本发明涉及取出装置和保管装置。
背景技术：
作为收容半导体晶圆的半导体搬送用盒，例如有foup(front-openingunifiedpod，前开式标准晶圆盒)。在保管foup的保管装置中，用于进行出入库的端口与货架之间的foup的移载利用移载装置来进行。在具备移载装置的保管装置中，在因移载装置的动作故障等而不能进行移载的情况下，人工进行foup的移载。但是，近年来，由于半导体晶圆大直径化，伴随于此，foup也大型化(大重量化)，因此人工处置foup困难。
因此，例如专利文献1中记载的保管装置中除了移载装置之外还具备能够手动操作的手动搬送装置。该手动搬送装置具备：能够把持foup的凸缘的把持部、连结在把持部上的传送带、卷起传送带的提升部、以及能够在保管装置内的顶棚上滑动地设置的滑动部，在不能使用移载装置的情况下，手动进行foup的搬送。
在先技术文献
专利文献
【专利文献1】日本特开2011－1149号公报
发明的概要
发明要解决的问题
所述保管装置的手动搬送装置中，需要将把持部安装到foup的凸缘上。但是，将把持部插入foup与货架之间狭窄的间隙中进行作业不容易。因此，有关foup等半导体搬送盒的手动进行的搬送要求进一步改善操作性。
技术实现要素：
本发明的一个方面以提供实现操作性的提高的取出装置和保管装置为目的。
本发明的一个方面所涉及的取出装置为在具备经由前方开口的开口部进出货物的货架的保管装置中，用来从货架经由开口部取出货物，具备：从货物的前方一侧支承货物的前方部分的支承部，经由连结部件连结在能够使支承部在上下方向移动的移动装置上的连结部，以及将连结部夹在中间地设置在与支承部相反一侧的把持部。
本发明的一个方面所涉及的取出装置具备从货物的前方一侧支承货物的前方部分的支承部。因此，即使在货物与货架之间的间隙狭窄的情况下，由于支承货物的前方部分，因此不用在狭窄的间隙中进行作业就能够支承货物。并且，借助经由连结部件连结在连结部上的移动装置，支承部能够在上下方向移动。因此，经由在利用支承部支承着货物的状态下由移动装置使支承部移动到上方，能够将货物从货架抬起。由此，取出装置中能够容易地从货架取出货物，实现了操作性的提高。并且，在从货架取出货物时，支承部处于被移动装置经由连结部吊挂的状态。此时，由于货物的重量，取出装置向货物一侧倾斜。因此，在取出装置中，把持部夹着连结部设置在与支承部相反的一侧。通过该结构，能够利用把持部容易地施加克服支承部因货物的重量而倾斜的力，因此容易保持取出装置的平衡。因此，能够稳定地操作取出装置，所以实现了操作性的提高。
在一个实施方式中，支承部可以具有支承货物的底面的第1支承部和限制支承在该第1支承部上的货物移动的第2支承部。根据该结构，能够利用第1支承部稳定地支承货物。并且，能够利用第2支承部防止货物的位置偏离。因此，能够稳定地取出货物。
在一个实施方式中，也可以第2支承部设置在比第1支承部靠上方，限制货物的上下方向的移动。根据该结构，能够防止利用第1支承部支承着前方部分的底面的货物向后方一侧倾斜。因此，能够稳定地取出货物。
在一个实施方式中，还可以具备设置在把持部一侧、可装卸地支承配重部件的安装部。根据该结构，通过配合货物的重量地将配重部件安装到安装部，能够根据货物的重量调整平衡。由此，能够更稳定地取出货物。
在一个实施方式中，也可以把持部具备配置在比支承部靠上方的第1把持部和配置在比支承部靠下方的第2把持部。根据该结构，能够把持并操作第1把持部和第2把持部这2个地方，因此能够更稳定地取出货物。
本发明的一个方面所涉及的保管装置为具备以下部分的保管装置：框体，在框体内具备多个、经由前方开口的开口部进出货物的货架，进行货物出入库的端口，在货架与端口之间移载货物的移载装置，以及用来将货物从货架经由开口部取出到前方的取出装置；取出装置具备：从货物的前方一侧支承货物的前方部分的支承部，经由连结部件连结在能够使支承部在上下方向移动的移动装置上的连结部，以及将连结部夹在中间地设置在与支承部相反的一侧的把持部。
