顶棚保管系统以及顶棚空间中的货物的保管方法与流程

本发明涉及使用桥式吊车、往复台车和暂存区在处理装置的上部保管货物的技术。

背景技术：

在洁净室等中，使用利用桥式吊车将大量的货物相对于处理装置搬入搬出的系统。专利文献1(JP4296601)提出有如下技术：在处理装置的前面的装载口上配置本地台车，并在本地台车的轨道和桥式吊车的轨道之间配置暂存区。在该系统中，桥式吊车专用于至暂存区为止的搬送，暂存区与处理装置的装载口之间的搬送由本地台车进行。

专利文献2(JP2012-114406)公开了如下技术：使桥式吊车的轨道和本地台车的轨道在装载口的上方上下重叠配置，并在装载口的上方设置桥式吊车和本地台车共用的暂存区。在该系统中，桥式吊车和本地台车均能够相对于装载口将货物搬入搬出，共用暂存区。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP4296601

专利文献2：JP2012-114406

技术实现要素：

发明所要解决的课题

专利文献1、2的系统均使用处理装置前面的通路侧的顶棚空间来配置暂存区。由于暂存区的设置空间被限制在通路内，因此在暂存区的数量上产生限制。此外，虽说是顶棚空间，但在通路内配置暂存区也会限制通路的利用。

本发明的课题在于，针对使用桥式吊车的系统，使得不会堵塞通路内的空间并且能够设置收容能力高的暂存区。

用于解决课题的手段

本发明的顶棚保管系统是利用桥式吊车相对于具有装载口的处理装置搬送货物的系统，其特征在于，具备：

桥式吊车的行驶路线；

相对于处理装置将货物搬入搬出的往复台车；

往复台车的行驶路线；

桥式吊车和往复台车均能够将货物自由地搬入搬出的OHT口；以及

设置在上述处理装置上部的顶棚空间、且用于供往复台车载置货物的暂存区，

上述往复台车的行驶路线配置成使得往复台车能够在处理装置的装载口、上述暂存区以及上述OHT口之间自由地交接货物。

本发明的顶棚空间中的货物的保管方法为，

使用顶棚保管系统，

利用桥式吊车相对于OHT口将货物搬入搬出，

利用往复台车在OHT口与暂存区以及装载口之间将货物搬入搬出，并且在暂存区保管货物，

上述顶棚保管系统具备：桥式吊车的行驶路线；相对于处理装置将货物搬入搬出的往复台车；往复台车的行驶路线；桥式吊车和往复台车均能够将货物自由地搬入搬出的OHT口；以及设置在上述处理装置上部的顶棚空间、且用于供往复台车载置货物的暂存区，上述往复台车的行驶路线配置成使得往复台车能够在处理装置的装载口、上述暂存区以及上述OHT口之间自由地交接货物。

在本发明中，由于在处理装置上部的顶棚空间设置暂存区，因此能够设置不利用通路空间的暂存区，该暂存区能够利用处理装置上部的广阔空间，因此能够保管多个货物。在本说明书中，与顶棚保管系统相关的记载也能够直接适用于顶棚空间中的货物的保管方法。并且，在本说明书中，工具意味着处理装置，轨道、行驶路线以及路线意思相同。

优选形成为，上述桥式吊车的行驶路线设置成通过处理装置上部的顶棚空间，

上述OHT口设置在处理装置上部的顶棚空间，

上述往复台车的行驶路线是从装载口的上部经由连接部而过渡至处理装置上部的顶棚空间的U字状的行驶路线，

在上述U字状的行驶路线内设置有至少2列上述暂存区。

这样，能够利用处理装置上部的顶棚空间设置桥式吊车的行驶路线、OHT口、暂存区以及往复台车的行驶路线的一半。往复台车的行驶路线呈U字状，能够将暂存区至少设置2列。

优选形成为，上述装载口设置在处理装置前面的通路侧，

作为上述OHT口，设置有相比上述装载口靠通路侧的OHT口、和设置在处理装置上部的顶棚空间的靠处理装置侧的OHT口这2种OHT口，

作为桥式吊车的行驶路线，设置有用于相对于靠通路侧的OHT口将货物搬入搬出的、设于通路上方的行驶路线、和用于相对于靠处理装置侧的OHT口将货物搬入搬出的、设于处理装置上方的行驶路线，

作为往复台车的行驶路线，设置有用于相对于装载口以及靠通路侧的OHT口将货物搬入搬出的行驶路线、用于相对于暂存区以及靠处理装置侧的OHT口将货物搬入搬出的行驶路线、以及连接这些行驶路线的连接部。

