具备集成到室壁上的电动机的基片加工装置的制作方法

专利名称：具备集成到室壁上的电动机的基片加工装置的制作方法
技术领域：
本示范性实施例大体上涉及基片传送系统，尤其是涉及基片传送机械手。
背景技术：
常规的基片加工装置可包括一个或多个具有隔离环境(例如，真空、惰性气体)的 室的部分。常规的加工装置也可包括设置在隔离环境的室中，以在加工装置的各种平台之 间运输基片的基片运输系统。常规的运输系统可包括一个或多个臂以及带有为臂提供动 力的电动机的驱动部分。电动机或其零件可位于隔离环境中，且常规的驱动部分可具有支 撑轴的常规的轴承，该轴为臂提供动力。常规的轴承可能导致从例如轴承接触和润滑剂的 使用将不期望的污染物引入隔离环境中，润滑剂可能在例如真空下释放出气体。此外，常规 的驱动部分可位于隔离环境或真空室的壁的外部，且驱动部分的隔离部与室连通，以实现 与室内的臂的连接。因此，在常规的装置中，驱动部分可向隔离环境或真空室贡献额外的体 积，相应地增加用于对隔离环境或室中的真空抽气的时间。同时，常规的运输系统的臂部分 可居中心定位，以实现贯穿加工装置的运输。因此，常规的系统中的驱动部分可能在隔离环 境或真空室的底部之下居中地定位，从而限制或限定其他系统连接至隔离环境的室的底部 的接入。本文中所公开的示范性实施例克服了常规的系统的问题，如以下更详细地所述。

发明内容
在一个示范性实施例中，提供了一种基片运输装置。该基片运输装置包括具有内 表面的外周壁，限定了能够保持隔离环境的基片运输室；至少一个大致环形的电动机，具有 至少一个定子模块和至少一个转子，该定子模块位于外周壁中，位于外周壁的内表面和邻 近的外表面之间，该转子大致不接触地悬挂在运输室内，使得被环形的电动机包围的外周 壁的表面配置成将预定的设备附接到其上；以及至少一个基片运输臂，连接于至少一个转 子，并具有至少一个配置成保持至少一个基片的末端执行器。在另一个示范性实施例中，提供了一种基片运输装置。该基片运输装置包括形成 室的框架；多个定子模块组，至少部分地嵌入室的外周壁，每个定子模块组形成相应的电动 机的一部分，其中，多个定子模块组的各个与多个定子模块组中的其他不同的定子模块组 径向地隔开；多个转子，每个转子由定子模块组的相应的一个大致不接触地支撑；以及至 少一个末端执行器，连接于多个定子的相应的一个，至少一个末端执行器的各个配置成支 撑基片，其中，定子模块组的各个和相应的转子配置成实现至少一个末端执行器的相应的 一个的延伸和缩回。在另一示范性实施例中，提供了一种基片加工装置。该基片加工装置包括框架，具有至少一个能够保持预定的环境的可隔离的室；基片运输装置，至少部分地位于至少一 个可隔离的室内，基片运输装置配置成运输至少一个基片，基片运输装置，包括至少两个 嵌套式定子模块，可移除地嵌入至少一个可隔离的室的外周壁中；至少两个转子，位于至 少一个可隔离的室内，至少两个转子的各个由至少一个定子的相应的一个大致不接触地支 撑，形成至少两个嵌套式电动机，使得至少两个嵌套式电动机的一个被至少两个嵌套式电 动机的不同的另一个围绕；以及至少一个运输臂，联接到至少两个转子上，至少一 个运输臂 具有至少一个用于支撑基片的末端执行器，其中，至少两个嵌套式电动机为至少一个运输 臂至少提供了两自由度的运动。在另一个示范性实施例中，一种基片运输装置包括形成基片运输室的框架；至 少一个电动机，包括一组定子模块，该组定子模块周向地分布在基片运输室的外周壁，定子 模块的各个可独立安装到外周壁上，至少一个电动机还包括至少一个与定子模块的各个一 起运行的公共的环形转子上；以及至少一个末端执行器，连接到至少一个公共的环形转子 上，至少一个末端执行器的各个配置成支撑基片，其中，该组定子模块和至少一个公共的环 形转子配置成实现至少一个末端执行器的至少一个自由度的电动机运动。


在以下的描述中，结合附图，解释了所公开的实施例的上述方面和其他特征，其 中图1显示了根据一个示范性实施例的基片加工装置的平面示意图；图2A-2C分别显示了根据一个示范性实施例的运输室部分的俯视立体示意图、侧 视剖面图以及仰视立体示意图；图3A-3C分别显示了根据一个示范性实施例的运输装置的立体示意图、局部立体 示意图以及侧视剖面图；图4A-4C分别显示了根据一个示范性实施例的运输装置的立体示意图、局部立体 示意图以及侧视剖面图；图5显示了根据一个示范性实施例的驱动部分的立体示意图；图6显示了图5的驱动部分的定子段和转子的局部立体图；图7A-7C分别显示了根据一个示范性实施例的运输室部分的俯视立体示意图、侧 视剖面图以及仰视立体示意图；图8A-8C分别显示了根据一个示范性实施例的运输装置的立体示意图、局部立体 示意图以及侧视剖面图；图9显示了图8A的运输装置的代表性转子的横截面；图10显示了根据一个示范性实施例的电动机的一部分；图11显示了根据一个示范性实施例的运输装置，在图9中显示了其一部分；图12A-12C分别显示了根据一个示范性实施例的运输装置的俯视立体示意图、侧 视剖面图以及仰视立体图；图13A-13C分别显示了根据一个示范性实施例的运输装置的立体示意图、局部立 体示意图以及侧视剖面图；图14显示了根据一个示范性实施例的驱动部分的立体示意图15是根据其他的示范性实施例的基片加工工具和与其相连的载体的平面示意 图；以及图16是根据其他的示范性实施例的基片加工工具和与其相连的载体的平面示意 图。
具体实施例方式参见图1，显示了结合根据示范性实施例的特征的基片加工装置10的平面示意 图。虽然将参照附图中所示的实施例来描述示范性实施例，但应当理解的是，这些示范性实 施例能够以许多备选的形式具体化。此外，可使用任意合适的尺寸、形状或类型的元件或材 料。在图1所示的示范性实施例中，加工装置10具有代表性结构，且在备选的实施例 中，装置可具有任何其他所需的结构。在图1所示的示范性实施例中，仅出于示范的目的而 显示了作为组合工具的加工装置。应认识到，示范性实施例同样地适用于任何其他合适的 类型的具有运输装置的基片加工系统，包括但不限于线性加工系统。可结合示范性实施例 中的合适的加工系统的示例包括但不限于2006年5月26日提交的题目为“线性分布的半 导体工件加工工具”的美国专利申请第11/442511号，该申请的公开通过引用而整体地结合 到本文中。图1所示的示范性加工装置10通常可具有接口部分12，其例如被称为前端模块 (应认识到，用于该描述的参照系为示范性的，在备选的实施例中，可使用任何所需的参照 系，例如，接口部分可位于装置的后部或侧部)。在所示的示范性实施例中，装置10可包括 连接至接口部分12的加工部分14。出于示例的目的，接口部分12可被布置成(例如，可 具有一个或多个装载端口 12L及合适的传送系统12T，例如可位于合适的环境控制模块12M 中)允许从装置10装载或卸载基片或其他所需的工件。