压电马达、驱动装置、电子部件搬送装置、电子部件检查装置、印刷装置、机器人手以及机器人的制作方法

专利名称：压电马达、驱动装置、电子部件搬送装置、电子部件检查装置、印刷装置、机器人手以及机器人的制作方法
技术领域：
本发明涉及压电马达、驱动装置、电子部件搬送装置、电子部件检查装置、印刷装置、机器人手以及机器人。
背景技术：
公知有使由压电材料形成的振动体振动来驱动对象物的压电马达。该压电马达具有的特征是，与利用电磁力来使转子旋转的方式的电磁马达相比是小型的并且能够得到大的驱动力，而且能够以高分辨本领定位对象物。因此，作为例如照相机的驱动机构等各种装置的促动器使用。压电马达以如下的原理进行动作。首先，将振动体(压电材料)形成为近似长方体形状，并在长边方向的端面预先设置凸部。然后，对振动体施加规定频率的电压，从而同时产生振动体伸缩的方式的振动和振动体弯曲的方式的振动。这样，振动体的端面开始进行朝一个方向旋转的椭圆运动。因此，若将设置于端面的凸部朝对象物按压，则利用在凸部与对象物之间作用的摩擦力，能够使对象物朝恒定方向移动。根据这样的动作原理，需要在将设置于振动体的端面的凸部按压到对象物的状态下使用压电马达。此外，在驱动对象物时，为了使振动体不因凸部从对象物受到的反作用力而脱离，需要预先保持振动体。并且，必须以使凸部进行椭圆运动的方式允许振动体的振动。因此，提出了如下的技术，即、在使凸部突出的状态下将振动体收存于收纳壳体，在该收纳壳体内，从弯曲方向经由弹性部件而保持振动体的两侧，并且将收纳壳体连同振动体朝向对象物而施力(专利文献I)。专利文献1:日本特开平11-346486号公报然而，在所提出的技术中存在下述问题:难以将振动体所产生的机械能高效地用于对象物的驱动。这是因为从弯曲方向支承振动体的两侧，故振动体的振动容易经由收纳壳体而向外部传递，而传到外部的振动无法用于驱动对象物。

发明内容
本发明是为了解决现有技术所具有的上述课题的至少一部分而完成的，其目的在于提供一种能够高效地驱动对象物的压电马达。为了解决上述课题的至少一部分，本发明的压电马达采用如下的结构。该压电马达通过对含有压电材料的振动体施加电压而使该振动体产生弯曲振动,并且在上述振动体的端部设置的凸部与对象物接触，从而使上述对象物移动，该压电马达具备:电极，该电极形成于上述振动体的、朝向与设置有上述凸部的端部因上述振动体的弯曲振动而进行移动的弯曲方向交叉的方向的两个面，并被施加上述电压；电线，该电线被非导电性材料覆盖并对上述电极施加电压；接合部,该接合部将上述电极与上述电线电气接合；收纳壳体,该收纳壳体收纳上述振动体；以及支承部，该支承部被设置在上述振动体与上述收纳壳体之间，并且从与上述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持上述振动体的设置有上述电极的两个面，其中，上述接合部设置于在上述振动体的上述电极与上述收纳壳体之间所产生的、上述支承部的厚度量的间隙，上述接合部的从上述电极起算的高度以及上述电线的外径比上述支承部的厚度小。在这样的本发明的压电马达中，若在形成于振动体的两个面的电极接合电线并施加电压，则振动体进行弯曲振动，所以通过使设置于振动体的端部的凸部与对象物接触，从而能够驱动对象物。而且，该振动体以被支承部从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持振动体的两侧(设置有电极的两个面)的状态收纳于收纳壳体。此外，将电极与电线接合的接合部设置于在振动体的电极与收纳壳体之间所产生的、支承部的厚度量的间隙，接合部的从电极起算的高度以及电线的外径比支承部的厚度小。若这样利用支承部从与弯曲方向交叉的方向夹持振动体的两侧而不是从振动体的弯曲方向夹持振动体的两侧，则在振动体进行弯曲振动时，支承部沿剪切方向变形，所以与从弯曲方向进行夹持的情况相比，能够抑制振动体的振动向收纳壳体传递。此外，能够以如下方式支承振动体，即，利用支承部沿剪切方向变形时的刚性承接在驱动对象物时振动体的凸部所受的反作用力，振动体不会因反作用力而脱离。其结果是，能够高效地驱动对象物。而且，利用支承部夹持与振动体的设置有电极的面相同的面，由此制约对电极的布线，在本发明的压电马达中，利用在振动体的电极与收纳壳体之间所产生的、支承部的厚度量的间隙，能够对电极进行布线。即，使接合部的从电极起算的高度及电线的外径比支承部的厚度小，将对电极的布线(接合部、电线)收存于振动体的电极与收纳壳体之间的间隙，由此在利用支承部从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持振动体的两侧(设置有电极的两个面)的方式中，能够确保对电极的布线。 在上述本发明的压电马达中，可以在弯曲振动的振幅比振动体的设置有凸部的端部、多个腹部小的多个节部的一部分的节部，使支承部夹持振动体，而在支承部不夹持的节部，使接合部与电极接合。若这样利用支承部夹持振动体的节部，则与夹持不同于节部的部分(设置有凸部的端部、腹部)的情况相比，能够使振动体的弯曲振动的振幅(凸部的移动量)增大，而不会增大振动体弯曲振动时支承部沿剪切方向变形的变形量，所以在驱动对象物方面是有利的。此外，若在不被支承部夹持的节部对电极进行布线(利用接合部接合电线)，则能够抑制布线妨碍振动体的弯曲振动。并且，能够抑制由于振动体的弯曲振动的影响而使布线脱离电极的情况，所以能够很好地确保稳定地对振动体施加电压的布线。此外，在上述本发明的压电马达中，可以利用非导线材料覆盖与电极相对的收纳壳体的内表面。这样，即使在收纳壳体产生歪斜等而使收纳壳体的内表面与电极、接合部发生了接触的情况下，也能够稳定地对振动体施加电压而不会漏电。此外，在上述本发明的压电马达中，在电极具有4个区域的情况下，将由连结部连接的第一区域和第二区域以含有连结部的方式一体形成，利用与连结部交叉的电线连接相对于连结部而配置于相互不同侧的第三区域和第四区域。在利用电线连接(由电线构成连结部)第一区域和第二区域的情况下，需要与连接第三领域和第四区域的电线立体交叉。与此相对，若将连接第一区域和第二区域的连结部与电极一体形成，则不需要使2根电线立体交叉，所以能够容易地将对电极的布线收存于在振动体的电极与收纳壳体间所产生的、支承部的厚度量的间隙。因此，在利用支承部从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持振动体的两侧(设置有电极的两个面)的方式中，能够很好地确保对电极的布线。此外，也可以使用上述本发明的压电马达构成驱动装置、印刷装置、机器人手、机器人等。