本发明的一个方面所涉及的保管装置具备取出装置。取出装置具备从货物的前方一侧支承货物的前方部分的支承部。因此，即使在货物与货架之间的间隙狭窄的情况下，也由于支承货物的前方部分，因此不用在狭窄的间隙中进行作业就能够支承货物。并且，借助经由连结部件连结在连结部上的移动装置，支承部能够沿上下方向移动。因此，经由在利用支承部支承着货物的状态下由移动装置使支承部移动到上方，能够将货物从货架抬起。由此，即使在移载装置不动作的情况下，保管装置中也能够利用取出装置容易地从货架取出货物。并且，在从货架取出货物时，支承部处于被移动装置经由连结部吊挂的状态。此时，由于货物的重量，取出装置向货物一侧倾斜。因此，在取出装置中，把持部夹着连结部设置在与支承部相反的一侧。利用该结构，能够利用把持部容易地施加克服支承部因货物的重量而倾斜的力，因此容易保持取出装置的平衡。因此，由于能够稳定地操作取出装置，所以实现了操作性的提高。
发明的效果：根据本发明的一个方面，实现了操作性的提高。
附图说明
图1为表示具备一个实施方式所涉及的保管装置的搬送系统的外观的立体图；
图2为示意地表示图1所示的保管装置的内部结构的剖视图；
图3为表示货架的载置部和固定部的图；
图4为表示一个实施方式所涉及的取出装置的立体图；
图5为表示一个实施方式所涉及的取出装置的立体图；
图6为取出装置的侧视图；
图7为取出装置的顶视图；
图8(a)为表示挂钩部与前部凸缘卡合前的状态的图，图8(b)为表示挂钩部与前部凸缘卡合着的状态的图；
图9(a)为表示挂钩部分与前部凸缘卡合前的状态的图，图9(b)为表示挂钩部分与前部凸缘卡合着的状态的图。
具体实施方式
下面参照附图对本发明的优选实施方式详细地进行说明。另外，在附图的说明中，同一或相当的要素添加同一标记，省略重复的说明。
[搬送系统]
如图1及图2所示，搬送系统100具备搬运装置102、存放单元104、以及供搬运装置102行进的轨道r。并且，搬送系统100具备搬送指示部106、搬运装置控制器108和存放单元控制器110作为控制系统。搬送系统100依照半导体元件制造过程中的搬送时间表对各种制造装置和存放单元104等进行foup(front-openingunifiedpod，前开式标准晶圆盒)120的搬送，同时在存放单元104中进行foup120的收容或保管。
foup120为在存放单元104中收容和保管的货物，为收容多枚半导体晶圆的盒体。foup120被搬运装置102沿着轨道r搬送，同时为了在存放单元104内出入库或调整保管位置而被搬送。foup120具备：在前方一侧形成开口、同时在上面具有被搬运装置102把持(保持)的上部凸缘122的foup主体和关闭foup主体的开口的盖部(未图示)。在foup120的foup主体的前方一侧设置有前部凸缘123。前部凸缘123为foup主体的与安装盖部的位置相对应的外周边缘突出到外面的部分。foup120收容例如口径为300mm或450mm的半导体晶圆。foup120中在使半导体晶圆进出时打开盖部，在除此以外的时候关闭盖部而能够将内部保持气密性。
搬运装置102为以线性电动机为动力源的oht(overheadhoisttransport，桥式吊车)。搬运装置102沿轨道r行进。搬运装置102结构为，搬送foup120同时在轨道r的预定位置处停止，能够在各种制造装置和存放单元104等分别具备的端口132、133之间移载foup120。搬运装置102具备未图示的吊车、传送带和夹持器。搬运装置102的各部分由搬运装置控制器108控制。
存放单元104为能够收容多个由搬运装置102搬送的foup120的保管装置。存放单元104具备：主体部(框体)130、多个(这里为2个)端口132、133、多个货架134、自动搬送装置(移载装置)136和取出装置1(参照图4)。