接口部分12的传送系统12T可在 模块12M的合适受控环境中，在例如接口部分的装载平台的存储盒和加工部分14之间传送 基片。示范性实施例中的加工部分14通常可具有多个运输室14T1、14T2(出于示例的目 的，在图1中显示了两个运输室，但在备选的实施例中，可多于或少于两个室)以及多个可 连通地连接至运输室14Τ1、14Τ2的加工模块14Μ。加工模块14Μ可配置成在基片上进行任 何所需的加工，例如，使用真空的薄膜(thin film)加工，例如等离子体刻蚀或其他刻蚀加 工、化学气相沉积(CVD)、等离子气相沉积(PVD)、例如离子注入的注入、快速热加工(RTP)、 干带式(dry strip)原子层沉积(ALD)、氧化/扩散、氮化物的形成、真空光刻、外延(EPI)、 丝焊和蒸发，或者其他使用真空压力的薄膜加工，或者任何其他所需的加工。在示范性实施 例中，运输室14T1、14T2可被配置成保持能够与外部环境相隔离的可隔离的环境。在示范 性实施例中，运输室14T1、14T2能够保持真空环境(虽然在备选的实施例中，运输室可保 持任何其他所需的隔离环境，例如惰性气体、N2, Ar等)。因此，在示范性实施例中，运输室 14T1、14T2可包括合适的真空抽气系统和排气系统，如以下进一步所述。为了严格地保持隔 离环境，加工部分14的运输室14T1、14T2可经由真空进样室16而与接口部分12连通。应 认识到，加工模块14M可通过合适的槽阀(slot valve)而与运输室14T1、14T2相隔离。在所示的示范性实施例中，运输室14T1、14T2能够彼此隔离。例如， 在示范性实施例中，运输室14T1、14T2可相对于装置的前部或接口部分12而串联地布置，中间的真空进 样室14LL可如图1所示地设置在运输室14T1、14T2之间。因此，运输室14T1、14T2能够保 持不同的隔离环境，例如不同程度的真空，因此，连接至各个运输室14T1、14T2的加工模块 14M能够进行具有不同基准压力的不同加工。在备选的实施例中，运输室14T1、14T2可不具 有不同环境。在备选的实施例中，运输室14T1、14T2之间的中间室14LL也可配置成基片缓 冲器、校准器或度量部分。在图1所示的示范性实施例中，每个运输室14T1、14T2可具有分别安装于其中的 运输装置20、22。应认识到，位于室14T1中的运输装置20能够在真空进样室16和加工模 块14M或连接至运输室14T1的中间真空进样室14LL之间运输基片，并且运输装置22能够 在中间真空进样室14LL和连接至运输室14T2的加工模块之间运输基片。在备选的实施例 中，加工部分的运输室14T1、14T2可具有更多或更少的运输装置。基片加工装置10及其子 部分(例如，接口部分12、加工部分14、运输装置20、22)可合适地配置成加工任何所需的 基片，包括但不限于200mm、300mm、450mm或任何其他所需的直径的基片(例如可用于半导 体制造中)、调制盘或薄膜(pellicle)以及平板(例如，可用于平板显示制造中)。现参见图2A-2C，分别显示了运输室部分14T的俯视立体示意图、仰视立体示意图 以及侧视剖面图(图2A中，省略了封闭元件，以使室的内部细节可见)。如前所述，运输室 14T1、14T2部分可包括运输系统，在示范性实施例中，为装置20、22，以通过运输室14T1、 14T2而将基片运输至真空进样室16 (见图1)和加工部分14的加工模块14M或从其运输 出。在示范性实施例中，运输装置20、22通常为铰接的或可移动地接合的臂，由带有多个独 立的旋转轴线的旋转驱动器提供动力，以产生运输装置末端执行器的所需的径向(R)运动 和旋转(T)运动(例如，分别由图2A中的箭头R、T所示)，如以下更详细所述。旋转驱动 器具有出于描述的目的而被称为环形电动机的带有线圈的电动机，该电动机可接合到限定 各自的运输室14T1、14T2的运输室壁内，从而将线圈与室内环境隔离，也如以下进一步地 描述。在示范性实施例中，驱动部分电动机的布置可使运输室的底面不受约束，或易于安装 和接触例如真空抽气系统100(见图2B、2C)或其他所需的系统。在示范性实施例中，例如 无轴承的电动机磁性地使臂和运输装置的臂的驱动器悬浮并居中，消除或大致减小了室环 境内的颗粒产生的潜在性。仍参见图2A-2C，在示范性实施例中，各个运输室14T1、14T2中的运输装置20、22 可彼此不同。例如，运输装置20可具有出于描述目的被称为双对称的臂布置的布置，运输 装置22可具有对称的臂布置。在备选的实施例中，基片运输装置可具有任何其他所需的布 置，例如选择顺应性装配机器手臂(SCARA)布置。在其他备选的实施例中，运输室中的运输 装置可以类似。运输臂的合适的示例可见于2008年5月8日提交的题目为“基片运输装置 (Substrate TransportApparatus) ”的美国专利申请第12/117355号，该申请的公开通过引 用而整体地结合到本文中。参见图3A-3B，分显示了运输装置20的立体示意图和局部立体图。如前所述，在示 范性实施例中，运输装置20可具有双对称的臂布置，具有例如两个臂组件24、26 (但在备选 的实施例中，可为更多或更少的臂组件)。臂组件24、26可彼此大致类似，在示范性实施例 中，通常布置成彼此相对，如图3A最佳地所示，使得臂沿着大致相对的方向延伸和缩回。臂 24可具有一个(或多个)末端执行器24E (能够在其上保持所需数量的基片)和一对臂连杆30R、30L，末端执行器24E可移动地安装在臂连杆上(臂组件26类似，因而，出于图示目 的，以下将具体地参照臂组件24来描述臂组件，除非另有说明)。应认识到，臂连杆30R、30L 的弯曲形状是示范性的，在备选的实施例中，臂连杆可具有任何合适的形状，包括但不限于 直线形和弓形。臂连杆30R、30L的一端能够以任何合适的方式，在枢轴32L、32R处可枢轴 转动地安装到各自的基部件34、36。臂连杆30R、30L的其他相对的末端可在关节35R、35L 处可枢轴转动地结合至末端执行器24E。在备选的实施例中，臂连杆30R、30L可沿着臂连杆 在任何合适的点可枢轴转动地结合至基部件和末端执行器。在示范性实施例中，臂组件24、 26均安装或结合至共同的基部件34、36，并通过基部件34、36而结合至驱动部分28。在示 范性实施例中，驱动部分28可具有嵌套式电动机，该电动机提供两个独立的旋转轴线(Tl、 T2)，因此，提供臂组件24、26的两个运动自由度(R、T)。应认识到，臂组件24、26的臂连杆 的双对称的几何形状实现了臂组件之间的R运动的通常的分离(例如，从待发(battery) 或缩回位置，例如由旋转轴线T1、T2的反向旋转实现的一个臂组件的延伸和缩回(R运动)， 在待发位置引起其他的臂组件的小的相应的R运动)。