本发明的压电马达是小型的且能够实现高驱动精度。因此，若使用本发明的压电马达构成驱动装置、印刷装置、机器人手、机器人等，则能够得到小型且高性能的驱动装置、印刷装置、机器人手、机器人等。此外，可以使用本发明的压电马达构成以下的电子部件检查装置。即，在将把持的电子部件装配于检查插座来检查上述电子部件的电特性的电子部件检查装置中，可以使用上述本发明的任意一个的压电马达来进行电子部件相对于检查插座的对位。如上所述，本发明的压电马达是小型的且能够实现高驱动精度，所以能够对电子部件进行高精度地对位，而且能够实现小型的电子部件检查装置。或者，能够以如下的方式应用本发明的电子部件检查装置。即，电子部件检查装置的特征在于，将所把持的电子部件装配于检查插座来检查上述电子部件的电特性，并且上述电子部件检查装置具备进行上述电子部件相对于上述检查插座的对位的压电马达，上述压电马达具备:振动体，该振动体含有压电材料而形成，并且在被施加电压时进行弯曲振动；凸部，该凸部设置于上述振动体的端部；电极，该电极形成于上述振动体的朝向与设置有上述凸部的端部因上述振动体的弯曲振动而移动的弯曲方向交叉的方向的两个面，并被施加上述电压；电线，该电线被非导电性材料覆盖并对上述电极施加电压；接合部，该将上述电极与上述电线电气接合；收纳壳体，该收纳壳体收纳上述振动体；以及支承部，该支承部被设置在上述振动体与上述收纳壳体之间，并从与上述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持上述振动体的设置有上述电极的两个面，其中，上述接合部设置于在上述振动体的上述电极与上述收纳壳体之间所产生的、上述支承部的厚度量的间隙，上述接合部的从上述电极起算的高度以及上述电线的外径比上述支承部的厚度小。而且，上述本发明的电子部件检查装置能够以如下的方式进行应用，即，该电子部件检查装置的特征在于具备:检查插座，该检查插座供电子部件装配，用于检查上述电子部件的电特性；把持装置，该把持装置把持上述电子部件；移动装置，该移动装置使上述把持装置在相互正交的第一轴和第二轴、以及与上述第一轴和上述第二轴正交的第三轴合计三个轴向上移动；拍摄装置，该拍摄装置从上述检查插座观察设置于上述第一轴上或者上述第二轴上，针对装配于上述检查插座的上述电子部件，作为上述电子部件的姿势而检测上述第一轴和上述第二轴的方向上的位置以及绕上述第三轴的角度；上游侧工作台，该上游侧工作台将上述电子部件从上述检查插座搬送到连结上述拍摄装置的上述第一轴或者上述第二轴上的规定位置；下游侧工作台，该下游侧工作台从经由上述检查插座观察时与设置有上述拍摄装置的一侧相反的一侧的规定位置开始搬送上述电子部件；以及控制装置，该控制装置控制上述移动装置的动作，其中上述控制装置具备:第一控制部，该第一控制部将把持有上述上游侧工作台搬送来的上述电子部件的上述把持装置移动到上述拍摄装置上；第二控制部，该第二控制部通过使上述把持装置移动而将已被上述拍摄装置确认姿势的上述电子部件装配于上述检查插座；以及第三控制部，该第三控制部通过使上述把持装置移动，将经上述检查插座被检查出上述电特性的上述电子部件，从上述检查插座载置于上述下游侧工作台，上述把持装置具有根据由上述拍摄装置检测出的上述电子部件的姿势，使上述电子部件在上述第一轴向上移动的第一压电马达、使上述电子部件在上述第二轴向上移动的第二压电马达、以及使上述电子部件绕上述第三轴旋转的第三压电马达，上述第一压电马达至第三压电马达是权利要求广4中的任意一项所述的压电马达。这样的结构的电子部件检查装置能够在使用设置于把持装置的第一 第三压电马达调整电子部件的姿势之后，将电子部件安装于检查插座。这里，本发明的压电马达是小型的且能够高精度地驱动对象物，所以作为设置于把持装置的第一 第三压电马达特别出色。而且，也可以使用本发明的压电马达构成以下的电子部件搬送装置。即，在对所把持的电子部件进行输送的电子部件搬送装置中，可以使用上述本发明的任意一个的压电马达进行电子部件的对位。如上所述，本发明的压电马达是小型的且能够实现高驱动精度，所以能够对电子部件高精度地进行对位，而且能够实现小型的电子部件搬送装置。或者，本发明的电子部件搬送装置能够以如下的方式进行应用，S卩，该电子部件搬送装置的特征在于，上述电子部件搬送装置搬送所把持的电子部件，并具备进行上述电子部件的对位的压电马达，上述压电马达具备:振动体，该振动体含有压电材料而形成并在被施加电压时进行弯曲振动；凸部，该凸部设置于上述振动体的端部；电极，该电极形成于上述振动体的、朝向与设置有上述凸部的端部因上述振动体的弯曲振动而移动的弯曲方向交叉的方向的两个面，并被施加上述电压；电线，该电线被非导电性材料覆盖并对上述电极施加电压；接合部，该接合部将上述电极与上述电线电接合；收纳壳体，该收纳壳体收纳上述振动体；以及支承部，该支承部设置在上述振动体与上述收纳壳体之间，并且从与上述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持上述振动体的设置有上述电极的两个面，上述接合部设置于在上述振动体的上述电极与上述收纳壳体之间所产生的、上述支承部的厚度量的间隙，上述接合部的从上述电极起算的高度以及上述电线的外径比上述支承部的厚度小。而且，上述本发明的电子部件搬送装置能够以如下的方式进行应用，即，该电子部件搬送装置的特征在于，具备:把持装置，该把持装置把持电子部件；移动装置，该移动装置使上述把持装置在相互正交的第一轴和第二轴、以及与上述第一轴和上述第二轴正交的第三轴合计三个轴向上移动；控制装置，该控制装置控制上述移动装置的动作，上述把持装置具有:使上述电子部件在上述第一轴向上移动的第一压电马达、使上述电子部件在上述第二轴向上移动的第二压电马达以及使上述电子部件绕上述第三轴旋转的第三压电马达，上述第一压电马达至第三压电马达是权利要求广4中的任意一项所述的压电马达。


图1是表示本实施例的压电马达的简要结构的说明图。图2是表示本实施例的主体部的构造的分解组装图。图3是表不用于对设置有表面电极以及背面电极的本实施例的振动体施加电压的布线的说明图。图4是表示压电马达的动作原理的说明图。图5是截取主体部在X-Z平面的剖面来表示在本实施例的振动体的表面电极以及背面电极进行布线的样子的说明图。图6是表示振动体的节部的说明图。图7是表示对设置于变形例的振动体的表面电极以及表面电极布线的说明图。图8是例示组装本实施例的压电马达而构成的电子部件检查装置的立体图。图9是内置于把持装置的微调机构的说明图。图10是例示组装有本实施例的压电马达的印刷装置的立体图。图11是例示组装有本实施例的压电马达的机器人手的说明图。图12是例示具备机器人手的机器人的说明图。图13是表示在与实施例不同的方式中利用支承部件夹持振动体的节部的例子的说明图。
