一种用于晶圆运转的锁止装置的制作方法

本申请涉半导体设备，具体涉及一种用于晶圆运转的锁止装置。

背景技术：

1、在半导体制造工艺中，用于晶圆运转的推车结构一般由推车架和行走轮组成，并通过人工控制驱动，在人松手或不锁定行走轮情况下，推车易失去控制而溜车，造成晶圆损失，存在极大的安全风险。现有技术中的推车行走轮不能自锁，要用脚踩到两个及以上的刹车按钮带动刹车片摩擦轮子才能完全锁住，十分不方便，在生产中时有忘记给行走轮上锁，而导致推车溜车的现象，在这种背景下，如何设计一种针对推车的锁止装置，能够快捷有效的锁止推车，无疑会极大的提高晶圆运转的效率和安全性。

技术实现思路

1、本申请提供一种用于晶圆运转的锁止装置，实现便捷快速锁止晶圆运转推车的目的，提高晶圆运转的效率和安全性。

2、为实现以上实用新型目的，采用的技术方案为：

3、一种用于晶圆运转的锁止装置，应用于晶圆运转推车，所述晶圆运转推车包括推车架和设于所述推车架上的行走轮，所述锁止装置包括支撑主体、设于所述支撑主体上且与所述推车架固定连接的承重管以及设于所述支撑主体上且位于所述承重管一侧的控制电机；所述支撑主体背离所述承重管的一侧转接所述行走轮，所述行走轮的一侧设有同步齿，所述承重管内套设有锁止杆，所述锁止杆穿设所述支撑主体且与所述支撑主体滑动连接，所述锁止杆面向所述同步齿轮的一端，以及所述锁止杆面向所述控制电机的一侧分别设有锁止齿和控制齿，所述控制电机的输出端设有与所述控制齿啮合的动力齿，用于控制所述锁止杆上/下运动，所述锁止齿与所述同步齿啮合或保持有一定距离；所述承重管内设有至少一个弹性件，所述弹性件分别与所述承重管和所述锁止杆抵接。

4、本申请进一步设置为：所述控制电机的一侧设有输出端口，所述输出端口电性连接有设于所述推车架上的控制开关。

5、本申请进一步设置为：所述控制开关包括电容式感应开关，所述电容式感应开关电性连接有供电电池。

6、本申请进一步设置为：还包括转向轴承，所述转向轴承设于所述支撑主体上并与所述承重管转接，所述锁止杆穿设所述转向轴承并与所述支撑主体滑动连接。

7、本申请进一步设置为：所述支撑主体背离所述承重管的一侧对称设有支架，所述支架通过转轴与所述行走轮转接。

8、本申请进一步设置为：所述同步齿与所述行走轮固定连接。

9、本申请进一步设置为：所述锁止杆背离所述锁止齿的一端设有滑动挡板，所述滑动挡板的外轮廓与所述承重管的内壁相匹配。

10、本申请进一步设置为：所述承重管的一端设有与所述推车架固定连接的安装座，所述弹性件的两端分别与所述滑动挡板和所述安装座抵接。

11、本申请进一步设置为：所述支撑主体背离所述承重管的一侧一体连接有引导座，所述引导座与所述锁止杆相匹配。

12、本申请进一步设置为：所述锁止杆位于所述行走轮的一侧，且与所述承重管和所述弹性件同轴心设置。

13、综上所述，与现有技术相比，本申请公开了一种用于晶圆运转的锁止装置，应用于晶圆运转推车，包括支撑主体、承重管和控制电机，通过支撑主体承载锁止装置的各零部件并转接推车的行走轮，其中，行走轮的一侧设有同步齿，承重管内套设有锁止杆，锁止杆穿设过支撑主体且通过控制齿与控制电机的输出端的动力齿啮合，在弹性件分别与承重管和锁止杆抵接的前提下，控制电机驱动锁止杆上/下运动，进而使得锁止齿与同步齿啮合或保持有一定距离，以此实现便捷快速锁止晶圆运转推车的目的，提高晶圆运转的效率和安全性。

技术特征：

1.一种用于晶圆运转的锁止装置，应用于晶圆运转推车，所述晶圆运转推车包括推车架和设于所述推车架上的行走轮，其特征在于：

2.如权利要求1所述的用于晶圆运转的锁止装置，其特征在于，所述控制电机的一侧设有输出端口，所述输出端口电性连接有设于所述推车架上的控制开关。

3.如权利要求2所述的用于晶圆运转的锁止装置，其特征在于，所述控制开关包括电容式感应开关，所述电容式感应开关电性连接有供电电池。

4.如权利要求1所述的用于晶圆运转的锁止装置，其特征在于，还包括转向轴承，所述转向轴承设于所述支撑主体上并与所述承重管转接，所述锁止杆穿设所述转向轴承并与所述支撑主体滑动连接。

5.如权利要求1所述的用于晶圆运转的锁止装置，其特征在于，所述支撑主体背离所述承重管的一侧对称设有支架，所述支架通过转轴与所述行走轮转接。

6.如权利要求5所述的用于晶圆运转的锁止装置，其特征在于，所述同步齿与所述行走轮固定连接。

7.如权利要求1所述的用于晶圆运转的锁止装置，其特征在于，所述锁止杆背离所述锁止齿的一端设有滑动挡板，所述滑动挡板的外轮廓与所述承重管的内壁相匹配。

8.如权利要求7所述的用于晶圆运转的锁止装置，其特征在于，所述承重管的一端设有与所述推车架固定连接的安装座，所述弹性件的两端分别与所述滑动挡板和所述安装座抵接。

9.如权利要求1所述的用于晶圆运转的锁止装置，其特征在于，所述支撑主体背离所述承重管的一侧一体连接有引导座，所述引导座与所述锁止杆相匹配。

10.如权利要求1-9任一项所述的用于晶圆运转的锁止装置，其特征在于，所述锁止杆位于所述行走轮的一侧，且与所述承重管和所述弹性件同轴心设置。

技术总结
本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种用于晶圆运转的锁止装置，包括支撑主体、设于支撑主体上且与推车架固定连接的承重管和设于支撑主体上且位于承重管一侧的控制电机；支撑主体背离承重管的一侧转接行走轮，行走轮的一侧设有同步齿，承重管内套设有锁止杆，锁止杆穿设过支撑主体且与支撑主体滑动连接，锁止杆面向同步齿轮的一端，以及锁止杆面向控制电机的一侧分别设有锁止齿和控制齿，控制电机的输出端设有与控制齿啮合的动力齿，用于控制锁止杆上/下运动，锁止齿与同步齿啮合或保持有一定距离；承重管内设有至少一个弹性件，弹性件分别与承重管和锁止杆抵接的。本申请便捷快速锁止晶圆运转推车，提高晶圆运转的效率和安全性。

技术研发人员：李洪锐
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20221213
技术公布日：2024/1/12