在备选的实施例中，臂组件可独立 地联接至驱动部分，因而每个臂组件可沿R方向单独地移动。基部件34、36可具有任何所 需的形状，能够将臂连杆30R、30L的外部枢轴关节32L、32R联接到驱动部分电动机的转子 (图3A-3B所示的基部件34、36的结构仅为示范性的，在备选的实施例中，基部件可具有任 何其他合适的结构)。如前所述，在图3A-3C所示的示范性实施例中，驱动部分28可具有嵌套式环形电动机40、42(限定独立的旋转轴线Tl、T2)，且基部件34、36可分别以大致无轴或无轮毂的 方式而连接到相应的驱动电动机40、42。如图3A-3B最佳地所示，每个基部件34、36可具有 通常为环形的部分34R、36R以及延伸部分34E、36E，从其悬挂至臂组件24、26的相应的枢轴 关节32L、32R。在示范性实施例中，基部件可大体平坦，例如金属冲压板，但在备选的实施例 中，基部件可由任何合适的材料以任何其他所需的方式形成。环形部分34R、36R可闭合或 开放，并分别结合至电动机40、42的相应的环形转子。基部件的环形部分能够以任何所需 的方式紧固于电动机转子(例如，机械紧固、化学键合等)。在备选的实施例中，电动机转子 能够以其他方式集成至基部件(例如，基部件可具有整体地形成的磁性材料环，配置成能 够作为电动机转子而工作)。基部件的环形部分可围绕转子周围以所需的长度延伸并紧固 到其上。在所示的示范性实施例中，嵌套式电动机40、42可居中定位(其各自的旋转轴线 Tl、T2共轴)，使得其中一个电动机围绕另一个电动机，且基部件34、36配置成允许其彼此 不干扰地旋转。在备选的实施例中，基部件以及基部件和驱动部分Tl、T2的电动机之间的 联接能够以任何其他所需的方式配置，并可包括一个或多个轴或轮毂。现再次参见图2A-2C，在示范性实施例中，驱动部分28的电动机40、42集成到限定 运输室14T1、14T2的底壁14B中。在备选的实施例中，驱动部分电动机可集成到界定运输室 的任何其他壁中，例如侧壁或顶壁。在示范性实施例中，驱动部分的环形电动机40、42可布 置成在电动机内限定一个清洁或大致自由的空间44 (不受驱动系统构件的阻碍)以定位或 容纳其他构件，例如真空抽气系统100(例如参见图2B和3B)和用于环境控制的相关构件 (例如未显示的压力计、传感器、排气系统管道等)。在备选的实施例中，环境控制构件可位 于运输室14T1、14T2的任何合适的位置。现参见图5，显示了大致类似于驱动部分28的驱 动部分128的立体示意图(所示的示范性实施例中的驱动部分128可具有电动机，以限定四个独立的旋转轴线T1-T4，且如前所述，驱动部分28可具有两个独立的旋转轴线)。在示 范性实施例中，驱动部分28的同心定位的电动机40、42(Τ1、Τ2)可大致类似。在备选的实 施例中，驱动部分可包括不同类型的电动机。在备选的实施例中，电动机40、42可为同步电 动机，例如无电刷的直流电动机。无电刷的直流电动机的合适示例可见于2007年6月27日 提交的美国专利申请第11/769688号、2007年6月27日提交的美国专利申请第11/769651 号以及2008年6月27日提交的美国专利申请第12/163996号，其通过引用而整体地结合 到本文中。如前所述，在示范性实施例中，电动机40、42类似，因而以下将具体参照电动机 40来进行描述，除非另有说明。如图3Β所示，电动机绕组可设置在定子40S中，转子40R可具有永磁体，该永磁体以交替的磁极顺序在所需的节距处周向地布置。在示范性实施例中，转子40R可具有铁 磁背衬(或任何其他合适的磁性材料的背衬)以用于永磁体。定子40S可布置在定子段 40S1-40S4中，例如图3Α所示的四个定子段(也可参见图5，标号140S1-140S4)，但在备 选的实施例中，可为更多或更少的定子段。定子段40S1-40S4可几何地偏移(例如，绕着 转子而隔开)且相对于彼此而电学地偏移，以在转子上产生所需的合力。在示范性实施例 中，定子绕组和转子磁体能够沿着图3Α和图5中的箭头τ的方向产生切向力和/或径向 力(r)(参见图5)，以提供可大致独立地控制的转矩(Tl、T2)和无轴承的定心力。定子段 40S1-40S4中的一个或多个的绕组可彼此联接，以形成可独立地控制的绕组集，在示范性实 施例中，电动机40可具有至少两个可独立地控制的绕组集(但在备选的实施例中，可为更 多或更少的绕组集)。通过控制器(未显示)中的合适的算法，可控制段40S1-40S4中的绕 组的换向(commutation)，以提供所需的转矩和独立的转子定心。用于将定子段40S1-40S4 中的绕组换向的合适的换向程序的示例可见于先前通过引用而结合的美国专利申请第 11/769688和11/769651号。应认识到，在示范性实施例中，可控制转子定心力(例如径向 力和/或切向力)以实现转子40R、42R，进而臂组件24、26沿X、Y方向的运动(例如，除了 两个电动机的旋转轴线Tl、Τ2之外的另外两个自由度)。在备选的实施例中，转子可具有 合适的被动式定心，例如机械接触式(如轴、轴承等)或磁性非接触式定心。在示范性实施例中，电动机40、42可同心地邻接，并可配置成使用或共享位于例 如转子之间的共有的或组合的定子段。如图6中最佳地所示，其显示了定子段的局部立体 图，例如驱动部分128的定子段140S1及转子140R、142R。定子段140S1及转子142R、140R 代表着合适的定子段。驱动部分28 (参见图3Α)的转子40R、42R及定子段40S1类似。如 图6所示，示范性实施例中，定子段140S1可具有芯部分140C，例如由合适的磁性材料制成。 图6所示的芯部分140C的结构是示范性的，在备选的实施例中，芯部分可具有任何合适的 结构。芯部分140C可包括用于与电动机40、42(参见图3B)类似的电动机140、142的绕组 140W、142W的绕组槽或齿。在示范性实施例中，芯部分140C可为整体式结构，但在备选的实 施例中，芯部分可为组合的组件。绕组槽140W、142W可分别设置在芯140C的相对侧，以面对 其相应的电动机转子140R、142R。仅出于示例的目的，芯140C中的绕组槽140W、142W显示 成大致对称，在备选的实施例中，用于每个电动机定子的芯中的绕组槽可以不相同(例如， 对应于给定的电动机的结构和运行参数)。在其他备选的实施例中，一个或多个槽或间隙 (例如，与芯的表面同心地延伸)可形成在芯部分，使向芯提供所需的磁性结构。定子段的 合适示例可见于2008年6月27日提交的美国专利申请第12/163993号，其通过引用而整体地结合到本文中。应认识到，如图6所示，与组合的定子段140S1 —起运行的转子140R、 142R(类似于图3B中所示的转子40R、42R)可相应地配置。