具体实施例方式以下，为了阐明上述本申请发明的内容，按照如下的顺序对实施例进行说明。A.装置构成B.压电马达的动作原理C.对表面电极以及背面电极的布线的确保D.变形例E.应用例A.装置构成图1是表示本实施例的压电马达10的简要结构的说明图。图1 (a)表示本实施例的压电马达10的整体图，图1 (b)表示分解组装图。如图1 (a)所示,本实施例的压电马达10大体上包括主体部100和基台部200。主体部100被安装于基台部200内，能够在该状态下朝一个方向移动。另外，在本说明书中，将主体部100的移动方向称为X方向。此夕卜，如图中所示，将与X方向正交的方向分别称为Y方向、Z方向。主体部100以及基台部200分别是将多个部件组合而构成的。例如基台部200是利用固定螺钉240将第一侧壁块210以及第二侧壁块220紧固在呈近似矩形形状的基板230的上表面的两侧而构成的(参照图1 (b))。在组装压电马达10时，使用固定螺钉240，从主体部100的上方将第一侧壁块210以及第二侧壁块220安装于基板230。此外,在第一侧壁块210形成有前方外壳212、中央外壳214、后方外壳216这样3个凹部。而且，在将第一侧壁块210安装于基板230时，以在前方外壳212收纳有前方侧压弹簧212s、在后方外壳216收纳有后方侧压弹簧216s的状态进行安装。其结果是，主体部100成为被前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s按压到第二侧壁块220的状态。此夕卜，在主体部100的侧面的、面向第二侧壁块220的一侧，安装有前侧滚子102r以及后侧滚子106r。而且，在主体部100的侧面设置有加压弹簧222s。该加压弹簧222s在前侧滚子102r的后侧的位置沿X方向按压主体部100。此外，在主体部100的与设置有前侧滚子102r以及后侧滚子106r侧相反的一侧的侧面，朝向Z方向(附图上的上方)设置有按压滚子104r。在安装好第一侧壁块210的状态下，该按压滚子104r被收纳于第一侧壁块210的中央外壳214。此外，在主体部100的设置有按压滚子104r的部分的里面侧与基板230之间设置有按压弹簧232s。因此，按压滚子104r成为相对于中央外壳214的内表面而被朝Z方向(附图上的上方)按压的状态。图2是表示本实施例的主体部100的构造的分解组装图。主体部100大体上形成为在振动体壳体120内收纳有振动部110的构造。振动部110构成为包括:由压电材料形成为长方体形状的振动体112、安装于振动体112的长边方向(X方向)的端面的陶瓷制的驱动凸部114以及将振动体112的朝向Z方向一方的面分成4份而设置的4块表面电极116等。此外，虽然在图2中没有不出，但在与设置有4块表面电极116侧相反侧的面,设置有几乎覆盖整个面的背面电极，该背面电极接地。如后所述，振动体112具有通过被施加电压而振动的性质。另外，本实施例的驱动凸部114相当于本发明的“凸部”，本实施例的表面电极116以及背面电极相当于本发明的“电极”。振动体112以被树脂制的支承部件130从设置有表面电极116以及背面电极的两个面(图2中朝向Z方向的两个面)夹住的状态被收纳于振动体壳体120。而且，从表面电极116侧的支承部件130的上面层叠盖板140、碟形弹簧142、按压板144，利用固定螺钉146将按压板144紧固于振动体壳体120。因此，振动部110构成为:经由盖板140及支承部件130而被碟形弹簧142的弹簧力按压，并且由于树脂制的支承部件130剪切变形，而使振动体112以能够在振动体壳体120内振动的状态被收纳。另外，本实施例的振动体壳体120以及盖板140相当于本发明的“收纳壳体”，本实施例的支承部件130相当于本发明的“支承部”。图3是表不用于对设置有表面电极116以及背面电极的振动体112施加电压的配线的说明图。如图所示，在振动体112的朝向Z方向的两个面(支承部件130接触的两个面)的一方的面设置有4块表面电极116，将相互位于对角线的位置的2个表面电极116作为一组(表面电极116a以及表面电极116d的组、表面电极116b以及表面电极116c的组)，各组的表面电极116彼此通过电极间电线300a、300b连接。在上下方向(Z方向)立体交叉的电极间电线300a、300b被绝缘材料覆盖，通过焊锡302而与表面电极116接合。此外，在表面电极116的各组中,远离驱动凸部114侧的表面电极116 (表面电极116c和表面电极116d)通过外部电线304a、304b而与未图示的外部电源连接。该外部电线304a、304b与电极间电线300a、300b相同，采用被绝缘材料覆盖的电线，并通过焊锡302与表面电极116接
八
口 ο此外，如上所述，在振动体112的与设置有4块表面电极116侧相反的一侧的面上设置有几乎覆盖整个面的背面电极，该背面电极通过焊锡302接合有用于接地的接地电线306。另外，本实施例的电极间电线300、外部电线304以及接地电线306相当于本发明的“电线”，本实施例的焊锡302相当于本发明的“接合部”。B.压电马达的动作原理图4是表示压电马达10的动作原理的说明图。在对振动部110的表面电极116以恒定周期施加电压时，压电马达10由于振动部110的驱动凸部114进行椭圆运动而动作。振动部110的驱动凸部114进行椭圆运动的理由如下。首先，众所周知，振动体112具有若被施加正电压则伸长的性质。
