一种硅片分选用上料装置的制作方法

文档序号:21811345发布日期:2020-08-11 21:17阅读:149来源:国知局
一种硅片分选用上料装置的制作方法

本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体为一种硅片分选用上料装置。



背景技术:

硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力,无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题,也无论计算的工作量有多大,工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它,并下达解题的思路和指令,计算机就能在极短的时间内把答案告诉你。

目前市场上的硅片在上料时大多通过丝杠垂直升降,当需要上料较多的硅片时就会造成质量较重,仅仅通过螺纹的旋合难以将硅片支撑,容易造成螺纹滑丝松动的问题,另外,现有的硅片上料难以将硅片进行水平输送,从而保证上料位置的精度。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种硅片分选用上料装置,以解决上述背景技术中提出现有的硅片上料不稳定和难以水平移动上料的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片分选用上料装置,包括固定板,所述固定板的一侧外壁上通过螺栓固定连接有第一电机箱,所述第一电机箱的内部设置有第一电机,所述第一电机的一端通过转轴转动连接有第一主动齿轮,所述固定板的内部靠近第一主动齿轮的一侧位置处设置有第一从动齿轮,所述第一从动齿轮与第一主动齿轮通过轮齿啮合连接,且第一从动齿轮的一侧外壁上设置有第一丝杠,所述第一丝杠的一侧外壁上通过螺纹旋合连接有第一移动座,所述第一移动座的一侧外壁上设置有支撑轨,所述支撑轨的底部设置有支撑台。

优选的,所述支撑台的顶部靠近支撑轨的一侧位置处设置有第二电机箱,所述第二电机箱的内部底部通过螺栓固定连接有第二电机,所述第二电机的一端通过转轴转动连接有第二主动齿轮,所述支撑台的内部设置有第二从动齿轮,所述第二从动齿轮与第二主动齿轮通过轮齿啮合连接。

优选的,所述第二从动齿轮的顶部设置有第二丝杠,所述第二丝杠的一侧外壁上通过螺纹旋合连接有第二移动座,所述第二移动座的一侧外壁上设置有支撑板,所述支撑板上远离第二移动座的一侧外壁上设置有滑块,所述滑块的一侧外壁上设置有放置台。

优选的,所述固定板的一侧外壁上设置有限位杆,所述支撑轨的一侧外壁上开设有与限位杆相对应的限位槽,所述限位杆的一侧外壁上嵌入有第一滚珠。

优选的,所述支撑轨的内部设置有卡座,所述卡座的一侧外壁上开设有卡槽。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该硅片分选用上料装置,通过水平方向上和垂直方向上的丝杠实现硅片在上料时实现水平垂直移动,保证上料位置的精度,便于后续硅片拿取的精度,通过支撑轨内的卡座和卡槽可以将升降后的放置台进行支撑,在保证正常升降稳定性的同时还为放置台提供一定的支撑力,避免出现螺纹滑丝松动的问题,另外,通过水平的限位杆和限位槽为放置台的水平移动提供支撑,避免出现倾斜的问题,保证硅片上料的稳定。

附图说明

图1为本实用新型正视图;

图2为本实用新型支撑轨后视图;

图3为本实用新型侧视图;

图4为本实用新型固定板后视图;

图5为本实用新型支撑轨正视图;

图6为本实用新型支撑轨俯视图;

图7为本实用新型卡座侧视图;

图8为本实用新型a处放大图。

图中:1、固定板;2、第一电机箱;3、第一电机;4、第一主动齿轮;5、第一丝杠;6、第一移动座;7、支撑台;8、第二电机箱;9、支撑轨;10、第二电机;11、第二主动齿轮;12、第一从动齿轮;13、第二从动齿轮;14、第二丝杠;15、第二移动座;16、支撑板;17、滑块;18、放置台;19、限位杆;20、限位槽;21、第一滚珠;22、卡座;23、卡槽;24、第二滚珠。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-8,本实用新型提供一种技术方案:一种硅片分选用上料装置,包括固定板1、第一电机箱2、第一电机3、第一主动齿轮4、第一丝杠5、第一移动座6、支撑台7、第二电机箱8、支撑轨9、第二电机10、第二主动齿轮11、第一从动齿轮12、第二从动齿轮13、第二丝杠14、第二移动座15、支撑板16、滑块17、放置台18、限位杆19、限位槽20、第一滚珠21、卡座22、卡槽23、第二滚珠24,固定板1的一侧外壁上通过螺栓固定连接有第一电机箱2,第一电机箱2的内部设置有第一电机3,第一电机3的一端通过转轴转动连接有第一主动齿轮4,固定板1的内部靠近第一主动齿轮4的一侧位置处设置有第一从动齿轮12,第一从动齿轮12与第一主动齿轮4通过轮齿啮合连接,且第一从动齿轮12的一侧外壁上设置有第一丝杠5,第一丝杠5的一侧外壁上通过螺纹旋合连接有第一移动座6,第一移动座6的一侧外壁上设置有支撑轨9,支撑轨9的底部设置有支撑台7,便于带动支撑轨9水平移动。

进一步的,支撑台7的顶部靠近支撑轨9的一侧位置处设置有第二电机箱8,第二电机箱8的内部底部通过螺栓固定连接有第二电机10,第二电机10的一端通过转轴转动连接有第二主动齿轮11,支撑台7的内部设置有第二从动齿轮13,第二从动齿轮13与第二主动齿轮11通过轮齿啮合连接,便于带动放置台18垂直移动。

进一步的,第二从动齿轮13的顶部设置有第二丝杠14,第二丝杠14的一侧外壁上通过螺纹旋合连接有第二移动座15,第二移动座15的一侧外壁上设置有支撑板16,支撑板16上远离第二移动座15的一侧外壁上设置有滑块17,滑块17的一侧外壁上设置有放置台18,起到支撑硅片的作用,便于硅片水平垂直移动输送。

进一步的,固定板1的一侧外壁上设置有限位杆19,支撑轨9的一侧外壁上开设有与限位杆19相对应的限位槽20,限位杆19的一侧外壁上嵌入有第一滚珠21,减少水平移动的摩擦力,保证水平移动的稳定。

进一步的,支撑轨9的内部设置有卡座22,卡座22的一侧外壁上开设有卡槽23,便于对第二移动座15进行支撑。

进一步的,第二移动座15的一侧外壁上嵌入有与卡槽23相对应的第二滚珠24,便于第二移动座15的升降。

工作原理:在使用时,将固定板1垂直安装在设备上,第二电机10通过转轴带动第二主动齿轮11转动,通过第二主动齿轮11与第二从动齿轮13的啮合连接,第二从动齿轮13带动第二丝杠14转动,通过第二丝杠14与第二移动座15的旋合连接,第二移动座15带动放置台18垂直升降,在第二移动座15升降过程中,第二移动座15卡入卡座22内的卡槽23中,卡座22为第二移动座15在垂直方向上提供一定的支撑,当放置台18移动到所需的高度时,第一电机3通过转轴带动第一主动齿轮4转动,通过第一主动齿轮4与第一从动齿轮12啮合连接,第一从动齿轮12带动第一丝杠5转动,通过第一丝杠5与第一移动座6的旋合连接第一移动座6带动支撑轨9水平移动,限位杆19和限位槽20将支撑轨9进行支撑导向,保证支撑轨9移动的稳定性。

最后应当说明的是,以上内容仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对本实用新型保护范围的限制,本领域的普通技术人员对本实用新型的技术方案进行的简单修改或者等同替换,均不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。

当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1