空间立体式在线搬送系统的制作方法

文档序号:4234145阅读:160来源:国知局
专利名称:空间立体式在线搬送系统的制作方法
技术领域
本发明涉及液晶显示器技术领域,尤其涉及一种空间立体式在线(Inline)搬送系统。
背景技术
在液晶面板的制造过程中,在线hline设备内部一般采用在地面配置机械手搬送的方式进行玻璃基板的搬送与装载工作。随着液晶面板逐渐增大,对机械手的体积和速度提出了更高的要求。在设计组建在线^iline设备时,必须要考虑到机械手的占地面积、旋转半径、走形轴、冲程以及搬送能力等。比如一条普通G8.50DF(0ne Drop Filling,液晶滴入制程))线,因其往往需要在地面配置8 12支机械手,使得其线程通常达到120m左右。由此,现有的在地面配置机械手搬送的方式占地,此外,现有的在地面配置的机械手搬送玻璃基板时,还会受到往返时间的影响,搬送效率不高。

发明内容
本发明的主要目的在于提供一种空间立体式在线搬送系统,旨在减少基板搬送系统的占地面积,提高搬送效率。为了达到上述目的,本发明提出一种空间立体式在线搬送系统,包括带有导轨的天棚,设置在所述天棚底面、用于暂存基板的若干卡匣,位于所述卡匣下方、用于处理基板的若干处理设备,以及用于在所述卡匣与所述处理设备之间搬送基板的空中搬送装置,所述空中搬送装置与所述导轨滑动连接。优选地,所述空中搬送装置包括一机械抓取器、一伸缩机构以及控制所述机械抓取器和伸缩机构的控制器;所述机械抓取器具有中心部以及由所述中心部向外延伸的若干带有手爪的机械手臂;所述机械抓取器通过所述中心部与所述伸缩机构的底端可旋转连接,所述伸缩机构的顶端与所述天棚的导轨滑动连接。优选地,所述导轨在所述天棚的底面呈网状设置。优选地,所述伸缩机构为伸缩轴,所述伸缩轴与所述天棚底面垂直。优选地,所述机械抓取器包括四个所述机械手臂,所述四个机械手臂沿所述中心部的边缘对称分布,所述处理设备为四个,每个所述处理设备对应一个所述机械手臂。优选地,所述处理设备具有供所述机械手臂的手爪拾取基板的开口。优选地,所述机械抓取器旋转角度为士 180°。优选地,所述控制器为伺服电机控制器。优选地,该系统还包括风机过滤单元,所述风机过滤单元设置在所述天棚上,且位于所述卡匣旁侧。本发明提出的一种空间立体式在线搬送系统,采用立体式搬送方式,将原本位于地面的机械手臂放置于高空,减少搬送系统的占地面积,将基板产线制程的处理设备集中放置,极大提高空间利用率,同时机械手臂在空中搬送,避免了设备间的阻碍,极大的提高搬送效率;此外,空中搬送装置靠近FFU,使得基板洁净度更高,可提高产品合格率。


图1是本发明空间立体式在线搬送系统较佳实施例的透视结构示意图。本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施例方式以下将结合附图及实施例,对实现发明目的的技术方案作详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。本发明实施例解决方案主要是采用立体式搬送方式,将原本位于地面的机械手臂设置于高空,将产线制程的处理设备集中放置,从而减少搬送系统的占地面积,提高空间利用率,由于机械手臂在空中搬送基板,避免了设备间的阻碍,可极大的提高搬送效率。请参照图1所示,图1为本发明空间立体式在线搬送系统较佳实施例的透视结构示意图。本实施例空间立体式在线搬送系统,包括带有导轨2的天棚1,设置在天棚1底面、用于暂存基板的若干卡匣3,位于卡匣3下方、用于处理基板的若干处理设备4,以及用于在卡匣3与处理设备4之间搬送基板的可伸缩的空中搬送装置6。其中,该空中搬送装置 6与导轨2滑动连接,可以在天棚1的底面上,沿着相应的导轨2移动。导轨2固定或悬挂在天棚1的底面,且在天棚1的底面呈网状设置。