因此，如图4 (a)所示，若反复进行对4个表面电极116的全部施加正电压后解除施加电压的动作，则振动体112反复进行在长边方向(X方向)伸缩的动作。这样，将振动体112在长边方向(X方向)反复伸缩的动作称为“伸缩振动”。此外，若使施加正电压的频率变化，则在成为某个确定的频率时伸缩量突然变大，产生一种共振现象。由于伸缩振动而产生共振的频率(共振频率)由振动体112的物性和振动体112的尺寸(宽度W、长度L、厚度T)决定。此外，如图4 (b)或者图4 (C)所示，将相互位于对角线位置的2个表面电极116作为一组(表面电极116a以及表面电极116d的组、或者表面电极116b以及表面电极116c的组)，以恒定周期施加正电压。这样，振动体112的长边方向(X方向)的头端部(安装有驱动凸部114的部分)反复做出在图上的左右方向(Y方向)摆头的动作。例如，如图4 (b)所示，每当对表面电极116a以及表面电极116d的组施加正电压时，振动体112反复进行长边方向的头端部朝右方向移动的动作。此外，如图4 (c)所示，每当对表面电极116b以及表面电极116c的组施加正电压时，振动体112反复进行长边方向的头端部朝左方向移动的动作。将这样的振动体112的动作称为“弯曲振动”。这样的弯曲振动具有由振动体112的物性和振动体112的尺寸(宽度W、长度L、厚度T)决定的共振频率。因此，如果对相互位于对角线位置的2个表面电极116以该共振频率施加正电压，则振动体112朝右方向或者左方向(Y方向)大幅度摆头地振动。这里，图4 (a)所示的伸缩振动的共振频率、以及图4 (b)或者图4 (C)所示的弯曲振动的共振频率都由振动体112的物性和振动体112的尺寸(宽度W、长度L、厚度T)决定。因此，若适当选择振动体112的尺寸(宽度W、长度L、厚度T)，则能够使2个共振频率一致。而且，若以共振频率对上述的振动体112施加图4 (b)或者图4 (c)所示的弯曲振动的方式的电压，则在产生图4 (b)或者图4 (c)所示的弯曲振动的同时，也会由于共振而引起图4 (a)的伸缩振动。其结果是，在以图4 (b)所示的方式对表面电极116a以及表面电极116d的组施加电压的情况下，振动体112的头端部(安装有驱动凸部114的部分)进行在附图上顺时针描绘椭圆的动作(椭圆运动)。此外，在以图4 (c)所不的方式对表面电极116b以及表面电极116c的组施加电压的情况下，振动体112的头端部进行在附图上绕逆时针的椭圆运动。压电马达10利用这样的椭圆运动驱动对象物。即，使振动体112的驱动凸部114以按压到对象物的状态产生椭圆运动。这样，驱动凸部114反复进行以下动作，S卩:在振动体112伸长时以按压到对象物的状态从左向右(或者从右向左)移动，之后在振动体112收缩时以从对象物离开的状态恢复到原来的位置。其结果是，对象物由于从驱动凸部114受到的摩擦力而朝一个方向被驱动。此外，对象物受到的驱动力等于在其与驱动凸部114之间所产生的摩擦力，所以驱动力的大小由驱动凸部114与对象物之间的摩擦系数和驱动凸部114被对象物按压的力来决定。根据以上说明的压电马达10的动作原理可知，需要在将驱动凸部114按压到对象物的状态下使用压电马达10。因此，在本实施例的压电马达10中，具备驱动凸部114的主体部100相对于基台部200能够移动，利用设置在主体部100与基台部200之间的加压弹簧222s，将从主体部100突出的驱动凸部114按压于对象物(参照图1)。此外，若驱动对象物，则驱动凸部114从对象物受到反作用力。而且，该反作用力传递至主体部100。如上所述，主体部100必须相对于基台部200能够移动，但如果主体部100由于在驱动时受到的反作用力而朝正交于移动方向的方向脱离，则无法向对象物传递足够的驱动力。此外，若主体部100脱离，则驱动凸部114的移动量减少，所以对象物的驱动量变少。而且，主体部100的脱离量通常不是稳定的，所以导致对象物的驱动量不稳定。因此，如图1所示，在本实施例的压电马达10中，从正交于主体部100的移动方向的方向，利用前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s将主体部100按压于第二侧壁块220。而且，必须在以驱动凸部114进行椭圆运动的方式允许振动体112的振动(伸缩振动以及弯曲振动)的状态下，将振动体112收纳到振动体壳体120内。因此，如图2所示，在本实施例的压电马达10中，在从与振动体112的弯曲方向(Y方向:设置有驱动凸部114的端部移动的方向)交叉的方向(Z方向:振动部110的设置有表面电极116以及背面电极的两个面所朝向的方向)利用支承部件130进行夹持的状态下，将振动体112收纳于振动体壳体120。在通过施加电压来使振动体112振动时，支承部件130朝剪切方向变形而允许振动体112的振动，所以能够产生上述的驱动凸部114的椭圆运动。此外，利用支承部件130从与弯曲方向交叉的方向夹持振动体112，由此与从振动体112的弯曲方向夹持振动体112的情况相比,能够抑制弯曲振动传递到振动体壳体120所产生的能量的损失，能够高效地驱动对象物。这样的支承部件130由聚酰亚胺等树脂材料形成，支承部件130的厚度越大，则越容易朝剪切方向变形(剪切变形)，被允许的振动体112的振幅(振动的自由度)越大。这样，驱动凸部114的移动量增加，对象物的驱动量、驱动速度提高，所以在驱动对象物方面向有利的方向发挥作用。其中，支承部件130利用在朝剪切方向变形时的刚性来承接驱动凸部114从对象物受到的反作用力，若支承部件130变厚则容易发生剪切变形，相反，承接来自对象物的反作用力的刚性降低，导致对象物的驱动减少。这样，需要将支承部件130预先设定为适当的厚度，以使得通过剪切变形而允许振动体112的振动，并且具备承接驱动凸部114从对象物受到的反作用力的适当的刚性。在本实施例的压电马达中，利用1.0mm厚的支承部件130从两侧夹持振动体112 (宽度:7.5mm、长度:30.0mm、厚度:3.0mm)。这里，如上所述，在被支承部件130夹持的振动体112的两个面(朝向与振动体112的弯曲方向交叉的方向的两个面)设置有表面电极116、背面电极，利用焊锡302将用于对振动体112施加电压的各种电线(电极间电线300a、300b、外部电线304a、304b、接地电线306)与上述电极接合。然而，这样在利用支承部件130夹持振动体112的与设置有表面电极116以及背面电极的面相同的面的情况下，对表面电极116以及背面电极的布线的确保被制约。因此，在本实施例的压电马达10中，以如下方式确保对振动体112的表面电极116a以及背面电极的布线。C.对表面电极以及背面电极的布线的确保图5截取主体部100在X-Z平面的剖面来表示在振动体112的表面电极116以及背面电极115进行布线的样子的说明图。如图所示，在振动体112的表面电极116与盖板140之间产生支承部件130的厚度量的空间(间隙)。如上所述，考虑用于允许振动体112的振动的剪切变形的容易度和承接驱动凸部114从对象物受到的反作用力的适当的刚性，来设定支承部件130的厚度，在本实施例的压电马达10中，使用1.0mm厚的支承部件130。然后，利用该支承部件130的厚度量的间隙，进行对表面电极116的布线。