一种用于晶圆切割的有机硅改性压敏胶的制备方法与流程

本发明属于半导体，尤其涉及一种用于晶圆切割的有机硅改性压敏胶的制备方法。

背景技术：

1、所谓晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。

2、随着全球智能手机和pc需求回暖、汽车电子产业快速扩张，全球芯片需求持续扩张，尤其是2020-2021年新能源汽车快速发展背景下，汽车芯片需求爆发，供不应求背景下带动晶圆开工率和产能大幅度提升，数据显示，全球2021年晶圆代工销售额增长26％达1101亿美元。2022年来看，早期预计2022年将保持20％以上幅度增长，7月主要下游企业amd、英伟达和苹果下调订单量，预计增长将下降，维持在10％左右。

3、2021年晶圆需求爆发，下游汽车和消费电子企业需求持续增长，产能和产能利用率达到近年来新高，产能增长8.5％至2.425亿片(全球折合8英寸晶圆)，产能利用率达93.8％。2022年来看，产能有望超过2.6亿片，七月份各大下游企订单量砍单背景下，叠加通胀和供应链紧张等因素整体产能利用率将维持90％左右。

4、就规模而言，目前国内整体纯晶圆代工规模表现为稳步增长趋势，2021年国内新能源汽车销量爆发叠加智能手机需求回暖，国内晶圆需求爆发式增长，价格高涨下销售额增长40.9％，以国内纯晶圆加工占比8成计算，规模约在75亿美元左右。就趋势而言，尖端产品整体价格和利润更高，但随着传感器、电源管理芯片等成熟制程整体需求在短期仍将保持高位，国产企业仍存在较大扩张空间，突破技术封锁同时提升全球晶圆代工竞争力仍是国内产业升级关键因素。

技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、为避免现有技术不足之处，本发明提出一种用于晶圆切割的有机硅改性压敏胶的制备方法，解决现有晶圆切割掉角飞晶以及崩边等缺陷。

3、(二)技术方案

4、为实现上述发明目的，本发明提供一种用于晶圆切割的有机硅改性压敏胶的制备方法，包括以下步骤：

5、s1、取丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异辛酯、丙烯酸、甲基丙烯酰氧基硅氧烷、4-丙烯酰氧基二苯甲酮五种官能团备用；

6、s2、先将丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异辛酯加入到反应釜中并进行搅拌混合反应，之后缓慢加入丙烯酸和甲基丙烯酰氧基硅氧烷以及4-丙烯酰氧二苯甲酮进行聚合反应；

7、s3、根据需求选用不同配比的溶剂置于一个反应容器中，酸性条件下分别将乙酸乙酯、甲苯、丙酮进行稀释得到溶剂；稀释是的防止反应过快导致爬杆从而使得实验失败。

8、s4、将乙酸乙酯和2,2偶氮二异丁腈混合后加入高温反应容器中，使得2,2偶氮二异丁腈(催化剂)进入反应容器中加快反应物聚合；

9、s5、将制得的反应物与甲基丙烯酸缩水甘油酯和咪唑一起混合均匀，可制得最终反应物。

10、作为优选的技术方案，s1步骤中的丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异辛酯、丙烯酸的反应摩尔比为4：5：8，条件为催化剂、加热。

11、作为优选的技术方案，s1步骤中的丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异辛酯可以根据空间长度及支化度更改。

12、作为优选的技术方案，s1步骤中的官能团分别为双键烯基、酯基、羧酸官能团、羰基。

13、(三)有益效果

14、1、引入硅氧烷是因为硅氧烷的润湿作用，有较好的贴合效果，更少的缺陷，更好的切割效率。

15、2、使用缩水甘油醚引入双键，避免使用有毒的含有异氰酸酯的iem，成本也更低。

16、3、引入4-丙烯酰氧基二苯甲酮是为了可以使用295波段实现在线提升内聚力，并未后端双键闭合提供辅助作用减少残胶。

17、4、本发明制得产物理论性能优良，反应过程可根据不同需求进行调控，产物多变，用途多样。

技术特征：

1.一种用于晶圆切割的有机硅改性压敏胶的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆切割的有机硅改性压敏胶的制备方法，其特征在于：s1步骤中的丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异辛酯、丙烯酸的反应摩尔比为4：5：8，条件为引发剂、加热。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆切割的有机硅改性压敏胶的制备方法，其特征在于：s1步骤中的丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异辛酯可以根据空间长度及支化度更改。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆切割的有机硅改性压敏胶的制备方法，其特征在于：s1步骤中的官能团分别为双键烯基、酯基、羧酸官能团、羰基。

技术总结
本发明属于半导体技术领域，尤其涉及一种用于晶圆切割的有机硅改性压敏胶的制备方法，先将丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异辛酯加入到反应釜中并进行搅拌混合反应，之后缓慢加入丙烯酸和甲基丙烯酰氧基硅氧烷以及4‑丙烯酰氧二苯甲酮进行聚合反应；根据需求选用不同配比的溶剂置于一个反应容器中，酸性条件下分别将乙酸乙酯、甲苯、丙酮进行稀释得到溶剂；将乙酸乙酯和2,2偶氮二异丁腈混合后加入高温反应容器中，使得2,2偶氮二异丁腈(催化剂)进入反应容器中加快反应物聚合；将制得的反应物与甲基丙烯酸缩水甘油酯和咪唑一起混合均匀，可制得最终反应物。胶，本发明制得产物理论性能优良，反应过程可根据不同需求进行调控，产物多变，用途多样。

技术研发人员：杨玉龙
受保护的技术使用者：浙江中特化工有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/24