例如，转子140R、142R可具有 永磁体，其定位成面对位于转子140R、142R之间的组合的芯部分140C上的相应的绕组。因 此，各个转子140R、142R上的永磁体可彼此面对(应认识到，可调整转子之间的间隙的尺寸 和/或将合适的材料定位在室壁内，以避免转子之间的磁影响)。在备选的实施例中，永磁 体相对于彼此可具有任何合适的定向。在其他备选的实施例中，电动机定子和转子可具有 任何其他合适的结构。除转矩τ和与定心力(r)以外，在示范性实施例中，电动机40、42可在不接触的情况下产生提升力(例如，Z方向力，参见图3A)。例如，转子磁体和定子芯可定位成产生无 源提升，通过例如磁悬浮，从而在Z方向上稳定地保持定子，进而保持臂组件。电动机40、42 的定子段40S1-40S4和转子40R、42R的结构可被建立成产生沿Z方向的所需的转子40R、 42R的刚性和针对纵横摇(pitch and roll)(分别为转子绕着Y和Z轴的旋转)的转子刚 性。具有带有沿Z方向的所需的转子刚性无源Z提升的转子和定子结构的合适示例和纵横 摇，可见于先前通过引用而结合的美国专利申请第12/163993号。在一个实施例中，例如驱 动部分28的驱动部分能够向臂组件提供Z轴运动。例如，在一个示范性实施例中，定子段 40S1-40S4可定位在具有可控的Z方向行进的可活动的平台或载体(未显示)上。应认识 至IJ，可活动的平台或载体可由任何合适的电动机驱动，该电动机包括但不限于无轴承的致 动器和螺丝驱动器。合适的密封可设在可活动的平台和运输室的内部容积之间，以阻止可 能由Z-驱动器产生的颗粒进入运输室。在备选的实施例中，电动机转子和/或定子可配置 成产生有源的Z方向力，实现转子40R、42R相对于定子40S1-40S4的Z方向行进，进而实现 运输室14T1、14T2内的臂组件24、26的Z方向行进。在其他备选的实施例中，驱动部分28 不能产生臂组件的Z方向行进。再参见图6，定子段140S1 (类似于段40S1-40S2，参见图3B)可具有抗齿槽特征 140G1、140G2、142G1、142G2。在示范性实施例中，组合的定子段140S1可具有用于电动机 140、142的转子140R、142R的抗齿槽特征。每个定子段(例如段40S1-40S4)的抗齿槽特 征以及一些或所有定子段40S1-40S4中的抗齿槽特征(类似于特征140G1、140G2、142G1、 142G2)的组合效果或收集效果可将电动机齿滞消除或减小至预定的水平，从而在电动机运 行期间，至少沿着Z方向、径向(r)及旋转方向(绕着T1、T2轴线)而将基片与运输装置准 确地定位。电动机定子段上的抗齿槽特征的合适示例可见于先前通过引用而结合的美国专 利申请第12/163993号。例如参见图3C，在示范性实施例中，电动机40、42可具有合适的位置反馈系统50、 52。位置反馈系统50、52不侵犯运输室中的隔离环境，如以下所述。用于电动机40、42的 位置反馈系统50、52通常可类似于图6中所示的位置反馈系统150、152。用于每个转子的 反馈系统150、152彼此类似，且通常接合传感器150Α、150G、1501及标弓丨，以确定转子140R、 142R的绝对的和递增的旋转位置以及径向位置或中心位置。在备选的实施例中，传感器 150A、150G、150I可为绝对的和递增的旋转位置以及径向位置中的任何一个或多个提供反 馈信息。例如，传感器150A、150G、150I可以是电磁传感器，例如霍尔效应传感器，或者可以 是光学传感器或其他光束传感器。在其他备选的实施例中，传感器可以为任何合适的传感 器，包括但不限于感应传感器。传感器可位于室之外，如以下进一步所述。在备选的实施例中，传感器可相对于电动机40、42而位于任何合适的位置。在示范性实施例中，转子背衬可 具有标引或位于其上的任何其他合适的位置标度，其被相应的传感器150A、150G、150I感 测或读取，以确定如上所述的转子位置。在图6所示的示例中，传感器150A(出于示例的目 的，显示了八个传感器，但是可多于或少于八个传感器)可感测转子背衬上的相应的标引 轨道，该标引轨道被标定成确定转子140R的绝对的旋转位置。传感器1501 (例如显示了两 个传感器，但是可多于或少于两个传感器)可感测转子背衬上的相应的标引轨道，该标引 轨道被标定成确定转子的递增的旋转位置，传感器150G(例如显示了一个传感器，但是可 多于一个传感器)可感测转子背衬上的相应的标引轨道，以感测径向的间隙位置，进而感 测转子140R的中心位置。在备选的实施例中，可以为更多或更少的传感器(例如，来自一个 或多个传感器的传感器数据可用于确定多于一个的转子位置参数)。应认识到，虽然以上描 述了三种不同的标引轨道，但在备选的实施例中，可以多于或少于三个标引轨道，该标引轨 道具有任何合适的结构，以感测电动机的任何数量的反馈特性，例如以上所述的反馈特性。 位置反馈传感器系统50、52的合适示例，可见于2008年6月27日提交的美国专利申请第 12/163984号，其通过引用而整体地结合到本文中。类似于传感器150A、1501、150G的传感 器可相对于转子而如期望地定位在预定的位置，如以下进一步所述。如前所述，在示范性实施例中，驱动部分28可集成于运输室的底壁14B (例如，参见图2B)。如图2B-2C所示，底壁的下表面或外表面基本上不受驱动部分的构件的影响。也 如前所述，电动机定子40S、42S和位置反馈系统50、52 (仍参见图3C)可与运输室14T1的 内部环境隔离。而且，从图2B可认识到，隔离的电动机定子40S、42S和位置反馈系统50、 52(以及隔离环境内的转子40R、42R)可至少部分地位于运输室的特定高度的一半内。如图 2B和5最佳地所示，定子和反馈系统传感器可位于隔离外壳或罩14H，该隔离外壳或罩安装 到室的底壁14B上，并具有将罩14H内的定子和反馈传感器与运输室14T1、14T2的内部隔 离的壁14P。罩14H可配置有用于各个电动机的定子的容纳通道以及用于转子的沟槽(例 如，如图3B、4B所示)，使得定子和转子至少部分地嵌入出于描述的目的而被称为运输室的 外周壁的部件。在示范性实施例中，罩14H可被分成罩段14H1_14H4(参见图3A及图5)，通常与定 子段40S1-40S4 —致。在示范性实施例中，罩段可彼此类似，以下将具体参照罩段14H1来 进一步进行描述。罩段14H1可为整体式结构，可由任何合适的材料制成(例如铝或其他非 磁性材料)。在备选的实施例中，罩段14H1可以不具有整体式结构。罩段14H1可成形为形 成凸缘14F(例如，参见图5)或坐落面，该坐落面用于坐落在运输室的壁(例如底壁14B) 以关闭和隔离运输室的内部。在图5所示的示范性实施例中，罩段14H1可具有用于电动机 定子段的凹口部分14S0、14SI(例如，定子段40S1-40S4可位于罩段的凹口 14S0之内)。