一种大尺寸靶材的包装的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种大尺寸靶材的包装，包括粘贴在靶材工作面上的保护膜，以及设置在靶材外部的内层包装袋，设置在该内层包装袋外部的次外层包装袋，以及设置在该次外层包装袋外部的外层包装袋；粘贴有保护膜的靶材、内层包装袋、次外层包装袋和外层包装袋中相邻两者之间均为真空状态。本实用新型结构简单，可以有效保证大尺寸靶材在生产和运输过程中工作面不受损伤。
【专利说明】一种大尺寸靶材的包装
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种大尺寸靶材的包装，用于平板显示和太阳能电池用大尺寸或 者超大尺寸平面靶材。
【背景技术】
[0002] 溅射靶材是半导体行业的工业原料和耗材之一。由于大规模集成电路对制造环 境的苛刻要求，因此对溅射靶材的清洁和包装有着极高的要求。专利文献CN201660228U、 CN201545361U、CN202529378U、CN203173156U和CN203173157U分别公开了用于靶材的包装 装置。由于半导体用溅射靶材的尺寸相对较小，即使是当前主流的12英寸生产线使用的靶 材，其最大直径尺寸不超过巾600mm。因此，半导体靶材一直采用了两层以上的真空包装，靶 材本身没有进行特殊处理。
[0003] 但是现有的半导体靶材的包装方法在平板显示和太阳能电池方面的溅射靶材 包装存在局限性。以平板显示为例，其所用的生产设备及材料尺寸也越来越大。表1为 TFT-IXD平板显示玻璃基板与配套靶材尺寸变化表。
[0004] 表1TFT-IXD平板显示玻璃基板与配套靶材尺寸变化表
[0005]
【权利要求】
1. 一种大尺寸祀材的包装，其特征在于，包括粘贴在祀材工作面上的保护膜，w及设置 在祀材外部的内层包装袋，设置在该内层包装袋外部的次外层包装袋，W及设置在该次外 层包装袋外部的外层包装袋；粘贴有保护膜的祀材、内层包装袋、次外层包装袋和外层包装 袋中相邻两者之间均为真空状态。
2. 根据权利要求1所述的大尺寸祀材的包装，其特征在于，所述保护膜带有颜色，区别 于祀材本来的颜色。
3. 根据权利要求1所述的大尺寸祀材的包装，其特征在于，所述保护膜的表面涂有粘 接剂，该粘接剂为不残留胶。
4. 根据权利要求3所述的大尺寸祀材的包装，其特征在于，所述不残留胶为天然橡胶 压敏胶粘剂、合成橡胶或再生胶压敏胶粘剂、热塑性弹体压敏胶粘剂、或丙締酸醋压敏胶粘 剂。
5. 根据权利要求1-3中任一项所述的大尺寸祀材的包装，其特征在于，所述保护膜的 材质为高分子塑料制品。
6. 根据权利要求5所述的大尺寸祀材的包装，其特征在于，所述保护膜的材质为聚己 締薄膜、聚脂薄膜和聚丙締薄膜。
7. 根据权利要求1所述的大尺寸祀材的包装，其特征在于，所述保护膜的厚度为 0.03mm ?0. 1mm。
【文档编号】B65D85/48GK204223506SQ201420655815
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月5日 优先权日:2014年11月5日
【发明者】王兴权, 刘红宾, 李勇军, 高岩, 朱晓光, 刘君民, 徐学礼, 董亭义, 何金江 申请人:有研亿金新材料有限公司