在主体部130上设置有多个(这里为2个)开口部k1、k2。开口部k1、k2设置在主体部130的一个侧面上。在开口部k1、k2配置端口132、133。并且，在主体部130的一个侧面设置有操作者出入用的门d。
端口132、133经由开口部k1、k2遍及主体部130的内部和外部地设置。端口132、133结构为，能够在搬运装置102与存放单元104之间移载foup120。端口132、133具备能够移动foup120的滑动机构。
如图2所示，货架134在主体部130的内部沿上下方向设置多层(这里为8层)。货架134对置配置。在对置的货架134之间形成空间s。如图3所示，货架134具有载置foup120的载置部134a和支承固定载置部134a的固定部134b。
载置部134a为板状部件，俯视呈大致u字形。载置部134a上形成有前方开口的开口部135。即，载置部134a与foup120的宽度方向的两端部及后端部相抵接。并且，载置部134a上设置有多个(这里为3个)定位销134c。定位销134c呈圆柱形，从载置部134a的上表面(载置面)突出。当foup120载置在载置部134a上时，定位销134c插入foup120的底部形成的定位孔124中。定位销134c进行foup120的定位，同时限制foup120向前后左右方向移动。
固定部134b俯视呈大致u字形，设置在载置部134a的下部。固定部134b利用例如螺栓固定在配设于主体部130内的框架(未图示)上。
货架134在上下方向上的间隔只要当定位销134c离开foup120的定位孔124(foup120被抬起到比定位销134c的上端面靠上方)时不与上方的货架134干涉的程度就可以。即，货架134的间隔只要是在foup120的高度上加上定位销134c的高度后的尺寸左右就可以。利用这样的结构，能够提高存放单元104中foup120的收纳效率。
回到图1和图2，自动搬送装置136为经由存放单元控制器110的控制能够在多个货架134之间以及端口132、133与货架134之间自动地搬送foup120的堆装起重机。自动搬送装置136移动自由地设置在主体部130内的空间s中。
搬送指示部106为mcs(materialcontrolsystem，物料控制系统)。搬送指示部106结构为，根据作为主控制器的制造指示部(未图示)的半导体元件制造时间表作成搬送时间表，能够根据该搬送时间表控制搬运装置控制器108和存放单元控制器110。搬送指示部106对搬运装置控制器108指示搬运装置102进行的foup120的搬送，同时对存放单元控制器110指示存放单元104内部的foup120的搬送。
搬运装置控制器108结构为，经由搬送指示部106的指示控制搬运装置102，执行沿着轨道r的foup120的搬送，同时能够在各种制造装置和存放单元104等之间执行foup120的移载。
存放单元控制器110结构为，通过搬送指示部106的指示控制端口132、133和自动搬送装置136的各部分，与搬运装置102之间经由端口132、133执行foup120的移载(入库或出库)，同时控制自动搬送装置136，能够执行存放单元104内部的foup120的搬送(保管装置内搬送)。
[取出装置]
下面，对具有上述结构的存放单元104内部使用的取出装置1进行说明。取出装置1为用来在存放单元104内部手动从货架134取出foup120的装置。取出装置1结构为，在例如不能使用自动搬送装置136的情况下，能够将foup120取出到货架134的近身一侧的空间s(参照图2)。在图4中，分别设定了前后方向、左右方向和上下方向。另外，也有时将左右方向称为宽度方向，将上下方向称为高度方向。