S卩，如图3所示，在设置于振动体112的4块表面电极116中，利用电极间电线300a、300b将相互位于对角线位置的2个表面电极116 (表面电极116a以及表面电极116d的组、表面电极116b以及表面电极116c的组)连接，上述电极间电线300a、300b在上下方向(Z方向)立体交叉，并通过焊锡302而与表面电极116接合。此外,在表面电极116 (表面电极116c以及表面电极116d)通过焊锡302接合有外部电线304a、304b。上述电极间电线300a、300b以及外部电线304a、304b采用的是外径比支承部件130的厚度小的电线(例如，外径为0.27mm)。此外，使各种电线与表面电极116接合的焊锡302的厚度(从表面电极116起算的高度)形成为比支承部件130的厚度小。因此，能够将对表面电极116的布线(焊锡302、电极间电线300a、300b、外部电线304a、304b)收存于支承部件130的厚度量的间隙。此外，同样，在振动体壳体120的底面与振动体112的背面电极115之间也产生支持部件130的厚度量的间隙。如上所述，在振动体112的与设置有4块表面电极116侧相反的一侧的面设置有几乎覆盖整个面的背面电极115，在背面电极115通过焊锡302接合有接地电线306。与外部电线304a、304b相同，该接地电线306也采用外径比支承部件130的厚度小的电线。此外，使接地电线306与背面电极115接合的焊锡302的厚度(从背面电极115起算的高度)形成为比支承部件130的厚度小，所以能够将对背面电极115的布线(焊锡302、接地电线306)收存于支承部件130的厚度量的间隙。如上所述，在本实施例的压电马达10中，将对表面电极116的布线(焊锡302、电极间电线300a、300b、外部电线304a、304b)以及对背面电极115的布线(焊锡302、接地电线306)收存于由支承部件130的厚度所产生的间隙，所以在利用支承部件130从与振动体112的弯曲方向交叉的方向夹持振动体112的两侧(设置有表面电极116以及背面电极115的两个面)的方式中，能够确保对表面电极116以及背面电极115的布线。此外，如图5所示，在盖板140的与表面电极116相对的内表面、以及振动体壳体120的与背面电极115相对的内表面贴付有由绝缘材料形成的绝缘片132。因此，即使在盖板140、振动体壳体120暂时产生歪斜而使盖板140的内表面与表面电极116的焊锡302接触，或振动体壳体120的内表面与背面电极115的焊锡302接触，也不会发生漏电，能够稳定地对振动体112施加电压。并且，在本实施例的压电马达10中，利用支承部件130夹持振动体112的比设置有驱动凸部114的端部的弯曲振动的振幅小的部分(节部)，在与被该支持部件130夹持的节部不同的节部对各电极(表面电极116以及背面电极115)进行布线。由此，能够确保更稳定的布线。以下，对这一点进行补充说明。图6是表示振动体112的节部的说明图。如以上使用图4所说明的那样，在振动体112中，将4个表面电极116的相互位于对角线位置的2个表面电极116作为一组(表面电极116a以及表面电极116d的组、表面电极116b以及表面电极116c的组),若以获得周期施加正电压，则振动体112以驱动凸部114在附图上向左右方向(Y方向)摆头的方式反复进行弯曲振动。在图6中，用虚线表示没有对振动体112施加正电压的状态，用实线表示对振动体112的表面电极116a以及表面电极116d的组施加正电压而使驱动凸部114朝右方向移动的状态。这样弯曲振动的振动体112并非整体一样地振动(在Y方向移动),而是如图6所示，具有以与设置有驱动凸部114的头端部相同的振幅振动的部分亦即腹部117 (117a、117b)、以及弯曲振动的振幅比头端部、腹部117小的部分亦即节部118。本实施例的振动体112具有:位于振动体112的长边方向(X方向)的中央的中央节部118b、位于靠近驱动凸部114侧的前节部118a以及位于远离驱动凸部114侧的后节部118c这样3个节部118。上述3个节部118中的前节部118a以及后节部118c成为支承部件130夹持振动体112的部分(参照图5)。若这样利用支承部件130夹持振动体112的节部118，则与夹持不同于节部118的部分(腹部117等)的情况相比，在振动体112进行弯曲振动时不会增大支承部件130朝剪切方向变形的变形量，而能够使振动体112的弯曲振动的振幅(驱动凸部114的移动量)增大，所以在驱动对象物方面是有利的。此外，没有被支承部件130夹持的中央节部118b面对上述支承部件130的厚度量的间隙(参照图5)。而且，在本实施例的压电马达10中，在该中央节部118b进行对表面电极116的布线(电极间电线300a、300b以及外部电线304a、304b通过焊锡302的接合)、以及对背面电极115的布线(接地电线306通过焊锡302的接合)。若这样在该节部118进行对各电极的布线，则能够抑制布线妨碍振动体112弯曲振动。此外，能够抑制由于振动体112的弯曲振动的影响而使布线从电极脱离的情况，所以在确保稳定地对振动体112施加电压的布线方面来看比较优选。D.变形例以下，对上述本实施例的压电马达10的变形例进行说明。另外，在对变形例进行说明时，对与上述的实施例相同的构成部分标注与之前说明的实施例相同的符号并省略其详细的说明。图7是表不变形例的设置于振动体112的表面电极116以及对表面电极116的布线的说明图。首先，图7 (a)表示利用焊锡302将电极间电线300、外部电线304与表面电极116接合之前的状态。在变形例的振动体112中，与上述实施例相同，表面电极116也由4个区域构成。其中，表面电极116b以及表面电极116c由在形成表面电极116时一体形成的连结部116e预先连接。如图7(b)所示，在这样的变形例的振动体112中，当在表面电极116布线时，只要利用电极间电线300a将表面电极116a与表面电极116d连接即可，由于表面电极116b与表面电极116c由连结部116e预先连接，所以不需要像上述实施例那样利用电极间电线300b(参照图3)进行连接。因此，与上述实施例相比，能够简化对表面电极116的布线操作。另夕卜，变形例的表面电极116b以及表面电极116c相当于本发明的“第一区域”以及“第二区域”，变形例的116a以及表面电极116d相当于本发明的“第三区域”以及“第四区域”。此外，在上述实施例的振动体112中，2根电极间电线300a、300b在上下方向(Z方向)立体交叉(参照图5)，与此相对，在变形例的振动体112中，代替电极间电线300b而在形成表面电极116时一体形成连结部116e，不需要使2根电极间电线300a、300b立体交叉，所以能够容易地将表面电极的布线(焊锡302、电极间电线300a、外部电线304a、304b)收存于在振动体112的表面电极116与盖板140之间所产生的支承部件130的厚度量的间隙。因此，特别是在利用支承部件130从与振动体112的弯曲方向交叉的方向夹持振动体112的两个面(设置有表面电极116以及背面电极115的两个面)的方式下，可以很好地确保对表面电极116的布线。E.应用例