图 5显示了罩段14H1的一部分，其显示了定子段140S1 (类似于定子段40S1)位于罩的凹口 14S0之内。如前所述，罩的壁14P位于定子和运输室的内部之间，因此可将定子与运输室内 的隔离环境相隔离。在示范性实施例中，罩段还可包括所示的凹口部分14FI、14FN、14F0，以用于传感 器，例如反馈系统50、52的传感器150A、105G、150I(仍参见图6，其显示了反馈系统150、 152的传感器部分分别位于罩段的相应的凹口部分14FN、14F0之内)。因此，在示范性实施 例中，罩段14H的凹口部分将位于其中的定子段和位置反馈系统定位在运输室的底壁内，但与运输室的环境隔离(通过位于其间的罩段的壁)。传感器150A、150I、105G能够感测通 过罩壁14P的标引。在具有光学传感器的实施例中，罩壁14P可包括透明的部分或窗口，以 允许在保持室内部和传感器之间的隔离时传感器进行读取。定子段14S1-14S4和反馈系统 传感器50、52可安装到其各自的罩段14H1-14H4上，使得被覆盖的定子段及相应的反馈系 统部可作为单元模块而安装到运输室或从运输室移除。在备选的实施例中，每个定子罩、定 子及反馈系统传感器均可独立地安装或移除。如图2C最佳地所示，在示范性实施例中，运输室14T1、14T2的底壁14B可具有开 口 200，以用于允许将罩段14H1-14H4安装到底壁14B上。在备选的实施例中，开口可位于 运输室14T1、14T2的任何合适的一侧，以用于安装罩段14H1-14H4。仍如图2C所示，真空抽 气(和/或排气)系统100可安装到底壁14B的外表面上。抽气系统100可通过如前所述 地限定在驱动部分之内的入口空间44而进入运输室内部。现参见图4A-4C，显示了根据另一示范性实施例的运输装置22。如前所述，装置22 可具有对称的臂布置，在所示的示例中，该臂布置具备大致面对相同方向的两个对称的臂 组件22U、22L。臂组件22U、22L可联接到具备电动机的驱动部分128，该电动机被布置成产 生例如图5所示的四个旋转轴线(T1、T2、T3、T4)。在一个示范性实施例中，可独立地控制 臂组件22U、22L的运动。在另一示范性实施例中，能够以任何合适的方式控制臂组件的运 动。臂组件22U、22L彼此大致类似，并类似于前述的臂组件24、26。在备选的实施例中，臂 组件22U、22L也可以彼此不类似。在该示例中，将类似的特征类似地标号。下部的臂组件 22L可具有对称的臂连杆130LR、130LL，该臂连杆将各自的末端执行器124E连接至基部件 134、136。基部件134、136可以为驱动部分128的耦合电动机140、142，该电动机产生旋转 轴线Tl、T2(用于壁22L的T向和R向的运动)。电动机140、142、144、146可彼此大致类 似，类似于如前所述的驱动部分28的电动机。在备选的实施例中，电动机140、142、144、146 的一个或多个可以彼此不同。上部的臂组件可具有对称的臂连杆130UL、130UR，该臂组件将 各自的末端执行器124Ε联接至基臂122L、122R。如图4Α-4Β最佳地所示，基臂连杆122L、 122R可分别固定到基部件164、166上，该基部件继而分别联接到产生旋转轴线Τ3、Τ4(用 于臂22U的T和R运动)的相应的电动机144、146。基部件164、166通常可类似于基部件 34、36，但可具有通常向上延伸以与基臂122R、122L匹配的延伸部件164Ε、166Ε。在示范性 实施例中，延伸部件164Ε、166Ε可共轴，并可如期望地从电动机转子垂直地偏移，以在驱动 部分128内保持类似于图3Β所示的入口区域44的大致开放的区域。应认识到，基部件可 包括转子144R、146R，参见图4Β。在一个实施例中，转子144R、146R能够以大致相同的方式 安装到基部件164、166上，并大致类似于以上参照图6所描述的转子140R、142R。臂组件 22U、22L和驱动部分128能够以与前述的臂组件24、26和驱动部分28的方式大致类似的方 式匹配于例如运输室的底壁14B。在备选的实施例中，臂组件22U、22L和驱动部分128能够 以任何合适的方式匹配于运输室的任何合适的壁。现参照图7A-7C，显示了根据另一示范性实施例的加工装置的运输室部分714T的俯视立体示意图、侧视剖面图以及仰视立体图。运输室714T1、714T2中的运输装置722、723 可包括双对称的臂组件724、726和对称的臂组件722U、722L。在示范性实施例中，臂组件 724、726、722U、722L可由其各自的驱动部分728、728U、728L提供动力，驱动部分可结合到 运输室的外周侧壁714W上。在一个实施例中，驱动部分728、728U、728L可嵌入壁714W内，或安装在壁714W的表面，可与运输室714T1、714T2的内部环境隔离或不隔离。如图8Α、8Β最佳地所示，显示了双对称的运输装置723。除非特别说明，运输装置723可大致类似于以上例如参照图2A-2C所述的运输装置20。在该示范性实施例中，臂组 件724、726的臂连杆730L、730R可分别枢轴转动地联接到基部件734、736上。基部件734、 736可联接到驱动部分728的电动机的转子箍740R、742R(用于产生T1、T2旋转)。在示范 性实施例中，转子箍740R、742R可使得臂连杆730L、730R的枢轴732L、732R的外部延伸，使 得基部件734、736可悬挂于转子箍的内面。在备选的实施例中，基部件可悬挂于转子箍的 任何合适的面(例如，包括顶面、底面及外面)。在示范性实施例中，转子箍740R、742R可布 置成通常堆叠的结构。在备选的实施例中，转子箍相对于彼此可具有任何合适的空间关系。 应认识到，臂组件724、726的臂连杆的双对称的几何形状实现了臂组件之间的R运动的通 常的分离(例如，从待发或缩回位置，例如由旋转轴线T1、T2的反向旋转实现的一个臂组件 的延伸和缩回(R运动)，在待发位置引起其他的臂组件的小的相应的R运动)。在备选的 实施例中，两个臂724、726的每个臂连杆可独立地联接至其各自的电动机，因而每个臂组 件可沿R方向单独地移动。在示范性实施例中，转子箍740R、742R可大致类似于前述的转子40R、42R。现参见 图9，更详细地显示了代表性的转子箍742R的横截面。转子箍742R通常可包括安装到铁 磁背衬环742B处的永磁体742M以及被标定成用于确定转子位置的传感器标引轨道742T。 如图9所示，在示范性实施例中，永磁体742M和传感器轨道742T定位成面向外。在备选的 实施例中，永磁体和传感器轨道可相对于转子箍面向任何合适的方向。