如图4～图7中的任一图所示，取出装置1具备：主框架3、第1副框架5和第2副框架7、连结部9、11、支承部(第1支承部)13、第1把手(第1把持部)15和第2把手(第2把持部)17、卡止部(第2支承部、支承部)19、以及第1安装部27和第2安装部28。主框架3、第1副框架5和第2副框架7、连结部9、11、支承部13、第1把手15和第2把手17、卡止部19、以及第1安装部27和第2安装部28例如利用不锈钢等金属形成。
主框架3经由例如弯曲加工板状部件而被成型。主框架3的前表面3a呈大致矩形。主框架3的上部3b折曲到后侧。上部3b的截面呈大致l字形状。上部3b的上表面为平面。
第1副框架5和第2副框架7设置在主框架3的宽度方向(左右方向)的两端部。第1副框架5和第2副框架7具有相同的结构。下面以第1副框架5为一例具体地进行说明。
第1副框架5具有第1框架5a和第2框架5b。第1框架5a相对于主框架3的前表面3a向着后方一侧沿斜上方延伸。第1框架5a的后方一侧的端部位于比支承部13靠上方。
第2框架5b具有第1部分5c和第2部分5d。第1部分5c相对于主框架3的前表面3a向着后方一侧沿斜下方延伸。第1部分5c的延伸方向与前表面3a形成的角度例如与第1框架5a与前表面3a形成的角度相等。第2框架5b的第1部分5c与第1框架5a一体设置。即，第1框架5a与第1部分5c呈大致v字形。
第2部分5d连结在第1部分5c的一个端部上，延伸到比第1部分5c靠后方。第2部分5d沿与第1部分5c的延伸方向交叉的方向延伸。具体为，第2部分5d沿与主框架3的前表面3a近似正交的方向(前后方向)延伸。第2部分5d的后方一侧的端部位于比支承部13靠下方。第1框架5a的后方一侧的端部与第2框架5b的第2部分5d的后方一侧的端部设置在高度方向(上下方向)上相同的位置上。另外，第1部分5c和第2部分5d也可以一体成型。
第2副框架7具有第1框架7a和第2框架7b。第2框架7b具有第1部分7c和第2部分7d。
在第1副框架5与第2副框架7之间设置有增强部件6。增强部件6为为了确保第1副框架5和第2副框架7的刚性而设置的部件。增强部件6为例如圆柱形部件。增强部件6横跨第1副框架5和第2副框架7架设。在本实施方式中，设置2个增强部件6。增强部件6只要适当地配置在后述的第1把手15和第2把手17的安装位置以外的部分上就可以。增强部件6既可以根据设计设置适当数量，也可以不设置。
连结部9、11与设置在后述的链条滑块(移动装置)140的链条(连结部件)142上的挂钩(未图示)连结。连结部9、11固定在主框架3的上部3b上。连结部9、11经由例如焊接或螺栓紧固等固定在主框架3的上部3b上。连结部9、11在主框架3的上部3b上沿主框架3的宽度方向隔开预定间隔配置2个。连结部9、11具有环形连结部分9a、11a。所述链条142的挂钩钩挂在连结部分9a、11a上。
支承部13为板状部件，支承foup120的底面。支承部13设置在主框架3的前侧。支承部13位于主框架3的下部，比主框架3的前表面3a突出到前方。支承部13的支承面13a(上表面)为平面。支承面13a沿与主框架3的前表面3a近似正交的方向延伸。支承部13的长度尺寸(从主框架3的前表面3a突出到前方的尺寸)设定为能够支承foup120的前方部分。所谓foup120的前方部分为foup120的比中央部靠前侧的部分。支承部13的宽度尺寸设定为能够插入载置部134a的开口部135中的尺寸。即，支承部13的宽度尺寸设定在互相对置的一对载置部134a(参照图3)的间隔以下。
第1把手15和第2把手17安装在第1副框架5和第2副框架7上。第1把手15和第2把手17由操作者把持。第1把手15和第2把手17分别为圆柱形部件。第1把手15配置在第1副框架5和第2副框架7的第1框架5a、7a的后方一侧的端部上。具体为，第1把手15架设在第1副框架5的第1框架5a与第2副框架7的第1框架7a之间。由此，第1把手15沿着宽度方向延伸。第1把手15夹着固定在主框架3上的连结部9、11设置在与支承部13相反的一侧并且比支承部13靠上方。
