专利名称：一种新型显影喷淋机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及喷液显影领域，尤其是涉及一种显影喷淋机构。
背景技术：
采用电铸或蚀刻工艺制作印刷线路掩模板的前期工作一般涉及到以下工序:即基板贴干膜一曝光一显影。一般掩模板开口要求孔壁光滑，尺寸精密，只有保证开口，掩模板才能在使用中有很好的印刷效果。高精密掩模板的制作要求在掩膜板制作过程中每一个环节都能做到较高精度，其中在显影环节中显影的质量对后续工序的影响非常大，因此在显影过程中要求显影机的显影能力均匀稳定。传统显影机喷淋装置的上喷管阵列由若干相互平行且等间距排列的上喷管构成，喷管横截面与显影机的传送方向平行且垂直于传送面，上喷管上等间距设置有等间距排布的多个喷嘴，所有喷嘴构成一个方形喷淋区，需要显影的基板沿显影机传送方向进入方形喷淋区域，由于“水池效应”等效应的存在，基板两侧区域的显影速度相对中间区域显影速度更快。这种显影方式易造成基板两侧区域与中间区域的显影不均匀，特别是在基板的上表面，由此会造成操作人员不易把握显影点，从而导致基板上干膜显影不足或显影过度，影响最终产品质量。因此，业界需要设计出更合理的显影喷淋装置。
实用新型内容本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种新型显影喷淋机构，所述新型显影喷淋机构可有效降低“水池效应”影响，使显影效果更加均匀，便于操作员对显影点的把握，从而制备结构要求更加精密的掩膜板产品。根据实用新型实施例的一种新型显影喷淋机构，包括:由多种喷嘴排列结构不同的且相互平行规则排列的上喷管组成的上喷管阵列和喷嘴。喷液通过外界设备输入上喷管组成的上喷管阵列，并通过喷嘴向下喷出显影液，由于上喷管阵列由多种相互平行且规则排布的上喷管组成而组成上喷管阵列的上喷管上的喷嘴也排列规则，使喷嘴喷出的显影液形成的覆盖区域的显影液流速及浓度都不相同，由此，可有效降低“水池效应”影响，使显影效果更加均匀，制备更精密的掩膜板产品。优选地，所述上喷管阵列由两种所述喷嘴排列结构不同且等间距相间排布的上喷管组成。另外，根据本实用新型的新型显影喷淋机构还具有如下附加技术特征:所述上喷管横截面平行显影传送方向且垂直于显影传送面。所述喷嘴向下并垂直传送平面且数量至少I个。由此，可以保证喷嘴喷出的显影液能够直接垂直的喷淋到待显影的基板。所述喷嘴为中间喷嘴分布密度大于两侧喷嘴分布密度，且两侧喷嘴的位置对称规贝_布。[0013]优选地，所述喷嘴由中间往两侧的相邻喷嘴间距值构成等差数列。由此，可以增加上喷管阵列中部的喷淋量，降低上喷管阵列边缘的喷淋量，有效地降低喷淋过程中产生的“水池效应”。所述喷嘴在不同结构上喷管上的位置在显影传送方向上相互错开。由此，使喷嘴在显影传送方向上的显影液喷淋覆盖区域更加均匀，可以进一步降低喷淋过程中产生的“水池效应”。所述喷嘴的喷液形状为实心锥体、虚心椎体或扇面形状，且所述喷嘴喷出喷液存
在重合区域。由此，可以避免喷嘴喷淋区域出现非重合区域，避免出现喷淋区域显影液覆盖不均匀的可能。所述新型显影喷淋机构还包括支撑部件。本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:图1为一种传统显影机上喷管阵列排布示意图；图2为根据本实用新型的一个实施例的上喷管阵列排布示意图；图3为根据本实用新型的另一实施例的上喷管阵列排布示意图；图4是图3所示的新型显影喷淋机构的k—λ'方向示意图；图5是图3所不新型显影喷淋机构正面A —K'方向不意图和图6是图3所示的新型显影喷淋机构的喷管喷液时的示意图。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等
指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。下面参考图1-图3描述根据本实用新型的一种新型显影喷淋机构，下面以新型显影喷淋机构由两种喷嘴排列不同的上喷管组成为例进行说明。当然，本实用新型并不限于此，例如，根据本实用新型的新型显影喷淋机构也可以由三种喷嘴排列不同的上喷管组成。根据本实用新型的新型显影喷淋机构(如图2所示)，包括喷嘴和由喷嘴排列结构不同的且相互平行规则排列的上喷管组成的上喷管阵列。如图1所示为传统显影机显影室内的上喷管阵列排布示意图，由喷嘴排列完全相同的上喷管组成，此种排列结构存在较为严重的“水池效应”。作为比较地，图2所示为本实用新型显影机显影室内一种上喷管阵列排布示意图，由两种不同结构的上喷管31、上喷管32构成，所有上喷管水平排布且相互平行，上喷管31、32的管径方向与显影机的传送方向相同；上喷管31上有若干个喷嘴31a，上喷管32上有若干个喷嘴32a，所述喷嘴的方向朝下，且按一定的规律排布。