喷雾喷嘴单元的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种喷雾喷嘴单元，该喷雾喷嘴单元包括：喷嘴主体、密封构件、垫圈构件、及弹簧构件。喷嘴主体包括喷雾孔，该喷雾孔内部地形成为竖直地穿透喷嘴主体并且蒸发的原材料经过该喷雾孔，并且该喷嘴主体穿透地联接至容置有原材料的腔室的外壁。密封构件安装在喷嘴主体与腔室的外壁之间，并且将喷嘴主体与腔室的外壁之间气密地密封住以防止蒸发的原材料在喷嘴主体与腔室的外壁之间泄漏。垫圈构件联接至喷嘴主体的放置于腔室的内部的下端部分。弹簧构件安装在垫圈构件与腔室的外壁的内表面之间，并且朝向腔室的外壁和垫圈构件弹性地偏压，使得喷嘴主体可紧密地接触该腔室的外壁。
【专利说明】喷雾喷嘴单元
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种喷雾喷嘴单元，并且更具体地，涉及一种将蒸发的原材料喷洒到基片上以便将该原材料以薄膜的形式沉积在该基片上的喷雾喷嘴。
【背景技术】
[0002]可单独地发光的有机发光显示设备包括有机发光装置，该有机发光装置以矩阵的形式连接在扫描线与数据线之间以形成像素。该有机发光装置包括阳极电极、阴极电极、和有机薄膜层，该有机薄膜层形成在阳极电极与阴极电极之间并包括电洞传递层(holetransfer layer)、有机发光层、和电子传递层。
[0003]与无机材料不同，在沉积该有机薄膜层的过程中所使用的有机材料并不需要高蒸汽压力，而是在高温下是易于被分解和变质的。由于这种材料的特性，该有机薄膜通过下述方式沉积在基片上:为由钨、钛、不锈钢(SUS)等制成的容器填充该有机材料，并且对该容器加热以使该有机材料蒸发。
[0004]将被蒸发以用于沉积该有机薄膜层的原材料均匀地喷洒到该基片上。为此，喷雾喷嘴联接至容置有蒸发的原材料的容器的外壁，并且该容器中的原材料通过该喷雾喷嘴并由此被蒸发到该基片上。
[0005]图1是示出了常规喷雾喷嘴的示例的视图。参照图1，常规喷雾喷嘴10通过螺纹联接部分12等联接至腔室20的外壁21。
[0006]由于腔室20和喷雾喷嘴10接触通过喷雾孔11的蒸发的原材料，因此，该腔室20和喷雾喷嘴10由于在沉积过程期间从蒸发的原材料传递的热量而具有高温，并且当沉积过程完成时，该腔室20和喷雾喷嘴10返回至低温。当该沉积过程反复进行时，腔室20和喷雾喷嘴10由于热量而受到在膨胀和收缩之间交替的反复性的载荷。这种由于加热而造成的反复性的载荷可能使将喷雾喷嘴10联接至该腔室的外壁21的螺纹联接部分12变松或者破裂，并且可能在喷雾喷嘴10与腔室的外壁21之间导致微小的裂缝。
[0007]在喷雾喷嘴与腔室之间的联接部分中发生的前述损坏可能导致腔室内部的蒸发的原材料通过已损坏的部分泄漏，从而不仅损失昂贵的原材料而且也由于泄漏的原材料污染了除基片以外的其它区域。
【发明内容】
[0008]因此，本发明设想来解决前述问题，并且本发明的一方面提供了一种喷雾喷嘴单元，其中，用于喷洒蒸发的原材料的喷雾喷嘴和容置有原材料的腔室被密封住而不会受损，使得可防止昂贵的原材料泄漏，从而降低生产成本，并且可防止原材料沉积在除基片以外的区域以由此防止由于原材料而导致的污染。