在示范性实施例中， 转子箍742R可为一个组件，该组件具备安装在箍支撑部分742H1上的转子背衬742B和永 磁体742M以及安装在箍支撑部分742H2上的传感器轨道742T，上述部件使用合适的紧固件 连接形成电动机箍742R。在备选的实施例中，箍支撑部分742H1、742H2能够以任何合适的 方式接合，这些方式包括但不限于任何合适的机械紧固或化学紧固。在示范性实施例中，箍 支撑部分742H1、742H2可由例如非磁性金属的任何合适的材料形成，该非磁性金属包括但 不限于例如铝合金。如图10最佳地所示，电动机定子740S、742S可布置在任何合适数量的 定子段中(出于示例的目的显示了六个)，该定子段类似于前述(图5和6)的定子段，并 可容纳在结合例如位置反馈系统的传感器的隔离外壳714HU、714HL中。应注意的是，图10 中，仅出于示范的目的，显示了两组电动机定子710S1、740S2。从图10应认识到，运输装置 可具有任何合适数量的例如布置在通常堆叠的结构中的定子组。图11显示了运输装置722，该运输装置具有与驱动部分728U、728L的各个转子箍 740R、742R、744R、746R(用于产生旋转轴线T1、T2、T3、T4)连接的对称的臂组件722U、722L。 从图9-10可认识到，在示范性实施例中，驱动部分728L、728U可布置有位于运输臂组件 722L、722U之下的电动机740、742以及位于运输臂组件之上的电动机744、746，使得当臂延 伸或缩回时，其穿过电动机740、742和744、746之间。上部驱动部分728U的电动机744、 746 (T3、T4旋转)向上部臂组件722U提供动力，下部驱动部分728L的电动机740、742 (Tl、 Τ2旋转)可向下部臂组件722L提供动力。上部转子箍744R、746R也可由图10所示的定子 740S驱动。每个定子740S可以是模块化单元，能够单独地安装到或从运输室714T拆卸。 在备选的实施例中，多个定子可彼此接合或具有整体式结构，例如，布置成彼此相邻的定子 (例如彼此堆叠，比如定子740S1、740S2)可接合，因而其可作为单元而被拆卸或安装。从图7A和7C可认识到，入口槽714SU、714SL可形成到外周室壁714W的上表面和/或下表面 上，以用于安装针对上部和下部驱动部分728U、728L的各个定子外壳714HU、714HL。现参见图12A-12C，显示了根据另一示范性实施例的运输室部分1114T的俯视立 体图、侧视剖面图以及仰视立体图。除非特别说明，运输室部分1114T可类 似于运输室部分 714T。部分111奵可包括具备臂组件1122队11221^和1124、1126的运输装置。臂组件1124、 1126大致类似于先前所述的图7A中所示的臂组件724、726，且联接到大致类似于先前所述 的驱动部分728的驱动部分1128。在示范性实施例中，臂组件1122U、1122L通常类似于臂 组件722U、722L且连接到具有电动机1240、1242、1244、1246的驱动部分1228，以产生绕着 轴T1、T2、T3、T4的旋转(也参见图12D)。如图13Β和14最佳地所示，驱动部分1228的电动机1240、1242、1244、1246处于 通常堆叠的结构，并全部位于臂组件1122U、1122L的一侧(例如，下方)。在示范性实施例 中，臂组件1122U可通过如图13Α最佳地所示的铰接桥部分1123而联接到转子箍1244R、 1246R上。如图13Β所示，铰接桥部分1123包括第一桥部分1131和第二桥部分1130。第一 桥部分包括通过轴1131S而接合在一起的上部基部件延伸件1132EU和下部基部件延伸件 1132EL。第二基部件部分1130包括通过轴1130S而接合在一起的上部基部件延伸件1134EU 和下部基部件延伸件1134EL。如图13Α、13Β可见，该桥部分1131、1130通过各自的轴部分 1131SU130S而可枢轴转动地彼此接合。在该示例中，轴部分1131S、1130S同心地定位，使 得轴1131S穿过轴1130S或位于轴1130S之内。铰接桥部分1131、1130可彼此接合，使得 其轴向地相对于彼此而固定(轴的相对运动)。该示例中，臂组件1122L可联接到转子箍1240R、1242R上，同时臂组件1122U联接 到转子箍1244R、1246R上。例如，臂1122L的臂连杆1122LR可在一端可枢轴转动地联接到 各自的末端执行器24Ε，并在另一相对端可枢轴转动地联接到转子1240R的基部件1132BU 上。臂1122L的另一臂连杆1122LL可在一端可枢轴转动地联接到各自的末端执行器24Ε， 并在另一相对端可枢轴转动地联接到转子1242R的基部件1134BU上。臂1122U的臂连杆 1122UR可在一端可枢轴转动地联接到各自的末端执行器，并在另一相对端可枢轴转动地联 接到桥部分1123的基部件延伸件1132EU。臂1122U的另一臂连杆1122UL在一端可枢轴转 动地联接到各自的末端执行器，并在另一端可枢轴转动地联接到桥部分1130的基部件延 伸件1134EU。在备选的实施例中，臂组件能够以任何其他所需的方式连接到转子箍上。该 示例中，末端执行器在转子箍之上延伸和缩回，但在备选的实施例中，运输臂可配置成末端 执行器在延伸和缩回的期间，在转子箍之下经过。现参看图14，提供了定子1240S、1242S、1244S、1246S，并可将其布置在与上述的 定子段(参照例如图5和6)类似的定子段(出于示例的目的，显示了六个)中，以用于驱 动各自的转子 1240R、1242R、1244R、1246R。定子 1240S、1242S、1244S、1246S 可彼此大致类 似，并类似于以上参照例如图10所述的定子。如图10所示，定子能够以与上述方式类似的 方式被容纳在结合例如位置反馈系统的传感器的隔离外壳1414中。从图12C中可认识到， 入口槽1414S可形成到外周室壁的下表面，以用于安装各自的定子外壳1414，其方式大致 类似于以上参照例如图7C所述的方式。 现参见图15，显示了运输装置2004R和加工工具2002的另一示范性实施例。工 具2002可具有加工模块2006、2006A及前端模块(FEM) 2004，该前端模块具备所需的受控制的环境(例如，惰性气体或非常洁净的空气)。一个或多个加工模块2006可连接到FEM上，使得FEM运输机械手2004R可在加工模块中拾取或放置基片。加工模块2006、2006A (虽 然在备选的实施例中显示了一个加工模块，但一叠加工模块可接合到FEM或一个或多个传 送模块的各个)可与FEM 2004共享一个公共的环境。FEM 2004可具有加载接口或加载端 口，从而以与上述方式类似的集成方式将载体2100加载并对接到工具上。