第2把手17配置在第1副框架5和第2副框架7的第2框架5b、7b中的第2部分5d、7d的后方一侧的端部。具体为，第2把手17架设在第1副框架5的第2框架5b中的第2部分5d与第2副框架7的第2框架7b中的第2部分5d之间。由此，第2把手17沿宽度方向延伸。第2把手17夹着固定在主框架3上的连结部9、11而设置在与支承部13相反的一侧并且比支承部13靠下方。第1把手15和第2把手17配置在高度方向上相对置的位置上。
卡止部19具有第1卡止部21和第2卡止部23。第1卡止部21限制支承在支承部13上的foup120的上下方向的移动。第1卡止部21配置在主框架3的前表面3a一侧。第1卡止部21例如经由弯曲加工板状部件而成型。第1卡止部21具有沿高度方向延伸的主体部21a和设置在主体部21a上部的挂钩部21b。主体部21a和挂钩部21b被设置为一体。
主体部21a能够相对于主框架3沿高度方向移动地设置。主体部21a的下端部被收容在配置于主框架3的前表面3a的收容部3c中。主体部21a通过收容在收容部3c中而被保持在主框架3上。主体部21a被沿高度方向移动自由地收容在收容部3c内。主体部21a经由操作配置在第1把手15上的操作杆22沿高度方向移动。具体为，主体部21a被未图示的弹性部件向下施力。主体部21a和操作杆22利用钢丝22a连接。当操作杆22被操作时，主体部21a被钢丝22a提起到上方。由此，主体部21a移动到上方。当解除操作杆22的操作时，主体部21a靠弹性部件的施力移动到下方。主体部21a位于没操作操作杆22时的位置即最下方的状态为初始位置。
挂钩部21b经由主体部21a的上部向前侧弯曲而形成。即，挂钩部21b设置在比支承部13靠上方。挂钩部21b的截面呈大致l字形。如图6和图8(b)所示，挂钩部21b与foup120的前侧的前部凸缘123卡合。如图8(a)所示，当主体部21a借助操作杆22的操作而移动到上方时，挂钩部21b伴随该移动而移动到上方。当解除操作杆22的操作而主体部21a移动到下方时，挂钩部21b与foup120的前部凸缘123卡合。挂钩部21b的前端部与主体部21a之间的尺寸设定为前部凸缘123的厚度的程度。
第2卡止部23限制支承在支承部13上的foup120的宽度方向的移动。第2卡止部23具有框体24和卡止件25。框体24为板状部件，呈框形。框体24的外形呈近似长方形。框体24配置在主框架3与第1卡止部21之间。具体为，框体24以长度方向沿宽度方向的方式将其下端部固定在主框架3的前表面3a的上侧。框体24的宽度尺寸比主框架3的宽度尺寸大。具体为，框体24的宽度尺寸比foup120的宽度尺寸大。
卡止件25配置在框体24的各个拐角部。卡止件25具有：挂钩部分25a、操作杆25b、连结挂钩部分25a与操作杆25b的棒状连结部分25c、以及支承连结部分25c的支承部分25d。支承部分25d为筒状部件，配置在框体24的后面。连结部分25c的截面呈圆形。连结部分25c穿插到支承部分25d中，同时穿插到沿厚度方向贯穿框体24的通孔(未图示)中。连结部分25c能够旋转地支承在支承部分25d。
挂钩部分25a设置在连结部分25c的前端部。挂钩部分25a经由将连结部分25c的前端部弯曲成大致l字形而形成。挂钩部分25a与foup120的前部凸缘123卡合。操作杆25b设置在连结部分25c的后端部。
卡止件25随着操作杆25b的操作而进行挂钩部分25a对前部凸缘123的卡止及其解除。具体为，卡止件25中从像图9(a)所示那样挂钩部分25a的延伸方向沿高度方向延伸的位置开始，向像图9(b)所示那样挂钩部分25a的延伸方向沿宽度方向延伸地操作操作杆25b，经由这样使挂钩部分25a与前部凸缘123卡合，限制foup120沿左右方向移动。卡止件25结构为，在经由操作操作杆25b使挂钩部分25a旋转的位置上保持挂钩部分25a的状态(位置)。