[0009]根据本发明的一方面，提供了一种喷雾喷嘴单元，其包括:喷嘴主体，该喷嘴主体包括喷雾孔，该喷雾孔内部地形成为竖直地穿透喷嘴主体并且蒸发的原材料经过该喷雾孔，并且该喷嘴主体穿透地联接至容置有原材料的腔室的外壁；密封构件，该密封构件安装在喷嘴主体与腔室的外壁之间，并且将喷嘴主体与腔室的外壁之间气密地密封住以防止蒸发的原材料在喷嘴主体与腔室的外壁之间泄漏；垫圈构件，该垫圈构件联接至喷嘴主体的放置在腔室的内部的下端部分；以及弹簧构件，该弹簧构件安装在垫圈构件与腔室的外壁的内表面之间，并且朝向腔室的外壁和垫圈构件弹性地偏压，使得喷嘴主体可紧密地接触该腔室的外壁。
[0010]喷嘴主体可包括:第一主体,该第一主体插置在形成于腔室的外壁中的通孔中并且朝向腔室的内部突出；以及第二主体，该第二主体设置在第一主体的上部部分中，并且该第二主体具有比第一主体大的截面面积并且该第二主体朝向腔室的外部突出。
[0011]密封构件可包括:第一密封构件，该第一密封构件安装在第二主体与腔室的外壁的外表面之间；以及第二密封构件，该第二密封构件安装在弹簧构件与腔室的外壁的内表面之间。
[0012]垫圈构件可形成为具有“U”形形状，喷嘴主体的下端部分可形成有从喷嘴主体的横向侧部凹陷的并且面朝彼此相反的方向的一对凹陷部分，并且垫圈构件与喷嘴主体可以以将垫圈构件装配至凹陷部分的方式联接。
[0013]密封构件可由铜材料制成。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]结合附图根据对示例性的实施方式进行的下列描述，本发明的上述和/或其它部分将变得清楚并且更容易被理解，其中:
[0015]图1为示出了常规喷雾喷嘴的示例的视图；
[0016]图2为示出了根据本发明的实施方式的喷雾喷嘴单元的视图；及
[0017]图3为示出了将图2的喷雾喷嘴单元的喷嘴主体与垫圈构件装配在一起的视图。
【具体实施方式】
[0018]下面，将参照附图对根据本发明的喷雾喷嘴单元的实施方式进行描述。
[0019]图2为示出了根据本发明的实施方式的喷雾喷嘴单元的视图；并且图3为示出了将图2的喷雾喷嘴单元的喷嘴主体与垫圈构件装配在一起的视图。
[0020]参照图2和图3，根据本实施方式的喷射喷嘴单元100使蒸发的原材料喷洒在基片上以便将原材料以薄膜的形式沉积到基片上，该喷雾喷嘴单元100包括:喷嘴主体110、密封构件120、垫圈构件130、及弹簧构件140。
[0021]用于将腔室20内部蒸发的原材料传递并喷洒到基片上的喷嘴主体110联接成穿透容置原材料的腔室20的外壁21。在该实施方式中，该喷嘴主体110包括喷雾孔111、第一主体112、及第二主体113。
[0022]喷雾孔111形成为竖直地穿透该喷嘴主体110的内部，使得容置在腔室20中的蒸发的原材料可通过穿过喷雾孔111而被喷洒到基片上。容置在腔室20中的蒸发的原材料通过喷雾孔111并且随后被喷洒到基片上。喷雾孔111的上端部分是锥形的以便扩散该原材料。
[0023]第一主体112插置在形成于腔室的外壁21上的通孔23中，并且朝向腔室的内部22突出。[0024]第二主体113设置在第一主体112的上部部分中，并且具有比第一主体112大的截面面积。例如，第一主体112和第二主体113成形为类似于圆柱，并且第二主体113的直径比第一主体112的直径大，使得第二主体113的截面面积大于第一主体112的截面面积。因此，第二主体113并不插置在形成于腔室的外壁21上的通孔23中，而是当喷嘴主体110联接至腔室20的外壁21时暴露在腔室20的外侧。