示范性实施例中 的FEM运输机械手2004R显示为SCARA机械手，可通过一个洁净的通道而在载体2100和一 个或多个加工模块2006之间直接拾取/放置基片，该通道大致类似于2008年5月19日提 交的美国专利申请第12/123391号，该专利的公开通过引用而整体地结合到本文中。仅作为示范的目的，SCARA机械手2004可具有串联的彼此旋转连接的上臂2004RU、前臂2004RF 和末端执行器2004RE，以及嵌套式驱动电动机，该电动机大致类似于以上仅出于示范的目 的而参见图4A和13A所显示的电动机。机械手2004R的上臂2004RU可连接到跨越嵌套 式驱动器的一个转子的桥接件上或与其集成。在一个示范性实施例中，前臂2004RF和末端 执行器2004RE可从动于上臂。在备选的实施例中，前臂2004RF可由其中一个嵌套式电动 机驱动，相应地，前臂2004RF可为从动，从而当臂延伸时，前臂2004RE与延伸路径大致纵向 地对准。在另一备选的实施例中，驱动器可具有三个嵌套式电动机，使得机械手2004R的上臂、前臂以及末端执行器的各个由将机械手臂连杆连接至各个嵌套式电动机的各个电动机 的任何合适的传动部件独立地驱动。机械手2004R可配置成具备多个臂，如以上参照图4A 和13A所述，使得多个臂提供彼此垂直地堆叠的多个运输路径。堆叠的运输路径允许将基 片装入加工模块和/或载体，并从中移除，或通过通道2005运输，同时沿相同或不同的运输 方向越过彼此。垂直地堆叠的运输路径可沿着通道2005而从运输模块2008行进至运输模 块2008A，和/或从运输模块行进至各自的加工模块2006和载体2100。在图15所示的示范性实施例中，被限定成穿过FEM接口 2010而进入载体内部并延伸进入加工模块2006、2006A的洁净通道2005可在长度或结构上进行变化(例如，以类 似于下列专利的方法2006年5月26日提交的美国专利第11/422511号；2003年7月22日 提交的美国专利第10/624987号；2004年10月9日提交的美国专利第10/962787号；2006 年5月26日提交的美国专利第11/442509号；以及2006年5月26日提交的美国专利第 11/441711号，上述专利通过引用而整体地结合到本文中)。在示范性实施例中，传送模块 2008可与FEM连接，使得FEM机械手可将基片拾取或放置到传送模块中。传送模块的位置 仅为示范性的。应认识到，洁净通道可继续从FEM延伸穿过传送模块。更多或更少的传送模 块2008、2008A可彼此连接(例如串联，例如图15中的虚线中所示)，以如期望地改变洁净 通道的长度和结构。加工模块(类似于模块2006、2006A)可接合到洁净通道上，使得基片 可通过洁净通道而被传送至例如载体2010和任何所需的加工模块，或从其传送出，或者任 何所需的加工模块之间。在所示的示范性实施例中，运输模块2008可在模块之内具有运输 机械手，例如将基片运输至加工模块2006A或将其从其运输出，或运输至邻近的传送模块/ 室2006A。在备选的实施例中，运输模块可不具有内部机械手，基片由洁净通道2005的邻近 模块之内的机械手放置/拾取。在另一示范性实施例中，传送模块可具有任何合适的长度， 并包括任何合适的基片传送装置。在图15所示的示范性实施例中，工具2002中的洁净通道的传送模块2008、2008A可共享FEM的共同的受控制的环境(例如惰性气体、非常洁净的空气)。在备选的实施例中，其中一个或多个运输模块2008、2008A可配置成真空进样室，使得洁净通道的不同部分 可保持不同的环境(例如，被限定在FEM内的洁净通道部分可具有N2环境，模块2008A内 的部分可具有真空环境，传送模块2008可为真空进样室，能够在FEM中的惰性气体环境和 模块2008A中的真空环境之间使基片循环)。应认识到，除了能够与FEM对接之外，载体可 直接与加工工具的真空部分对接，如美国专利申请第12/123391所述。参见图16，显示了根据另一示范性实施例的另一加工工具4002的平面图。图16 所示的示范性实施例中的工具4002可具有加工模块4006、4006A和具备例如真空环境(或 在备选的实施例中，为惰性气体或非常洁净的干燥空气)的FEM 4004。其中的一个或多个 加工模块4006 (例如垂直地堆叠或偏移的布置)可与真空FEM连接，使得真空运输机械手 4004R可在图16所示的类似于图15所示的实施例的加工模块中拾取/放置基片。加工模 块4006、4006A可与加载部分4004共享共同的加工真空。FEM 4004可具有加载接口或加载 端口，从而以与上述方式类似的集成方式将载体4100加载并对接到工具上。示范性实施例 中的真空运输机械手4004R可大致类似于以上参照图15所述的机械手，并配置成通过洁净 通道而在载体4100和其中一个或多个加工模块4006、4006A之间直接地拾取/放置基片， 该通道大致类似于先前通过引用而结合的美国专利第12/123391号所述的通道。图16所 示的示范性实施例中，被限定成穿过FEM接口 4010、4012而进入载体内部并延伸进入加工 模块4006、4006A的洁净通道4005可在长度和结构上进行变化。应当理解，本文中所述的示范性实施例可单独使用，也可任意地组合使用。还应理解的是，前面的描述仅显示了实施例。在不偏离实施例的情况下，本领域的技术人员可想出 各种变化和修改。因此，本实施例旨在包括所有落入所附的权利要求的范围内的变化、修改 及变型。
权利要求
一种基片运输装置，包括具有内表面的外周壁，限定了能够保持隔离环境的基片运输室；至少一个大致环形的电动机，具有至少一个定子模块和至少一个转子，该定子模块位于所述外周壁内，位于所述外周壁的内表面和邻近的外表面之间，该转子大致不接触地悬挂在所述运输室内，使得被所述环形的电动机包围的外周壁的表面配置成将预定的设备附接到其上；以及至少一个基片运输臂，连接于所述至少一个转子，并具有至少一个配置成保持至少一个基片的末端执行器。
2.根据权利要求1所述的基片运输装置，其特征在于，所述至少一个转子大致不接触 地磁性地悬挂在运输室内。
3.根据权利要求1所述的基片运输装置，其特征在于，所述预定的设备是配置成控制 所述运输室内的真空的流体流设备。
4.根据权利要求3所述的基片运输装置，其特征在于，所述大致环形的电动机围绕所 述流体流设备；
5.根据权利要求1所述的基片运输装置，其特征在于，所述至少一个定子模块位于所 述外周壁的侧部或底部内。
6.根据权利要求1所述的基片运输装置，其特征在于，所述流体流设备包括真空系统。
7.根据权利要求1所述的基片运输装置，其特征在于，所述至少一个基片运输臂包括 可沿大致相对的方向延伸的两个运输臂。
8.根据权利要求1所述的基片运输装置，其特征在于，所述至少一个基片运输臂包括 可沿大致相同的方向延伸的两个运输臂。