空中搬送装置6沿导轨2的移动方向如图1中C处箭头所示的方向,可前后移动和左右移动。具体地,本实施例中,空中搬送装置6包括一机械抓取器62、一伸缩机构61以及控制机械抓取器62和伸缩机构61的控制器(图中未示出)。机械抓取器62具有中心部621 以及由该中心部621向外延伸的若干带有手爪(图中未示出)的机械手臂622,机械抓取器 62通过中心部621与伸缩机构61的底端可旋转连接,伸缩机构61的顶端与天棚1上的导轨2滑动连接。本实施例中,伸缩机构61为伸缩轴,该伸缩轴与天棚1的底面垂直,可沿图中Z处箭头所示方向上下伸缩。伸缩轴的顶端与天棚1底面的导轨2滑动连接,由此,使得伸缩轴可以沿着图中C处箭头方向移动至相应的卡匣3。由于伸缩轴的底端与机械抓取器62的中心部621可旋转连接,由此使得机械抓取器62在上述控制器的控制下,可在水平面上相对伸缩轴旋转,其旋转角度可以设置为士 180°,其旋转方向如图1中A、B所示。上述伸缩轴的底端与机械抓取器62的中心部621的旋转连接方式,可以采用轴承连接方式或其它旋转结构。本实施例中,机械抓取器62包括四个机械手臂622,该四个机械手臂622沿机械抓取器62的中心部621的边缘对称分布。相应的处理设备4为四个,每个处理设备4对应一个机械手臂622,处理设备4上设有供机械手臂622的手爪拾取基板的开口 41。每个机械手臂622的末端均设置有类似人手的手爪,用于从与该手爪对应的处理设备4的开口 41中拾取基板。
当机械手臂622的手爪拾取到基板后,由伸缩轴带动机械手臂622,将基板搬送至天棚1底面相应的卡匣3内。需要说明的是,根据制程需要,处理设备4可以设置多个,用于缓存基板的卡匣3 也可以为多个。根据基板处理制程的不同,可以对处理设备4及卡匣3进行分类,一个、两个或多个处理设备4可以用于处理同一制程的基板,一个、两个或多个卡匣3可以用于缓存同一制程处理后的基板。当处理设备4完成对基板的处理,需要将基板送至卡匣3中缓存时,相应的处理设备4中的基板则通过空中搬送装置6被搬送至相应的卡匣3中进行缓存。本实施例中,四个机械手臂622可以同时从四个对应的处理设备4中拾取基板,然后将基板通过伸缩轴放置于对应的卡匣3中。此外,上述处理设备4可以放置于地面或机台上,处理设备4与机械手臂622可以一一对应,也可以不一一对应,处理设备4在地面或机台上的放置方位可以对称分布,也可以按任意角度放置。 本实施例中用于控制机械抓取器62和伸缩机构61的控制器可以为伺服电机控制
ο此外,作为一种较佳实施方式,可以在卡匣3的旁侧设置风机过滤单元(FFU,Fan Filter Units)(图中未示出),由于风机过滤单元具有净化空气的功能,当空中搬送装置6 将基板从处理设备4搬送至卡匣3时,将有利于提高基板在搬送过程中的洁净度,进一步可提高基板产品的合格率。在搬送基板时,根据产线制程需要,空中搬送装置6可以实现将处理设备4中的基板搬送至相应的卡匣3中进行缓存,也可以实现从相应的卡匣3中拾取基板搬送至对应的处理设备4进行处理。具体地,空中搬送装置6将处理设备4中的基板搬送至相应的卡匣3中进行缓存的搬送过程如下在从处理设备4中拾取基板时,空中搬送装置6由控制器控制伸缩轴,伸缩轴通过导轨2沿图1中C处箭头方向从初始位置移动(可以左右移动和前后移动)至预设的拾取位置上方,然后沿着图1中Z处所示的方向向下移动,将机械抓取器62下降至拾取位置,机械手臂622由控制器控制,即可从相应的处理设备4中拾取基板。在将拾取的基板搬送至位于空间上层的卡匣3进行缓存时,由控制器控制伸缩轴向上收缩,同时,伸缩轴沿预定的导轨2移动至相应的卡匣3位置,然后机械手臂622将拾取的基板放置于该卡匣3中,从而完成基板从处理设备4至卡匣3的搬送过程。基板从卡匣3至处理设备4的搬送过程与上述过程相反,在此不再赘述。