上述的本实施例的压电马达10或者变形例的压电马达10是小型的且能够高精度地驱动对象物，因此能够作为以下的装置的驱动装置而适当地安装。图8是例示组装本实施例的压电马达10而构成的电子部件检查装置600的立体图。图示的电子部件检查装置600大体上具备基台610和直立设置于基台610的侧面的支承台630。在基台610的上表面设置有对检查对象的电子部件I进行载置并输送的上游侧工作台612u、和对检查完毕的电子部件I进行载置并输送的下游侧工作台612d。此外，在上流侧工作台612u与下游侧工作台612d之间设置有用于确认电子部件I的姿势的拍摄装置614、和为了检查电特性而放置电子部件I的检查台616。另外，作为电子部件I的代表性的部件，可以举出“半导体”、“CLD、OLED等显示器件”、“水晶器件”、“各种传感器”、“喷墨头”、“各种MEMS器件”等。此外，本实施例的检查台616与本发明的“检查插座”对应。此外，在支承台630上设置有能够在与基台610的上游侧工作台612u以及下游侧工作台612d平行的方向(Y方向)移动的Y工作台632，从Y工作台632在朝向基台610的方向(X方向)延伸配置有臂部634。此外，在臂部634的侧面设置有能够在X方向移动的X工作台636。而且，在X工作台636设置有拍摄照相机638和内置有能在上下方向(Z方向)移动的Z工作台的把持装置650。此外，在把持装置650的前端设置有把持电子部件I的把持部652。而且，在基台610的前面侧设置有控制电子部件检查装置600的整体动作的控制装置618。另外，在本实施例中，设置于支承台630的Y工作台632、臂部634、X工作台636、把持装置650与本发明的“电子部件搬送装置”对应。此外，X工作台636、Y工作台632以及内置于把持装置650的Z工作台与本发明的“移动装置”对应。而且，本实施例的控制装置618与本发明的“第一控制部”、“第二控制部”、“第三控制部”对应。具有以上结构的电子部件检查装置600以如下方式进行电子部件I的检查。首先，将检查对象即电子部件I放置于上游侧工作台612u并移动到检查台616附近。接下来，移动Y工作台632以及X工作台636，使把持装置650移动到载置于上游侧工作台612u的电子部件I的正上方的位置。此时，能够使用拍摄照相机638确认电子部件I的位置。然后，若使用内置于把持装置650内的Z工作`台使把持装置650下降来利用把持部652把持电子部件1，则使把持装置650直接地移动到拍摄装置614上，从而使用拍摄装置614确认电子部件I的姿势。接着，使用内置于把持装置650的微调机构调整电子部件I的姿势。然后，在使把持装置650移动到检查台616上之后，移动内置于把持装置650的Z工作台来将电子部件I放置到检查台616上。使用把持装置650内的微调机构调整电子部件I的姿势，所以能够将电子部件I放到检查台616的正确位置。然后，如果使用检查台616检查完电子部件I的电特性，再次从检查台616提起电子部件I，之后移动Y工作台632以及X工作台636，使把持装置650移动到下游侧工作台612d上，并将电子部件I放置于下游侧工作台612d。之后，移动下游侧工作台612d，将检查完的电子部件I输送到规定位置。图9是内置于把持装置650的微调机构的说明图。如图所示，在把持装置650内设置有与把持部652连接的旋转轴654、能够旋转地安装有旋转轴654的微调板656等。此夕卜，微调板656能够被未图的引导机构引导而在X方向以及Y方向移动。这里，如图9中标注斜线所示那样，朝向旋转轴654的端面搭载有旋转方向用的压电马达10 Θ，压电马达 ο Θ的驱动凸部(图示省略)被按压于旋转轴654的端面。因此，使压电马达100动作，从而能够使旋转轴654 (以及把持部652)沿Θ方向高精度地仅旋转任意的角度。此外，朝向微调板656设置有X方向用的压电马达IOx和Y方向用的压电马达10y，各自的驱动凸部(图示省略)被按压于微调板656的表面。因此，使压电马达IOx动作，从而能够使微调板656 (以及把持部652)在X方向高精度地仅移动任意的距离，同样地，使压电马达IOy动作，从而能够使微调板656 (以及把持部652)在Y方向高精度地仅移动任意的距离。因此，通过使压电马达10 Θ、压电马达10x、压电马达IOy动作，图8的电子部件检查装置600能够对由把持部652把持的电子部件I的姿势进行微调。另外，在本实施例中，压电马达10x、压电马达IOy分别与本发明的“第一压电马达”、“第二压电马达”对应，压电马达10 Θ与本发明的“第三压电马达”对应。此外，由旋转轴654、微调板656、压电马达10 Θ、压电马达10x、压电马达IOy构成的微调机构与本发明的“驱动装置”对应。图10是例示组装有本实施例的压电马达10的印刷装置700的立体图。图示的印刷装置700是在印刷介质2的表面喷射墨水来印刷图像的所谓的喷墨打印机。印刷装置700形成为近似箱形的外观形状，在前表面的大致中央设置有排纸托盘701、排出口 702、多个操作按钮705。此外，在背面侧设置有供给托盘703。若在供给托盘703放置印刷介质2并对操作按钮705进行操作，则印刷介质2从供给托盘703被吸入，在印刷装置700的内部将图像印刷到印刷介质2的表面之后，从排出口 702排出。在印刷装置700的内部设置有在印刷介质2上沿主扫描方向往复移动的滑架720、和对滑架720在主扫描方向的移动进行引导的导轨710。此外，图示的滑架720构成为包括:在印刷介质2上喷射墨水的喷射头722、用于在主扫描方向驱动滑架720的驱动部724等。在喷射头722的底面侧(朝向印刷介质2 —侧)设置有多个喷射喷嘴，能够从喷射喷嘴向印刷介质2喷射墨水。此外，在驱动部724搭载有压电马达10m、10s。压电马达IOm的驱动凸部(图示省略)被按压于导轨710。因此，通过使压电马达IOm动作，从而能够使滑架720在主扫描方向移动。此外，压电马达IOs的驱动凸部114被按压于喷射头722。因此，通过使压电马达IOs动作，从而能够使喷射头722的底面侧接近印刷介质2或远离印刷介质2。