[0025]密封构件120将喷嘴主体110与腔室20的外壁21之间密封住，使得蒸发的原材料不能在喷嘴主体110与腔室20的外壁21之间泄漏。密封构件120设置在喷嘴主体110与腔室的外壁21之间。在本实施方式中，密封构件120包括第一密封构件121和第二密封构件122。
[0026]第一密封构件121捕捉在形成于第一主体112与第二主体113之间的突出部分中，并且安装在第二主体113与腔室的外壁的外表面21a之间，从而防止蒸发的原材料通过腔室20的外壁21泄漏。
[0027]第二密封构件122安装在弹簧构件140与腔室的外壁的内表面21b之间，从而防止腔室20内部的蒸发的原材料进入腔室的外壁的通孔23。由于附加地设置了第二密封构件122，因此，确保防止原材料通过腔室的外壁的通孔23泄漏。
[0028]在本实施方式中，密封构件120可以由金属的并且具有高热传导性的铜制成。由铜制成的密封构件120是很软的，使得当该密封构件120由于弹簧构件140的弹性而被喷嘴主体110按压时，该密封能够是更为有效的。
[0029]垫圈构件130联接至喷嘴主体110的放置在腔室的内部22中的下端部分110b，并且支承该弹簧构件140。
[0030]参照图3，喷嘴主体110的放置在腔室的内部22中的下端部分110b、即第一主体112的下端部分形成有从横向侧部凹陷的一对凹陷部分114。这对凹陷部分114形成为面向彼此相反的方向、即在周向方向上间隔开180度。
[0031]在本实施方式中，垫圈构件130形成为具有“U”形形状。当将该垫圈构件130装配到形成在喷嘴主体Iio的下端部分IlOb中的一对凹陷部分114中时，该垫圈构件130与喷嘴主体110相联接。
[0032]弹簧构件140迫压喷嘴主体110以紧密地接触该腔室的外壁21。
[0033]弹簧构件140安装在垫圈构件130与腔室的外壁的内表面21b之间，并且在其一端由腔室的外壁21支承的状态下被朝向垫圈构件130弹性地偏压。由此，喷嘴主体110被朝向腔室的内部22迫压，使得第二主体113可紧密地接触该腔室的外壁的外表面21a。当第二主体113紧密地接触该腔室的外壁的外表面21a时，第一密封构件121被按压，从而完成了第二主体113与腔室20的外壁21之间的气密密封。
[0034]另外，弹簧构件140被朝向腔室的外壁的内表面21b弹性地偏压，使得第二密封构件122可紧密地接触该腔室的外壁的内表面21b，从而完成了第一主体112与腔室20的外壁21之间的气密密封。
[0035]在根据一种实施方式的具有前述结构的喷雾喷嘴单元中，密封构件插置在喷嘴主体与腔室的外壁之间，并且弹簧构件的弹性用于按压该密封构件，使得将喷嘴主体与腔室的外壁之间密封住，从而即使长期使用也防止在喷雾喷嘴与腔室之间形成原材料可能通过其泄漏的裂缝。因此，可防止昂贵的原材料泄漏，从而降低生产成本，并且可防止原材料沉积到除基片以外的区域上以由此防止由于原材料而产生的污染。
[0036]另外，在根据一种实施方式的具有前述结构的喷雾喷嘴单元中，密封构件分别安装至腔室的外壁的外表面和内表面，从而在提高防止原材料从腔室泄漏的密封效率方面产生效果。
[0037]另外，在根据一种实施方式的具有前述结构的喷雾喷嘴单元中，由相对软的铜制成的密封构件被弹簧构件的弹性轻微地按压，从而在气密地密封住形成在喷嘴主体与腔室的外壁的通孔之间的裂缝方面产生效果。
[0038]图2的实施方式示出了第一主体和第二主体被成形为类似于圆柱，但是并不限于此。作为选择，第一主体和第二主体两者都可被成形为类似于多棱柱。作为选择，第一主体和第二主体中的一个可以被成形为类似于多棱柱，并且另一个被成形为类似于圆柱。
