能够设为100～500℃，优选为200～400℃。另外，在本发明的制造方法1中，下游部中的反应温度(原料与上游部接触时的气氛气温度)能够根据作为目标的生成物的种类适当调整下游部的温度，例如，能够设为100～400℃，优选设为150～300℃。此外，从防止作为原料的氟代乙烯的聚合、爆炸和催化剂劣化等的观点考虑，上游部优选为400℃以下，能够根据需要冷却、进行温度调节。
在本发明的制造方法1中，反应中使用的氢气的使用量没有特别限定，例如，能够与公知的氢化反应同样。例如，能够调节两者的量，使得相对于作为原料的式(3)所示的氟代乙烯1摩尔，氢气为1～25摩尔。相对于式(3)所示的氟代乙烯1摩尔，优选使氢气为1～15摩尔，更优选为1～10摩尔。
在本发明的制造方法1中，氢化反应的反应时间没有特别限定。例如，能够将用反应器内的催化剂的填充量w(g)与流入反应器的氟代乙烯和氢气的总流量fo的比率：w/fo所表示的接触时间设为1～100g·sec/cc。
本发明的制造方法1中，除了具备得到上述氟代乙烷的工序以外，也能够根据需要具备其它工序。
在本发明的制造方法1中，通过填充于反应器内的催化剂形成上游部和下游部，式(3)所示的氟代乙烯和氢气先通过活性低的催化剂，此后，通过活性高于上游部的下游部的催化剂。由此，更容易抑制在现有方法中作为副反应发生的氟代乙烯的聚合反应，作为结果，显著地抑制反应器内的温度的过度上升和氟代乙烯的聚合物的生成量。另外，最终得到的氟代乙烷中的氢化反应的中间生成物和副产物的混入量被显著地抑制。因此，在本发明的制造方法1中，能够通过下游部的催化剂和反应温度控制生成物的选择率和收率。另外，通过反应条件的调节，能够以高转化率和高选择率得到氟代乙烯和氟代乙烷的混合物。
另外，现在(例如，在专利文献1中所公开的方法之时)，除了有目标生成物的选择性较差的问题，还有引起反应器的堵塞和腐蚀的问题。但是，在本发明的制造方法1中，由于容易抑制氟代乙烯的聚合反应，所以还有不易发生因聚合物的生成所引起的反应器的堵塞和腐蚀的优点。
在本发明的制造方法1中，例如在作为原料使用氯三氟乙烯的情况下，氢化反应的中间生成物为三氟乙烯。在本发明的制造方法1中，例如在作为原料使用氯三氟乙烯的情况下，氢化反应的副产物为选自1－氯－1－氟乙烷(hcfc－151)、氟代乙烷(hfc－161)、氯－1,2－二氟乙烷(hcfc－142)、1,2－二氟乙烷(hfc－152)，1,1－二氟乙烷(hfc－152a)、2－氯－1,1,2－三氟乙烷(hcfc－133)、1－氯－1,1,2－三氟乙烷(hcfc－133b)、1,1,1－三氟乙烷(hfc－143a)、三氟乙烯(hfo－1123)、1,1－二氟乙烯(hfo－1132a)、1,2－二氟乙烯(hfo－1132)、乙烯和氯乙烷等中的1种以上。
由于在本发明的制造方法1中能够以高的选择率制造氟代乙烷，所以作为用于制造作为有期望作为替代r32制冷剂的1,2－二氟乙烯(hfo－1132)的原料使用的hfc－143的制造方法有用。
2.氟代烯烃的制造方法
本发明的氟代烯烃的制造方法具有通过以前述的氟代乙烷的制造方法(制造方法1)所得到的氟代乙烷的脱氟化氢反应得到氟代烯烃的工序。以下，将该工序简记为“脱氟化氢工序”，将本发明的氟代烯烃的制造方法记为“本发明的制造方法2”。
采用本发明的制造方法2，能够得到例如下述通式(4)所示的氟代烯烃。
cx11x21＝cx31x41(4)
(式(4)中，x11、x21、x31和x41相同或不同，表示氢原子、氟原子或氯原子，x11、x21、x31和x41之中的至少一个表示氢原子，x11、x21、x31和x41之中的至少一个表示氟原子)。
在脱氟化氢工序中，脱氟化氢反应的方法没有特别限定，例如，能够以与公知的脱氟化氢反应同样的条件进行。例如，脱氟化氢反应能够在脱氟化氢用催化剂的存在下以气相进行。
在本发明的制造方法2中，作为氟代乙烷，使用1,1,2－三氟乙烷(hfc－143)时的脱氟化氢反应按照以下的反应式进行。
cf2hcfh2→chf＝chf+hf
上述脱氟化氢用催化剂没有特别限定，能够广泛使用公知的催化剂，能够列举例如氧化铬、氟化氧化铬、氧化铝、氟化氧化铝等。
上述脱氟化氢用催化剂优选载持于载体。作为载体，可以列举例如碳、氧化铝(al2o3)、氧化锆(zro2)、二氧化硅(sio2)、氧化钛(tio2)等。作为碳，能够使用活性炭、不定形碳、石墨、金刚石等。
在本发明的制造方法2中，脱氟化氢反应也能够在氧化剂的存在下进行。作为氧化剂，能够列举例如氧、氯、溴或碘等，特别优选氧。氧化剂的浓度没有特别限定，例如，能够与公知的脱氟化氢反应同样。