以下是对其作进一步的详细描述:所述上喷管阵列由两种不同结构的上喷管构成，即图3所示的上喷管31和上喷管32，所述不同结构的上喷管即在上喷管管壁上有不同排布方式喷嘴的上喷管，即喷嘴31a、32a (如图4所示)分别在其对应的上喷管31、32上分散的位置不同，具体表现为:在显影机传送方向上，喷管31上的喷嘴31a与喷管32上的喷嘴32a相互错开，不重叠；以上所述上喷管阵列的所有上喷管(包括上喷管31和上喷管32)相互之间为等间距交替排列。在本实用新型的一个实施例中，每根上喷管(包括上喷管31、上喷管32)上的喷嘴排布规律为中间喷嘴分布密度大于两侧喷嘴分布密度，且两侧喷嘴的位置对称。在本实用新型的一个实施例中，图4所示(即沿图3中A— 方向)，喷嘴31a由中间往两侧的间距逐渐增大，即L1〈L2〈L3。优选地，由中间往两侧的相邻喷嘴31a的间距值构成等差数列，即L3_L2=L2_L1。在本实用新型的一个实施例中，如图5所示，上喷管32上喷嘴32a的排布规律与上喷管31上喷嘴31a的排布规律类似，不同点如前所述，即在显影机传送方向上，喷管31上的喷嘴31a与喷管32上的喷嘴32a相互错开，不重叠。显影机工作时，基板沿图3所示显影机传送方向水平进板，上喷管31、32管壁上喷嘴31a、32a往下喷淋显影液，上喷管阵列下方形成一个喷淋显影区域，喷嘴31a、32a的喷液形状为扇面结构。如图6所示,喷嘴31a喷淋出的显影液构成扇面61，所述扇面61垂直于图3所示显影机传送方向，上喷管31的两侧喷嘴31a喷出溶液形成的扇面两侧边62、63的夹角相对于中间位置喷嘴喷出溶液形成的扇面两侧边62、63的夹角有逐步增大的趋势，即如图6所示Θ 1〈 Θ 2〈 Θ 3〈 Θ 4，上喷管31上的喷嘴31a喷出的扇面结构溶液相互之间有一定的重合区域。上喷管32的喷嘴喷液效果与上喷管31的喷液效果类似。显影机工作时，以上设计可以有效的降低“水池效应”的影响，且两种不同类型的喷管喷淋效果互补，可以更好的实现显影的均匀性。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。
权利要求1.一种新型显影喷淋机构，其特征在于，包括: 喷嘴和由喷嘴排列结构不同的且相互平行规则排列的上喷管组成的上喷管阵列。
2.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构，其特征在于，所述上喷管阵列由两种或两种以上所述喷嘴排列结构不同且等间距相间排布的上喷管组成。
3.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构，其特征在于，所述上喷管横截面平行显影传送方向且垂直于显影传送面。
4.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构，其特征在于，所述喷嘴向下并垂直传送平面且数量至少I个。
5.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构，其特征在于，所述喷嘴为中间喷嘴分布密度大于两侧喷嘴分布密度，且两侧喷嘴的位置对称规则排布。
6.根据权利要求6所述的新型显影喷淋机构，其特征在于，所述喷嘴由中间往两侧的相邻喷嘴间距值构成等差数列。
7.根据权利要求7所述的新型显影喷淋机构，其特征在于，所述喷嘴在不同结构上喷管上的位置在显影传送方向上相互错开。
8.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构，其特征在于，所述喷嘴的喷液形状为实心锥体、虚心椎体或扇面形状，且所述喷嘴喷出喷液存在重合区域。
9.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构，其特征在于，所述新型显影喷淋机构还包括支撑部件。
专利摘要本实用新型公开了一种新型显影喷淋机构，包括至少为二种喷嘴排列结构不同且相互平行的多个上喷管组成的上喷管阵列，所述上喷管横截面平行显影传送方向且垂直于显影传送面；固定安装在上喷管上且垂直传送平面按规则排布的至少1个及以上的喷嘴；和支撑部件。根据本实用新型的新型显影喷淋机构，可以有效改善“水池效应”影响，使得显影效果更加均匀，便于操作员对显影点的把握，可以制备结构要求更加精密的掩膜板产品。
文档编号B05B13/02GK202995257SQ20122059259
公开日2013年6月12日 申请日期2012年11月12日 优先权日2012年11月12日
发明者魏志凌, 高小平, 潘世珎, 张炜平 申请人:昆山允升吉光电科技有限公司