第1安装部27设置在第1副框架5上。第2安装部28设置在第2副框架7上。第1安装部27和第2安装部28分别为板状部件，呈大致l字形。第1安装部27和第2安装部28可装卸地支承多个(本实施方式中为4个)配重部件30。配重部件30用例如不锈钢等金属形成，呈圆柱形。配重部件30架设在第1安装部27和第2安装部28上，支承在第1安装部27和第2安装部28上。具体为，第1安装部27和第2安装部28从配重部件30的两端部插入销轴支承配重部件30。借助配重部件30，在取出装置1中能够调整第1把手15和第2把手17一侧的重量。
[取出装置进行的foup的取出方法]
接着对使用了取出装置1的foup120的取出方法进行说明。首先，将设置在图2所示的链条滑块140的链条142上的挂钩安装到取出装置1的连结部9、11上。如图2所示，链条滑块140安装在设置于主体部130的顶棚上的挂钩(未图示)上。挂钩在主体部130的顶棚上隔开预定间隔配置多个。链条滑块140安装在离取出对象foup120最近的位置上配置的挂钩上。链条滑块140为构成取出装置1的一个要素。另外，链条142也可以预先安装到取出装置1的连结部9、11上。并且，连结部9、11与链条142连结的手段也可以是挂钩以外的手段。链条滑块140也可以悬挂在设置于主体部130的顶棚的轨道上。
接着，使取出装置1位于收容了取出对象的foup120的货架134之前。然后，将取出装置1的支承部13插入foup120的下方，使支承部13的支承面13a与foup120的底部相抵接。并且，操作操作杆22将第1卡止部21的挂钩部21b钩挂到foup120的前部凸缘123，利用挂钩部21b卡止前部凸缘123。并且，操作卡止件25的操作杆25b利用挂钩部分25a卡止前部凸缘123。
接着，操作链条滑块140，将取出装置1提起到上方。此时，为了使foup120抬起到比设置在载置部134a的定位销134c的上端面高的位置，利用链条滑块140将取出装置1抬起。然后，在该状态下操作第1把手15和/或第2把手17使取出装置1移动到近身一侧，从货架134取出foup120。像上述那样利用取出装置1取出foup120。
如以上说明过的那样，本实施方式所涉及的取出装置1具备从foup120的前方一侧支承货物的前方部分的支承部13。因此，即使在foup与货架134之间的间隙狭窄的情况下，由于支承foup120的前方部分，因此不用在狭窄的间隙中作业就能够支承foup120。并且，支承部13借助经由链条142连结在连结部9、11上的链条滑块140能够沿上下方向移动。因此，通过在利用支承部13支承foup120的状态下利用链条滑块140使支承部13移动到上方，能够将foup120从货架134抬起。由此，取出装置1中能够容易地从货架134取出foup120，实现操作性的提高。并且，从货架134取出foup120时，支承部13处于被链条滑块140经由连结部9、11吊挂的状态。此时，由于foup120的重量，取出装置1向foup120一侧倾斜。因此，在取出装置1中，第1把手15和第2把手17夹着连结部9、11而设置在与支承部13相反的一侧。利用该结构，能够利用第1把手15和第2把手17容易地施加克服foup120的重量引起的支承部13倾斜的力，因此容易保持取出装置1的平衡。因此，能够稳定地操作取出装置1，所以实现了操作性的提高。
在本实施方式中，支承部13支承foup120的底面。由此，能够稳定地支承foup120。并且，取出装置1具备第1卡止部21和第2卡止部23。由此，能够防止支承在支承部13上的foup120的位置偏离。因此，能够稳定地取出foup120。
在本实施方式中，第1卡止部21具有位于比支承部13靠上方的挂钩部21b，限制foup120的上下方向的移动。根据该结构，能够防止被支承部13支承底面的foup120向后方一侧倾斜。因此，能够稳定地取出foup120。