[0039]图2的实施方式示出了垫圈构件和喷嘴主体以具有“U”形形状的垫圈构件装配至喷嘴主体的凹陷部分的方式联接，但是不限于此。作为选择，垫圈构件和喷嘴主体以下述方式联接:垫圈构件和喷嘴主体的下端部分以螺纹或多种其它方法联接。
[0040]在根据一种实施方式的喷雾喷嘴单元中，即使长时间使用也防止在喷雾喷嘴与腔室之间形成原材料可能通过其泄漏的裂缝，使得可防止昂贵的原材料泄漏，从而降低了生产成本，并且可防止原材料沉积到除基片之外的区域上以由此防止由于原材料而导致的污染。
[0041]另外，在根据一种实施方式的喷雾喷嘴单元中，提高用于防止原材料从腔室泄漏的气密密封的效率是可能的。
[0042]另外，在根据一种实施方式的喷雾喷嘴单元中，使由于加热和冷却而导致的热变形最小化从而防止喷嘴受损是可能的。
[0043]另外，在根据一种实施方式的喷雾喷嘴单元中，有助于受损的喷嘴的维修是可能的。
[0044]另外，在根据一种实施方式的喷雾喷嘴单元中，将喷嘴主体与腔室的外壁的通孔之间的裂缝气密地密封住是可能的。
[0045]尽管已经示出和描述了本发明的一些示例性实施方式，但对于所属领域技术人员而言将会明白的是，在不背离本发明的原理和精神的情况下可在这些实施方式中做出改变，本发明的范围限定在所附权利要求及其等效物中。
【权利要求】
1.一种喷雾喷嘴单元，包括: 喷嘴主体，所述喷嘴主体包括喷雾孔，所述喷雾孔内部地形成为竖直地穿透所述喷嘴主体并且蒸发的原材料经过所述喷雾孔，并且所述喷嘴主体穿透地联接至容置有所述原材料的腔室的外壁； 密封构件，所述密封构件安装在所述喷嘴主体与所述腔室的所述外壁之间，并且将所述喷嘴主体与所述腔室的所述外壁之间气密地密封住以防止所述蒸发的原材料在所述喷嘴主体与所述腔室的所述外壁之间泄漏； 垫圈构件，所述垫圈构件联接至所述喷嘴主体的放置在所述腔室的内部的下端部分；以及 弹簧构件，所述弹簧构件安装在所述垫圈构件与所述腔室的所述外壁的内表面之间，并且所述弹簧构件朝向所述腔室的所述外壁和所述垫圈构件弹性地偏压，使得所述喷嘴主体能够紧密地接触所述腔室的所述外壁。
2.根据权利要求1所述的喷雾喷嘴单元，其中，所述喷嘴主体包括:第一主体，所述第一主体插置在形成于所述腔室的所述外壁中的通孔中并且朝向所述腔室的内部突出；以及第二主体，所述第二主体设置在所述第一主体的上部部分中，所述第二主体具有比所述第一主体大的截面面积并且所述第二主体朝向所述腔室的外部突出。
3.根据权利要求2所述的喷雾喷嘴单元，其中，所述密封构件包括:第一密封构件，所述第一密封构件安装在所述第二主体与所述腔室的所述外壁的外表面之间；以及第二密封构件，所述第二密封构件安装在所述弹簧构件与所述腔室的所述外壁的内表面之间。
4.根据权利要求1所述的喷雾喷嘴单元，其中， 所述垫圈构件形成为具有“U”形形状； 所述喷嘴主体的所述下端部分形成有从所述喷嘴主体的横向侧部凹陷的并且面朝彼此相反的方向的一对凹陷部分；以及 所述垫圈构件和所述喷嘴主体以将所述垫圈构件装配至所述凹陷部分的方式联接。
5.根据权利要求1所述的喷雾喷嘴单元，其中，所述密封构件包括铜材料。
【文档编号】B05B15/00GK103623962SQ201310367263
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年8月21日 优先权日:2012年8月22日
【发明者】郑基泽, 崔虎重, 姜明成, 宋旭 申请人:Snu 精密股份有限公司