一种PVD镀膜上下料系统的制作方法

文档序号:16847837发布日期:2019-02-12 22:28阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开一种PVD镀膜上下料系统,涉及自动化设计技术领域。该PVD镀膜上下料系统包括工作台和用于容纳成品或原料的料盘部,料盘部包括相互盖合的治具板和盖板,多个料盘部设置在循环组件上并由循环组件带动在多个预设位置之间移动,且多个料盘部的运动轨迹封闭;除尘组件能抓取循环组件上的盖板以进行除尘,并将除尘后的盖板盖设在治具板上,下料机械手能将成品从循环组件上抓取并码放在下储料部内,上料机械手能将原料从上储料部内抓取并码放在定位平台上,定位机械手能抓取原料并码放在循环组件上的治具板上。本发明提出的PVD镀膜上下料系统,结构设计合理,上下料速度快,生产效率高。

技术研发人员:许钊;吴丰礼
受保护的技术使用者:广东拓斯达科技股份有限公司
技术研发日:2018.11.21
技术公布日:2019.02.12
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