Amhs暂存区系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种AMHS暂存区系统，其包括至少一个暂存设备；至少一个暂存区硅片盒存取机构，其包括设置于暂存区的安装部、抓取硅片盒的抓手以及连接安装部和抓手的可伸展机械臂。本发明的AMHS暂存区系统，可在暂存区设置一个或数个存取机构，并通过抓手将暂存设备上的硅片盒移动到离目标输送车或目标机台更近的暂存设备，实现各个位置硅片盒的移动，节省输送车存取行驶过程中的时间，从而提高了AMHS系统整体的效率。同时，本发明结构简单，适于工业化。
【专利说明】AMHS暂存区系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体集成电路物料输送设备【技术领域】，尤其涉及一种自动化物料传输系统的暂存区系统。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的发展,300mm娃片已经逐步取代200mm娃片成为主流,每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统(Automated Material HandlingSystems,简称AMHS)作为连接各个制造模块之间输送娃片的纽带的重要性也日益凸显出来。
[0003]现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间(tool to tool输送模式),或往返于机台与暂存区Stocker之间(走道间系统interbay与走道内系统intrabay)。如图1所示的采用走道间、走道内的输送系统，机台走道每一边的每一台机台10安装有娃片盒堆叠部20 (load port), OHT输送车70 (overhead hoist transport)能抓起堆叠部20上的娃片盒30,并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110,而娃片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用OHT输送车70，走道间系统100的输送则是先将硅片盒30以输送车70移至暂存区50中暂时储存，等到需要用到此硅片盒30时，再同样以输送车70搬送到指定机台10处。
[0004]可见，现有技术中暂存区内暂存的硅片盒都是靠OHT输送车存取，比如输送车A将硅片盒拾取后暂存于暂存区的P位置，位于远离P位置的Q位置走道的机台需要使用该硅片盒，那么输送车B就需要至少行驶P — Q的距离(假定输送车B已在P位置)，再加上路径中可能有的其他输送车，输送车B需要耗费很多时间来拾取该硅片盒。
[0005]因此，如何在暂存区内实现各个位置硅片盒的移动，来节省输送车存取行驶过程中的时间，提高AMHS系统整体的效率，是技术人员需要解决的技术问题之一。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种新的AMHS暂存区系统。
[0007]为实现上述目的，本发明提供一种AMHS暂存区系统，其包括:
[0008]至少一个暂存设备，布设于AMHS系统机台矩阵中间的暂存区；
[0009]至少一个暂存区硅片盒存取机构，其包括设置于暂存区的安装部、抓取硅片盒的抓手以及连接安装部和抓手的可伸展机械臂，用以将暂存区某一暂存设备上的硅片盒移动到暂存区的另一暂存设备。
[0010]进一步地，该存取机构为两个以上，且每个存取机构的抓取范围与其他至少一个存取机构的抓取范围中至少包含一个相同的暂存设备。
[0011]进一步地，所有该存取机构的总抓取范围包含所有暂存设备。
[0012]进一步地，该安装部设置于该暂存区的地面、顶面或暂存设备上。
[0013]进一步地，该安装部固定在该暂存区的地面、顶面或暂存设备上。
[0014]进一步地，该暂存区的地面或顶面具有导轨，该安装部可滑动地设置在该导轨上。
[0015]本发明采用以上技术方案，提供一种新的AMHS暂存区系统，其在暂存区设置一个或数个存取机构，并通过抓手将暂存设备上的硅片盒移动到离目标输送车或目标机台更近的暂存设备，实现各个位置硅片盒的移动，节省输送车存取行驶过程中的时间，从而提高了AMHS系统整体的效率。同时，本发明结构简单，适于工业化。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中:
[0017]图1是现有AMHS系统的结构示意图；