由于本实施例中采用四爪或更多爪的机械手臂622,可一次性取放或者搬送四块或更多块基板,极大的提升了空中搬送装置6的搬送效率。同时,本实施例将制程的处理设备4集中化,利用空间立体式搬送方式,极大提高空间利用率;并避免了设备间的阻碍,通过合理分布导轨2及机械手臂622的数量,可以极大提高基板的搬送效率;由于取消了走形轴,处理设备4可以集中放置,大大缩短占地面积,压缩了工厂空间,可极大节省工厂初期投资成本。此外,由于本实施例中基板在空中进行搬送,避免了地面扬尘对基板造成的影响,并且卡匣3的旁侧设置FFU,可极大提高基板的洁净度,进一步可提高产品合格率。
以上所述仅为本发明的优选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
权利要求
1.一种空间立体式在线搬送系统,其特征在于,包括带有导轨的天棚,设置在所述天棚底面、用于暂存基板的若干卡匣,位于所述卡匣下方、用于处理基板的若干处理设备,以及用于在所述卡匣与所述处理设备之间搬送基板的空中搬送装置,所述空中搬送装置与所述导轨滑动连接。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述空中搬送装置包括一机械抓取器、一伸缩机构以及控制所述机械抓取器和伸缩机构的控制器;所述机械抓取器具有中心部以及由所述中心部向外延伸的若干带有手爪的机械手臂;所述机械抓取器通过所述中心部与所述伸缩机构的底端可旋转连接,所述伸缩机构的顶端与所述天棚的导轨滑动连接。
3.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述导轨在所述天棚的底面呈网状设置。
4.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述伸缩机构为伸缩轴,所述伸缩轴与所述天棚底面垂直。
5.根据权利要求2-4中任一项所述的系统,其特征在于,所述机械抓取器包括四个所述机械手臂,所述四个机械手臂沿所述中心部的边缘对称分布,所述处理设备为四个,每个所述处理设备对应一个所述机械手臂。
6.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,所述处理设备具有供所述机械手臂的手爪拾取基板的开口。
7.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,所述机械抓取器旋转角度为士180°。
8.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述控制器为伺服电机控制器。
9.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括风机过滤单元,所述风机过滤单元设置在所述天棚上,且位于所述卡匣旁侧。
全文摘要
本发明公开一种空间立体式在线搬送系统,包括带有导轨的天棚,设置在所述天棚底面、用于暂存基板的若干卡匣,位于卡匣下方、用于处理基板的若干处理设备,以及用于在卡匣与处理设备之间搬送基板的空中搬送装置,空中搬送装置与导轨滑动连接。本发明采用立体式搬送方式,将原本位于地面的机械手臂放置于高空,减少搬送系统的占地面积,将基板产线制程的处理设备集中放置,极大提高空间利用率,同时机械手臂在空中搬送,避免了设备间的阻碍,极大的提高搬送效率;此外,空中搬送装置靠近FFU,使得基板洁净度更高,可提高产品合格率。
文档编号B65G49/06GK102514939SQ201110357739
公开日2012年6月27日 申请日期2011年11月14日 优先权日2011年11月14日
发明者王赟 申请人:深圳市华星光电技术有限公司
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