此外，在使用所谓的卷筒纸作为印刷介质2的印刷装置700中，需要将印刷有画像的卷筒纸切断的机构。在这样的情况下，若在滑架720上安装刀具并使其在主扫描方向移动，则能够切断卷筒纸。图11是例示组装有本实施例的压电马达10的机器人手800的说明图。图示的机器人手800从基台802直立设置有多根指部803，经由手腕804而与臂810连接。这里，指部803的指根的部分能够在基台802内移动，在该指部803的指根的部分以按压驱动凸部114的状态搭载有压电马达IOf。因此，通过使压电马达IOf动作，从而能够使指部803移动来把持对象物。此外，在手腕804的部分以将驱动凸部114按压于手腕804的端面的状态搭载有压电马达10r。因此，通过使压电马达IOr动作，从而能够使基台802整体旋转。图12是例示具备机器人手800的机器人850的说明图。如图所示，机器人850具备:多条臂810和将这些臂810之间以能够弯曲的状态连接的关节部820。此外，机器人手800与臂810的前端连接。而且，在关节部820中内置有作为用于使关节部820弯曲的促动器的压电马达10j。因此，使压电马达IOj动作，由此能够使每个关节部820仅弯曲任意的角度。以上，对本发明的压电马达、搭载有压电马达的各种装置进行了说明，但本发明不限于上述的实施例、变形例、应用例，能够在不脱离其宗旨的范围以各种方式实施。
例如，在上述实施例中，在振动体112的3个节部118中的、前节部118a以及后节部118c利用支承部件130夹持振动体112，在中央节部118b进行对表面电极116的布线以及对背面电极115的布线(参照图5以及图6)。然而，可以在3个节部118中的一部分的节部118利用支承部材130夹持振动体112，而在不被支承部件130夹持的任意的节部118进行对电极的配线，不限于上述实施例的方式。例如，如图13所示，可以在中央节部118b利用支承部件130夹持振动体112，而在前节部118a以及后节部118c进行对表面电极116的布线(电极间电线300a、300b以及外部电线304a、304b通过焊锡302的接合)以及对背面电极115的布线(接地电线306通过焊锡302的接合)。在该情况下，也能与上述实施例相同，获得使振动体112的驱动凸部114的移动量增大而不增大支承部件130的变形量、抑制布线由于振动体112的弯曲振动的影响而脱离电极的效果。此外，也可以在前节部118a或者后节部118c的任一方夹持振动体112，而在中央节部118b进行对表面电极116的布线以及对背面电极115的布线。符号说明10…压电马达；100…主体部；110…振动部；112…振动体；114…驱动凸部；115…背面电极；116…表面电极；120…振动体壳体；130…支承部件；132…绝缘片；140…盖板；142…碟形弹簧；144…按压板；146…固定螺钉;200…基台部;210…第一侧壁块；220…第二侧壁块；230…基板；240…固定螺钉;300…电极间电线;302…焊锡;304…外部电线；306…接地电线；600…电子部件检查装置；610…基台;612d…下游侧工作台;612u…上游侧工作台；614…拍摄装置；616…检查台；618…控制部；630…支承台；634…臂部；638…拍摄照相机；650…把持装置；652…把持部；654…旋转轴；656…微调板；700…印刷装置；701…排纸托盘;702…排出口 ;703…供给托盘;705…操作按钮；710…导轨；720…滑架；722…喷射头；724…驱动 部;800…机器人手;802…基台;803…指部;804…手腕;810…臂;820…关节部;850…机器人。
权利要求
1.一种压电马达，其特征在于，通过对含有压电材料的振动体施加电压而使该振动体产生弯曲振动，并且使在所述振动体的端部设置的凸部与对象物接触，从而使所述对象物移动，该压电马达具备:电极，该电极形成于所述振动体的、朝向与设置有所述凸部的端部因所述振动体的弯曲振动而进行移动的弯曲方向交叉的方向的两个面，并且被施加所述电压；电线，该电线被非导电性材料覆盖并对所述电极施加电压；接合部，该接合部将所述电极与所述电线电接合；收纳壳体，该收纳壳体收纳所述振动体；以及支承部，该支承部设置在所述振动体与所述收纳壳体之间，并且从与所述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持所述振动体的设置有所述电极的两个面，其中，所述接合部设置于在所述振动体的所述电极与所述收纳壳体之间所产生的、所述支承部的厚度量的间隙，所述接合部的从所述电极起算的高度以及所述电线的外径比所述支承部的厚度小。
2.根据权利要求1所述的压电马达，其特征在于，所述振动体具有:多个腹部，所述多个腹部的所述弯曲振动的振幅与设置有所述凸部的端部的所述弯曲振动的振幅相同；多个节部，所述多个节部的所述弯曲振动的振幅比所述腹部的所述弯曲振动的振幅小，所述支承部通过 所述多个节部中的一部分节部与所述振动体接触，所述接合部通过所述支承部不接触的任意的所述节部与所述电极接合。
3.根据权利要求1或2所述的压电马达，其特征在于，所述收纳壳体的与所述电极相对的内表面被非导电性材料覆盖。
4.权利要求广3中的任意一项所述的压电马达，其特征在于，所述电极具有:第一区域和第二区域，所述第一区域和第二区域经由连结部而相互连接并与所述连结部一体形成；第三区域和第四区域，所述第三区域和第四区域与所述第一区域和所述第二区域电隔绝地形成，并且相对于所述连结部配置在相互不同的一侧，其中所述第三区域和所述第四区域通过与所述连结部交叉的所述电线而相互连接。
5.一种驱动装置，其特征在于，具备权利要求广4中的任意一项所述的压电马达。
6.一种印刷装置，其特征在于，具备权利要求广4中的任意一项所述的压电马达。
7.一种机器人手，其特征在于，具备权利要求广4中的任意一项所述的压电马达。
8.—种机器人,其特征在于，具备权利要求Γ4中的任意一项所述的压电马达、或者权利要求7所述的机器人手。
9.一种电子部件检查装置，其特征在于，所述电子部件检查装置将所把持的电子部件装配于检查插座来检查所述电子部件的电特性，并且所述电子部件检查装置使用权利要求广4中的任意一项所述的压电马达进行所述电子部件相对于所述检查插座的对位。