在本实施方式中，取出装置1具备设置在第1把手15和第2把手一侧、可装卸地支承配重部件30的第1安装部27和第2安装部28。根据该结构，通过配合foup120的重量地将配重部件30安装在第1安装部27和第2安装部28上，能够根据foup120的重量调整平衡。由此，能够更稳定地取出foup120。
在本实施方式中，取出装置1具备位于比支承部13靠上方的第1把手15和位于比支承部13靠下方的第2把手17。根据该结构，由于能够把持并操作第1把手15和第2把手17这2个地方，因此能够更稳定地取出foup120。
在本实施方式中，第1把手15和第2把手17沿左右方向延伸。根据该结构，利用第1把手15和第2把手17能够更容易地施加克服foup120的重量引起的支承部13倾斜的力。
本发明并不局限于本实施方式。例如，虽然上述实施方式中以用支承部13从下方支承foup120的形态为一例进行了说明，但支承部的结构并不局限于此。例如，支承部也可以是经由夹持foup120的前部凸缘123来支承foup120的形态。
虽然上述实施方式中，以取出装置1的各部分由不锈钢等金属形成的形态为一例进行了说明，但构成各部分的材料并不局限于此。构成各部分的材料只要是能够确保刚性的材料就可以。
虽然上述实施方式中，以支承部13支承foup120的底面的形态为一例进行了说明，但支承部只要是从foup120的前方一侧支承foup120的前方部分的结构就可以。例如，支承部也可以是夹持foup120的前部凸缘123来支承foup120的结构。
虽然上述实施方式中，以第1把手15和第2把手17沿左右方向延伸的形态为一例进行了说明，但第1把手15和第2把手17的结构并不局限于此。第1把手15和第2把手17也可以仅设置任何一个。并且，第1把手和第2把手也可以是沿着高度方向延伸的形态。并且，把手的位置也可以根据设计而适当设定。
虽然上述实施方式中，以卡止部19具有第1卡止部21和第2卡止部23的形态为一例进行了说明，但也可以是仅设置第1卡止部21和第2卡止部23中的任一个的形态。在没有设置第1卡止部21的情况下，支承部13优选支承foup120的前方部分和后方部分的结构。由此，能够避免foup120向后方一侧倾斜等这样的现象，能够稳定地支承foup120。
虽然上述实施方式中，以具备连结部9和连结部11这2个连结部的形态为一例进行了说明，但连结部只要设置1个以上就可以。
虽然上述实施方式中，以第1卡止部21的主体部21a经由操作操作杆22来沿上下方向移动的形态为一例进行了说明，但使主体部21a移动的手段并不局限于操作杆22。
虽然上述实施方式中，以使第1卡止部21的主体部21a沿上下方向移动来进行挂钩部21b与前部凸缘123的卡合及其解除、限制foup120沿上下方向移动的形态为一例进行了说明，但限制foup120沿上下方向的移动也可以是其他手段。同样，限制foup120沿左右方向的移动并不局限于第2卡止部23的形态，也可以是其他手段。
虽然上述实施方式中，以存放单元104中具备取出装置1的形态为一例进行了说明，但取出装置1也可以是根据需要设置在存放单元104中的形态。
虽然上述实施方式中，举半导体搬送盒的一种即foup作为货物的一例进行了说明，但货物并不局限于foup。例如，货物也可以是fosb(front-openingshippingbox前开门搬运盒)、mac(multi-applicationcarrier多应用载体)、晶圆·框架·盒体等。取出装置1能够用于这些半导体搬送盒的取出。
标记的说明，1-取出装置，9、11-连结部，13-支承部，15-第1把手(第1把持部)，17-第2把手(第2把持部)，19-卡止部，21-第1卡止部，23-第2卡止部，27-第1安装部，28-第2安装部，30-配重部件，104-存放单元(保管装置)，120-foup(货物)，130-主体部(框体)，134-货架，136-自动搬送装置(移载装置)。