这样，桥式吊车能够从通路上方的行驶路线和处理装置上方的行驶路线双方相对于处理装置将货物搬入搬出。另外，往复台车的行驶路线例如呈U字状地在连接部折返。此处，若在U字的2片之间配置2列而非1列暂存区，则能够提高暂存区的收容能力。例如，在图1中，若在行驶路线14的正下方追加暂存区，则能够配置3列暂存区。

并且，优选形成为，上述往复台车与上述桥式吊车为相同构造，设置有连接上述桥式吊车的行驶路线和上述往复台车的行驶路线的连接部。若使得往复台车和桥式吊车能够在相同的行驶路线上行驶，则能够容易地将往复台车配置在该行驶路线上以及容易进行往复台车的维修。此处，若将往复台车和桥式吊车形成为相同构造、即形成为相同的硬件构造，则无需作为往复台车的维修用而准备专用的部件等。并且，当在往复台车发生故障时以及往复台车的搬送能力不足时等，能够将桥式吊车作为往复台车运用，若存在过剩的往复台车，则能够作为桥式吊车运用。

附图说明

图1是实施例的顶棚保管系统的俯视图。

图2是实施例的顶棚保管系统的主视图。

图3是示出实施例的顶棚保管系统中的控制系统的框图。

图4是示出变形例的控制系统的框图。

图5是示出朝工具(处理装置)搬入的搬入算法的流程图。

图6是示出从工具搬出的搬出算法的流程图。

具体实施方式

以下示出用于实施本发明的最佳实施例。本发明的范围应当基于权利要求书的记载并斟酌说明书的记载以及本领域中的公知技术而根据本领域技术人员的理解来确定。

实施例

图1～图6示出实施例的顶棚保管系统6。在图1、图2中，2是处理装置(工具)，例如是半导体晶片的处理装置、检查装置等。处理装置2在其前面的通路38侧具备1个～多个装载口4，形成收容有半导体晶片的容器等货物40的入口以及出口。另外，在该说明书中，如图1、图2所示，将处理装置2的装载口4侧称作前方或者前面，将其相反侧称作后方或者后部。并且，图2的5是洁净室等的顶棚，将在通路38步行的人的手够不到的空间称作顶棚空间，尤其是在本发明中，利用处理装置2的上部的顶棚空间。

6是顶棚保管系统，由桥式吊车(OHT)22及其行驶路线8～10、往复台车(OSS)24及其行驶路线12、14、OHT口30、31以及暂存区32构成。行驶路线8～10、12、14由设置在顶棚空间的轨道构成，轨道的构造是共通的。并且桥式吊车22与往复台车24构造相同，若作为包含行驶路线8～10的桥式吊车的系统的一部分运用则成为桥式吊车22，若作为OSS区域36内的本地的台车运用则成为往复台车24。桥式吊车22以及往复台车24的物理构造相同，均能够在行驶路线8～10、12、14上行驶，能够利用未图示的升降台装夹货物40而使货物40升降，且能够使升降台左右横向移动。另外，在货物的交接中也可以不进行升降。

桥式吊车22的行驶路线8、9尤其是行驶路线8也可以并不设置。行驶路线9在通路38的顶棚空间与处理装置2的前面平行地配置，行驶路线10配置在处理装置2的后部上方的顶棚空间。往复台车24的行驶路线12在装载口4上部的顶棚空间与处理装置2的前面平行地配置，行驶路线14配置在处理装置2的后部上方的顶棚空间，行驶路线9、10、12、14相互平行，例如位于同一高度水平。此外，桥式吊车22在行驶路线8、9、10上如图1的空白箭头那样朝一个方向行驶。往复台车24如标注了阴影的箭头那样原则上在1个OSS区域36内经由连接部16在行驶路线12、14上往复行驶。进而，行驶路线12、14和连接部16作为整体而构成U字状的行驶路线。另外，OSS意味着架空式分段运输往复车或者架空式分段运输系统，OHT意味着架空式提升输送机。往复台车24的行驶路线14、12经由连接部20、21而与桥式吊车22的行驶路线9、8、10连接。