[0018]图2是本发明第一实施例的AMHS暂存区系统平面示意图；
[0019]图3是本发明第二实施例中AMHS暂存区系统的存取机构结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]第一实施例
[0021 ] 请参阅图1，本实施例的AMHS暂存区系统包括:
[0022]十八个暂存设备，布设于AMHS系统机台矩阵中间的暂存区1，具体包括第一暂存区11的四个A暂存设备21、第二暂存区12的两个AB暂存设备212、第三暂存区13的两个B暂存设备22、第四暂存区14的两个BC暂存设备223、第五暂存区15的两个C暂存设备23、第六暂存区16的两个⑶暂存设备234以及第七暂存区17的四个D暂存设备24 ；
[0023]四个暂存区硅片盒存取机构，具体包括第一存取机构31、第二存取机构32、第三存取机构33以及第四存取机构34，每个存取机构均包括固定于暂存区地面上的安装部、抓取硅片盒的抓手以及连接安装部和抓手的可伸展机械臂，用以将暂存区某一暂存设备上的硅片盒移动到暂存区的另一暂存设备。
[0024]其中，本实施例中第一存取机构31的抓取范围包含第一暂存区11和第二暂存区12的共六个暂存设备；第二存取机构32的抓取范围包含第二暂存区12、第三暂存区13和第四暂存区14的共六个暂存设备；第三存取机构33的抓取范围包含第四暂存区14、第五暂存区15和第六暂存区16的共六个暂存设备；第四存取机构34的抓取范围包含第六暂存区16和第七暂存区17的共六个暂存设备。
[0025]通过本实施例上述设置，第二存取机构32可以将第二暂存区12中AB暂存设备212上的硅片盒转送至第四暂存区14中BC暂存设备223上，供离BC暂存设备223较近的输送车或机台所用。
[0026]利用相同原理，第一暂存区11的硅片盒可以依次通过第一存取机构31、第二存取机构32、第三存取机构33和第四存取机构34转移到第七暂存区17中。
[0027]第二实施例[0028]请继续参阅图2，本实施例中暂存区以及暂存设备的设置同第一实施例，而在第一实施例中四个存取机构所成直线上布设一条滑轨6，滑轨6贯穿第一暂存区至第七暂存区。
[0029]滑轨6上设置可沿着滑轨6滑动行驶的第五存取机构5，第五存取机构5包括安装部、机械臂53以及抓手54，安装部包括设置在滑轨6之上的滑块51和滑块51上固定的支撑柱52，机械臂53具有可弯折的两段臂，其两端分别连接于支撑柱52和抓手54。
[0030]通过第二实施例上述设置，第五存取机构可以沿着滑轨6存取暂存区中任意暂存设备上的硅片盒，并可存取暂存设备上任意高度的硅片盒。
[0031]在其他实施例中，为了增加暂存区内硅片盒的转移效率，可以设置多条滑轨和多个存取机构，或在一条滑轨上设置多个存取机构，并在滑轨上设置多个限位件以防止存取机构发生碰撞。
【权利要求】
1.一种AMHS暂存区系统，其特征在于，其包括: 至少一个暂存设备，布设于AMHS系统机台矩阵中间的暂存区； 至少一个暂存区硅片盒存取机构，其包括设置于暂存区的安装部、抓取硅片盒的抓手以及连接安装部和抓手的可伸展机械臂，用以将暂存区某一暂存设备上的硅片盒移动到暂存区的另一暂存设备。
2.根据权利要求1所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该存取机构为两个以上，且每个存取机构的抓取范围与其他至少一个存取机构的抓取范围中至少包含一个相同的暂存设备。
3.根据权利要求2所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:所有该存取机构的总抓取范围包含所有暂存设备。
4.根据权利要求1所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该安装部设置于该暂存区的地面、顶面或暂存设备上。
5.根据权利要求4所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该安装部固定在该暂存区的地面、顶面或暂存设备上。
6.根据权利要求4所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该暂存区的地面或顶面具有导轨，该安装部可滑动地设置在该导轨上。
【文档编号】B65G61/00GK103612917SQ201310447589
【公开日】2014年3月5日 申请日期:2013年9月26日 优先权日:2013年9月26日
【发明者】钱刚 申请人:上海集成电路研发中心有限公司