9.根据权利要求1所述的基片运输装置，其特征在于，所述至少一个基片传送臂包括 两个可独立旋转的运输臂，每个运输臂可绕着所述至少一个转子的相应的一个的旋转中心 旋转。
10.根据权利要求1所述的基片运输装置，其特征在于，所述至少一个定子模块可移除 地联接于所述外周壁。
11.根据权利要求1所述的基片运输装置，其特征在于，还包括位置反馈系统，该位置 反馈系统包括位于所述至少一个定子模块内的至少一个传感器以及位于所述至少一个转 子上的传感器轨道。
12.—种基片运输装置，包括形成室的框架；多个定子模块组，至少部分地嵌入所述室的外周壁，每个定子模块组形成相应的电动 机的一部分，其中，所述多个定子模块组的各个与所述多个定子模块组中的其他不同的定 子模块组径向地隔开；多个转子，每个转子由所述定子模块组的相应的一个大致不接触地支撑；以及至少一个末端执行器，连接于所述多个定子的相应的一个，所述至少一个末端执行器 的各个配置成支撑基片，其中，所述定子模块组的各个和相应的转子配置成实现所述至少一个末端执行器的相 应的一个的延伸和缩回。
13.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于，所述多个定子模块组的各个 和所述多个转子的相应的一个形成大致环形的电动机。
14.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于，所述多个定子模块组至少部 分地嵌入所述室的侧壁。
15.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于，所述多个定子模块组至少部 分地嵌入所述室的底壁。
16.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于，所述多个定子模块组的各个 包括至少一个绕组集和外罩，该外罩配置成将所述至少一个绕组集与所述室的环境隔离。
17.根据权利要求16所述的基片运输装置，其特征在于，所述至少一个绕组集的各个 与所述至少一个绕组集的其他不同的绕组集周向地隔开。
18.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于，还包括至少一个臂连杆，该臂 连杆在一端可旋转地连接到所述多个转子的相应的一个，在另一相对端可旋转地联接到所 述至少一个末端执行器。
19.根据权利要求18所述的基片运输装置，其特征在于，所述至少一个臂连杆包括铰 接桥。
20.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于，所述多个转子包括至少两个 转子，该两个转子具有通常堆叠的布置，所述至少一个末端执行器配置成越过所述至少两 个转子之间的间隔。
21.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于，所述多个转子包括至少两个 转子，该两个转子具有通常堆叠的布置，所述至少一个末端执行器配置成经过所述至少两 个转子之上或之下。
22.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于，所述多个转子包括至少两个 同心地布置的转子。
23.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于，所述多个转子和所述多个定 子模块组配置成不阻碍所述框架和室的底部。
24.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于，还包括位置反馈系统，该位置 反馈系统包括位于所述多个定子模块组内的至少一个传感器以及位于所述多个转子上的 至少一个传感器轨道。
25.一种基片加工装置，包括框架，具有至少一个能够保持预定的环境的可隔离的室；基片运输装置，至少部分地位于所述至少一个可隔离的室内，所述基片运输装置配置 成运输至少一个基片，所述基片运输装置，包括至少两个嵌套式定子模块，可移除地嵌入所述至少一个可隔离的室的外周壁中；至少两个转子，位于所述至少一个可隔离的室内，所述至少两个转子的各个由所述至 少一个定子的相应的一个大致不接触地支撑，形成至少两个嵌套式电动机，使得所述至少 两个嵌套式电动机的一个被所述至少两个嵌套式电动机的不同的另一个围绕；以及至少一个运输臂，联接到所述至少两个转子上，所述至少一个运输臂具有至少一个用 于支撑基片的末端执行器，其中，所述至少两个嵌套式电动机为所述至少一个运输臂至少提供两自由度的运动。
26.根据权利要求25所述的基片加工装置，其特征在于，还包括真空/排气系统，该真 空/排气系统通过所述至少一个可隔离的室的不被阻碍的底部而联接到所述至少一个可 隔离的室。
27.根据权利要求25所述的基片加工装置，其特征在于，所述至少两个嵌套式定子模 块配置成应用相应的转子的转矩和无轴承的力，实现所述至少一个运输臂的运动。
28.根据权利要求25所述的基片加工装置，其特征在于，所述至少一个可隔离的室包 括位于所述至少一个可隔离的室的至少一侧的至少一个开口，用于将所述至少一个定子模 块插入所述外周壁。
29.根据权利要求25所述的基片加工装置，其特征在于，所述至少一个可隔离的室包 括布置成串联结构的至少两个可隔离的室。
30.根据权利要求29所述的基片加工装置，其特征在于，所述至少两个可隔离的室的 一个包括对称的基片运输装置，所述至少两个可隔离的室的另一个包括双对称的基片运输直o
31. 一种基片运输装置，包括形成基片运输室的框架；至少一个电动机，包括一组定子模块，该组定子模块周向地分布在所述基片运输室的 外周壁，所述定子模块的各个可独立安装到所述外周壁上，所述至少一个电动机还包括至 少一个与所述定子模块的各个一起运行的公共的环形转子上；以及至少一个末端执行器，连接到所述至少一个公共的环形转子上，所述至少一个末端执 行器的各个配置成支撑基片，其中，该组定子模块和所述至少一个公共的环形转子配置成实现所述至少一个末端执 行器的至少一个自由度的电动机运动。
全文摘要
一种基片运输装置，包括具有内表面的外周壁，限定了能够保持隔离环境的基片运输室；至少一个大致环形的电动机，具有至少一个定子模块和至少一个转子，该定子模块位于外周壁中，位于外周壁的内表面和邻近的外表面之间，该转子大致不接触地悬挂在运输室内，使得被环形的电动机包围的外周壁的表面配置成将预定的设备附接到其上；以及至少一个基片运输臂，连接于至少一个转子，并具有至少一个配置成保持至少一个基片的末端执行器。
文档编号B65G1/00GK101801817SQ200880108254
公开日2010年8月11日 申请日期2008年7月17日 优先权日2007年7月17日
发明者A·库尔皮谢夫, C·霍夫梅斯特 申请人:布鲁克斯自动化公司