在行驶路线10、14间的处理装置2的后部顶棚空间配置有多个OHT口30，在行驶路线9、12间的通路38的顶棚空间配置有多个OHT口31。并且，在行驶路线12、14间例如配置有2列暂存区32。进而，OSS区域36例如针对每个处理装置2、或者针对每多个处理装置2设置，在各OSS区域36配置有1台以上例如1台往复台车24。行驶路线12、14配置成连接多个OSS区域36，整体呈例如直线状。在行驶路线12、14的至少一方的端部设置有退避部18，使需要维修的往复台车24、相比搬送负荷而过剩的往复台车24、桥式吊车22等退避，在往复台车24、桥式吊车22为电池驱动的情况下，根据需要对电池进行充电。

图3中示出桥式吊车22以及往复台车24的管理。42为MES(生产管理系统)，管理洁净室内的半导体的生产，44为MCS(物料管理系统)，管理相对于处理装置2的货物的搬入搬出，单元控制器46以单个或者多个处理装置2为单位而管理处理装置2。在图3中，桥式吊车22由MCS44管理，往复台车24由单元控制器46管理，处理装置2、往复台车24以及桥式吊车22经由合适的通信路径48通信。

在图4的例子中，往复台车24由MCS44管理，与图3同样，处理装置2、往复台车24以及桥式吊车22经由通信路径48通信。

图5中示出货物朝处理装置搬入的搬入算法。在步骤S1中，利用桥式吊车将货物朝OHT口卸货，往复台车当存在来自处理装置(工具)的要求的情况下等(步骤S2)从OHT口朝装载口搬入货物(步骤S3)。当不存在来自处理装置的要求的情况下等，往复台车从OHT口朝暂存区搬入货物(步骤S4)，并等待来自处理装置的要求等而朝装载口搬入货物(步骤S2、S3)。

图6示出货物从处理装置搬出的搬出算法，往复台车在步骤S11从装载口搬出货物，并遵照经由处理装置的来自单元控制器的指示(图3的情况)、或者来自MCS的指示(图4的情况)等，在OHT口和暂存区之间选择货物的卸货目的地(步骤S12～S14)。进而，桥式吊车搬送载置于OHT口的货物(步骤S15)。

在实施例中存在以下特征。

1)能够利用处理装置2后部的顶棚空间配置行驶路线10、14、OHT口30、暂存区32。这些部分不会堵塞通路38上的空间。若一并使用行驶路线9、10且一并使用行驶路线12、14，则相对于处理装置2的货物的搬送能力为大约2倍，能够在2列暂存区32保管多个货物。

2)若将OHT口30、31的上流侧分配用作货物从桥式吊车22的卸货、将下流侧分配用作由桥式吊车22进行的货物的搬出，则1台桥式吊车22能够持续执行卸货和搬出的机会增加。

3)由于往复台车24和桥式吊车22为相同构造，行驶路线12、14与行驶路线8～10连接，因此能够将往复台车24容易地配置于行驶路线12、14，能够使其行驶至能够进行维修的区域。并且，不需要往复台车24专用的部件、维修的设备等。此外，也能够将往复台车24作为桥式吊车22运用、将桥式吊车22作为往复台车24运用，能够进行与搬送负荷以及处理装置2的运转状况等相应的配置。

4)能够使需要维修的往复台车24退避至退避部18。

5)由于往复台车24在OSS区域36内往复行驶，不会受到其他区域的往复台车24的影响，因此不会发生拥堵等。

另外，行驶路线9、10中的一方也可以并不设置。并且，桥式吊车22、往复台车24也可以是不具备升降台的类型的台车。OHT口30、31以及暂存区32并不限于路线间的侧暂存区，也可以形成为位于一方的路线的正下方的下部暂存区。在该情况下，通过横向移动而从另一方的路线交接货物40。若一并使用侧暂存区与下部暂存区，则能够增大OHT口30以及暂存区32的规模。例如能够在行驶路线10的正下方追加桥式吊车22专用的下部暂存区，能够在行驶路线14的正下方追加下部暂存区，从而形成3列暂存区32。

行驶路线12、14与行驶路线8～10连接，桥式吊车22与往复台车24为相同构造。因此，能够将行驶量少的行驶路线12、14的一部分分配成过剩的桥式吊车22的退避处以及桥式吊车22的充电处。

标号说明

2：工具；4：装载口；5：顶棚；6：顶棚保管系统；8～10：OHT用的行驶路线；12、14：OSS用的行驶路线；16：连接部；18：退避部；20、21：连接部；22：OHT；24：OSS；30、31：OHT口；32：暂存区；36：OSS区域；38：通路；40：货物；42：MES；44：MCS；46：单元控制器；48：通信路径。