脱氟化氢反应的反应温度也没有特别限定，能够与公知的脱氟化氢反应同样，例如，能够设为300℃以上，优选为320℃以上，进一步优选为340℃以上，特别优选为350℃以上。另外，脱氟化氢反应的反应温度能够设为600℃以下，优选为550℃以下，进一步优选为500℃以下，特别优选为450℃以下。
脱氟化氢反应的反应时间、反应时的压力也没有特别限定，能够广泛采用公知的条件。脱氟化氢反应也能够在不活泼性气体的存在下和空气的存在下的任一种的存在下进行。脱氟化氢反应可以采用连续或分批式的任一种方法。
本发明的制造方法2中，除了具有脱氟化氢工序以外，也能够根据需要具有其它的工序。此外，在制造方法2中，也能够从制造方法2所得到的粗生成物中分离原料进行再利用。
通过脱氟化氢工序，得到作为目标物的氟代烯烃、例如通式(4)所示的化合物。脱氟化氢工序中生成的目标物的氟代烯烃为1种或2种以上。
所得到的氟代烯烃，根据脱氟化氢工序中所使用的氟代乙烷来决定。作为氟代烯烃，可以例示1,2－二氟乙烯(hfo－1132)、1,1－二氟乙烯(hfo－1132a)和三氟乙烯(hfo－1123)等。
在本发明的制造方法2中，在作为氟代乙烷使用hfc－143的情况下，所得到的氟代烯烃为hfo－1132。在本发明的制造方法2中，在作为氟代乙烷使用hfc－143a的情况下，所得到的氟代烯烃为hfo－1132a。在本发明的制造方法2中，在作为氟代乙烷使用hfc－134的情况下，所得到的氟代烯烃为hfo－1123。在hfo－1132中，包含反式－1,2－二氟乙烯[(e)－hfo－1132]、顺式－1,2－二氟乙烯[(z)－hfo－1132]。
在通过以上的本发明的制造方法2得到氟代烯烃的情况下，可以连续地进行前述的本发明的制造方法1和本发明的制造方法2，或者也可以分别独立地进行。
实施例
以下，通过实施例更具体地说明本发明，但本发明不限定于这些实施例的方式。
(实施例1)
准备1个50a反应管，在该反应管中填充670g的催化剂。催化剂以活性炭为载体、贵金属为钯来形成。在反应管中填充催化剂时，将钯的载持量相对于催化剂总质量为0.3质量％的催化剂作为上游部、将钯的载持量相对于催化剂总质量为3质量％的催化剂作为下游部来形成。从这样填充有催化剂的反应管的原料供给口以500nml/min的流量供给氯三氟乙烯(以下记为ctfe)、以1800nml/min的流量供给氢，使它们依照上游部和下游部的次序通过催化剂。此时，上游部的温度设为320℃、下游部的温度设为230℃。在以上的反应中，将反应管内的催化剂的填充量设为w(g)，将流入反应管中的氟代乙烯和氢气的总流量设为fo，将以w/fo所表示的接触时间设为17g·sec/cc。
(实施例2)
准备1个50a反应管，在该反应管中填充670g的催化剂。催化剂以活性炭为载体、贵金属为钯来形成。在反应管中填充催化剂时，将钯的载持量相对于催化剂总质量为0.3质量％的催化剂作为上游部、将钯的载持量相对于催化剂总质量为3质量％的催化剂作为下游部来形成。从这样填充有催化剂的反应管的原料供给口以500nml/min的流量供给氯三氟乙烯(以下记为ctfe)、以1800nml/min的流量供给氢，使它们依照上游部和下游部的次序通过催化剂。此时，上游部的温度设为250℃、下游部的温度设为160℃。在以上的反应中，将反应管内的催化剂的填充量设为w(g)，将流入反应器中的氟代乙烯和氢气的总流量设为fo，将以w/fo所表示的接触时间设为17g·sec/cc。
(比较例1)
准备1个25l容量的反应管，在该反应管中填充810g的催化剂。催化剂以活性炭为载体、贵金属为钯来形成，钯的载持量相对于催化剂总质量为0.6质量％。从该反应管的原料供给口以555nml/min的流量供给ctfe、以1945nml/min的流量供给氢，使它们通过催化剂。在以上的反应中，将反应管内的催化剂的填充量设为w(g)，将流入反应器中的氟代乙烯和氢气的总流量设为fo，将以w/fo所表示的接触时间设为19g·sec/cc。
[表1]
表1表示实施例和比较例中的气体色谱层析的结果。
根据表1可知，如实施例1所示，在反应管内设置上游部和下游部进行的氢化反应中，作为目标物的hfc－143的选择率高，作为中间生成物的氟代乙烯(hfo－1123)的混入量少。而且，在实施例1中，也抑制了其它杂质的混入，即使在运行400小时后，也没有出现反应管的腐蚀、因聚合物引起的堵塞。相对于此，在比较例1中，生成了聚合物，在反应途中发生了显著的反应管的堵塞。在实施例2中，相较于实施例1变更了反应温度，由此可知，能够以任意比率调整生成物中所含的hfc－143和hfo－1123。在实施例2中，也没有出现反应管的腐蚀、因聚合物引起的堵塞。