10.一种电子部件检查装置，其特征在于，所述电子部件检查装置将所把持的电子部件装配于检查插座来检查所述电子部件的电特性，并且所述电子部件检查装置具备进行所述电子部件相对于所述检查插座的对位的压电马达，其中所述压电马达具备:振动体，该振动体含有压电材料而形成，并且在被施加电压时进行弯曲振动；凸部，该凸部设置于所述振动体的端部；电极，该电极形成于所述振动体的、朝向与设置有所述凸部的端部因所述振动体的弯曲振动而进行移动的弯曲方向交叉的方向的两个面，并被施加所述电压；电线，该电线被非导电性材料覆盖并对所述电极施加电压；接合部，该接合部将所述电极与所述电线电接合；收纳壳体，该收纳壳体收纳所述振动体；以及支承部，该支承部设置在所述振动体与所述收纳壳体之间，并且从与所述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持所述振动体的设置有所述电极的两个面，其中所述接合部设置于在所述振动体的所述电极与所述收纳壳体之间所产生的、所述支承部的厚度量的间隙，所述接合部的从所述电极起算的高度以及所述电线的外径比所述支承部的厚度小。
11.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备:检查插座，该检查插座供电子部件装配，用于检查所述电子部件的电特性；把持装置，该把持装置把持所述电子部件；移动装置，该移动装置使所述把持装置在相互正交的第一轴和第二轴、以及与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴合计三个轴向上移动；拍摄装置，该拍摄装置从所述检查插座观察设置于所述第一轴上或者所述第二轴上，针对装配于所述检查插座的所述电子部件，作为所述电子部件的姿势而检测所述第一轴和所述第二轴的方向上的位置以及绕所述第三轴的角度；上游侧工作台，该上游侧工作台将所述电子部件从所述检查插座搬送到连结所述拍摄装置的所述第一轴或者所述第二轴上的规定位置；下游侧工作台，该下游侧工作台从经由所述检查插座观察时与设置有所述拍摄装置的一侧相反的一侧的规定位置开始搬送所述电子部件；以及控制装置，该控制装置控制所述移动装置的动作，其中所述控制装置具备:第一控制部，该第一控制部将把持有所述上游侧工作台搬送来的所述电子部件的所述把持装置移动到所述拍摄装置上；第二控制部，该第二控制部通过使所述把持装置移动而将已被所述拍摄装置确认姿势的所述电子部件装配于所述检查插座；以及第三控制部，该第三控制部通过使所述把持装置移动，将经所述检查插座被检查出所述电特性的所述电子部件，从所述检查插座载置于所述下游侧工作台，所述把持装置具有根据由所述拍摄装置检测出的所述电子部件的姿势，使所述电子部件在所述第一轴向上移动的第一压电马达、使所述电子部件在所述第二轴向上移动的第二压电马达、以及使所述电子部件绕所述第三轴旋转的第三压电马达，所述第一压电马达至第三压电马达是权利要求广4中的任意一项所述的压电马达。
12.一种电子部件搬送装置，其特征在于，所述电子部件搬送装置搬送所把持的电子部件，并且使用权利要求广4中的任意一项所述的压电马达进行所述电子部件的对位。
13.一种电子部件搬送装置，其特征在于，所述电子部件搬送装置搬送所把持的电子部件，并具备进行所述电子部件的对位的压电马达，所述压电马达具备:振动体，该振动体含有压电材料而形成并在被施加电压时进行弯曲振动；凸部，该凸部设置于所述振动体的端部；电极，该电极形成于所述振动体的、朝向与设置有所述凸部的端部因所述振动体的弯曲振动而移动的弯曲方向交叉的方向的两个面，并被施加所述电压；电线，该电线被非导电性材料 覆盖并对所述电极施加电压；接合部，该接合部将所述电极与所述电线电接合；收纳壳体，该收纳壳体收纳所述振动体；以及支承部，该支承部设置在所述振动体与所述收纳壳体之间，并且从与所述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持所述振动体的设置有所述电极的两个面，所述接合部设置于在所述振动体的所述电极与所述收纳壳体之间所产生的、所述支承部的厚度量的间隙，所述接合部的从所述电极起算的高度以及所述电线的外径比所述支承部的厚度小。
14.一种电子部件搬送装置，其特征在于，具备:把持装置，该把持装置把持电子部件；移动装置，该移动装置使所述把持装置在相互正交的第一轴和第二轴、以及与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴合计三个轴向上移动；控制装置，该控制装置控制所述移动装置的动作，所述把持装置具有:使所述电子部件在所述第一轴向上移动的第一压电马达、使所述电子部件在所述第二轴向上移动的第二压电马达以及使所述电子部件绕所述第三轴旋转的第三压电马达，所述第一压电马达至第三压电马达是权利要求广4中的任意一项所述的压电马达。
15.一种压电马达，其特征在于，具备:压电元件；电极，该电极配置于所述压电元件的一方的面并对所述压电元件施加电压；电线，该电线对所述电极施加电压；接合部，该接合部将所述电极与所述电线电接合；收纳壳体，该收纳壳体收纳所述压电元件；以及支承部，该支承部设置在所述压电元件与所述收纳壳体之间，并支承所述压电元件的所述一方的面，所述接合部设置在所述电极与所述收纳壳体的间隙，所述接合部的从所述电极起算的高度以及所述电线的外径比所述支承部的厚度小，所述压电元件的所述一方的面包含所述压电元件进行弯曲振动的方向。
16.—种机器人手,其特征在于,具备:指部;连结所述指部的关节部；配置于所述关节部的压电元件；电极，该电极配置于所述压电元件的一方的面并对所述压电元件施加电压；电线，该电线对所述电 极施加电压；接合部，该接合部将所述电极与所述电线电接合； 收纳壳体，该收纳壳体收纳所述压电元件；以及支承部，该支承部设置于所述压电元件与所述收纳壳体之间，并支承所述压电元件的所述一方的面，所述接合部设置于所述电极与所述收纳壳体的间隙，所述接合部的从所述电极起算的高度以及所述电线的外径比所述支承部的厚度小，所述压电元件的所述一方的面包含所述压电元件进行弯曲振动的方向。
17.—种机器人,其特征在于，具备权利要求16所述的机器人手。
18.一种电子部件搬送装置，其特征在于，具备权利要求15所述的压电马达。
全文摘要
本发明提供压电马达、驱动装置、电子部件搬送装置、电子部件检查装置、印刷装置、机器人手以及机器人。压电马达具备压电元件、设置于压电元件的电极、与电极连接的电线、将电极与电线接合的接合部、收纳压电元件的收纳壳体以及设置于压电元件与上述收纳壳体之间的支承部，接合部以及电线设置于电极与收纳壳体之间的间隙。
文档编号B65G47/74GK103151955SQ20121051374
公开日2013年6月12日 申请日期2012年12月4日 优先权日2011年12月6日
发明者水岛信幸 申请人:精工爱普生株式会社