基板传送装置的制作方法

本发明涉及基板传送装置，详细而言，涉及在从上部作业空间向下部作业空间或从下部作业空间向上部作业空间传送基板的过程中可以自动调节基板的倾斜的基板传送装置。

背景技术：

通常，在显示器、半导体晶片、lcd和光掩模用玻璃等中使用的基板会经过各种处理工序。例如，所述处理工序可以包括蚀刻、剥离、冲洗、干燥等之类的单元工序。

所述单元工序通过使基板连续移动的所谓的直列式(in-line)连接，能够一并执行。

传送基板的方式使用将基板以水平状态传送到各工序生产线或从各工序生产线接收的方式。即，可以使用这样的方式：为了处理基板而将基板以水平状态进行传送并供给到工序生产线侧的装载器，或者从卸载器接收已处理的基板并传送到其他工序生产线。

另外，在所述单元工序中的冲洗工序中，存在以下情况：将基板保持为倾斜状态，以便可以将残留在基板表面上的污染物质与喷射到基板表面上的冲洗液一起顺利地分离排出。

在这种情况下，根据现有技术，除了用于接收水平状态的基板的水平传送用驱动装置之外，还应增加配置用于改变基板的倾斜的单独的倾斜转换用驱动装置。

由此，存在的问题是，整个基板传送装置变得复杂，并且需要大的设置空间，因此，整个基板处理装置的尺寸也增大。

另外，存在的问题是，由于用于传送基板的驱动装置的数量多，因而传送装置的制造费用和维护费用增加。

此外，发生的问题是，由于基板传送过程变得复杂，因而处理基板的时间整体上被延迟。

作为现有技术文献，有韩国登记专利公报第10-0528810号(2005年11月15日公告)。

技术实现要素：

发明要解决的问题

本发明的目的在于解决现有问题，本发明提供了一种基板传送装置，所述基板传送装置通过具备可以使基板竖直传送的同时将基板的姿态从水平状态向倾斜状态或者从倾斜状态向水平状态自动转换的倾斜转换单元，可以快速且稳定地将基板传递到工序生产线侧，由于结构简单因而也能够设置在狭窄的空间内，并且，可以削减制造费用和维护费用。

用于解决问题的手段

为了实现上述的本发明的目的，根据本发明的基板传送装置的特征在于，包括：第一传送部，从第一工序生产线以水平状态传送基板；第二传送部，从配置在比所述第一工序生产线的高度低的高度处的第二工序生产线以倾斜状态传送基板；以及竖直传送部，将基板从所述第一工序生产线竖直传送到所述第二工序生产线侧或者从所述第二工序生产线竖直传送到所述第一工序生产线侧，所述竖直传送部包括：运送器单元，从所述第一传送部或所述第二传送部运入基板，或者向所述第一传送部或所述第二传送部侧运出基板；升降单元，在所述第一传送部和所述第二传送部的基板运入生产线和基板运出生产线之间的区域，竖直传送所述运送器单元；以及倾斜转换单元，在通过所述升降单元竖直传送所述运送器单元的过程中，使与所述升降单元连接的所述运送器单元的两侧中的一侧从所述升降单元分离，将水平状态的所述运送器单元转换为倾斜状态。

此时，在根据本发明的基板传送装置中，所述竖直传送部可以包括：第一竖直传送部，使基板从所述第一工序生产线竖直下降到所述第二工序生产线侧；以及第二竖直传送部，使基板从所述第二工序生产线竖直上升到所述第一工序生产线侧。

此外，在根据本发明的基板传送装置中，所述运送器单元可以包括：基座部件；传送部件，在上部安置基板，并结合到可旋转地设置在所述基座部件上的旋转轴；以及运送器驱动部，设置在所述基座部件上，使所述旋转轴旋转。

此外，在根据本发明的基板传送装置中，所述运送器单元也可以还包括止动部件，所述止动部件设置在所述基座部件上，与向所述运送器单元侧传送的基板接触从而决定基板的位置。

此外，在根据本发明的基板传送装置中，所述升降单元可以包括：竖直框架；移动块，沿所述竖直框架可移动地设置，支撑所述运送器单元；以及竖直传送驱动部，与所述移动块结合，沿所述竖直框架竖直移动所述移动块。

此外，在根据本发明的基板传送装置中，所述移动块可以包括第一移动块和第二移动块，所述第一移动块支撑所述运送器单元的一端，所述第二移动块支撑所述运送器单元的另一端。

此时，根据本发明的所述倾斜转换单元可以包括：铰链连接部，将所述第一移动块和所述运送器单元可旋转地连接；水平支承部，结合到所述第二移动块，以水平状态支撑所述运送器单元；以及倾斜支承部，通过与要移动的所述运送器单元接触，使所述运送器单元从所述水平支承部分离，使所述运送器单元以所述铰链连接部为中心进行旋转。

此外，在根据本发明的基板传送装置中，在所述水平支承部和所述运送器单元的相对的接触部分中的任一部分处可以设置有凹入形成的定位槽部，在余下的其他部分处设置有与所述定位槽部相对应地突出形成的定位突出部。

此外，在根据本发明的基板传送装置中，在所述水平支承部和所述运送器单元的相对的接触部分处也可以配备有用于使所述水平支承部和所述运送器单元的接触力增强的磁性体。

此外，在根据本发明的基板传送装置中，在所述水平支承部或所述运送器单元的相对的接触部分处也可以配备有用于防止所述水平支承部和所述运送器单元接触时的冲击的防冲击部件。

此外，在根据本发明的基板传送装置中，在所述运送器单元的下部可以配备有接触支撑在所述倾斜支承部上的倾斜支撑部，并且，在所述倾斜支撑部上可以设置有使所述运送器单元在被倾斜调节的状态下保持水平的倾斜支撑面。

此外，在根据本发明的基板传送装置中，所述倾斜支承部可以包括：倾斜支承用支撑框架；倾斜支承用支撑块，与所述倾斜支承用支撑框架的上端部结合；以及倾斜支承用支撑辊，可旋转地结合到所述倾斜支承用支撑块的上端部，与所述运送器单元的下端部接触。

此时，根据本发明的所述倾斜支承用支撑块可以包括：第一倾斜支承用支撑块，与所述倾斜支承用支撑框架结合；以及第二倾斜支承用支撑块，与所述倾斜支承用支撑辊结合，所述倾斜支承用支撑块可以包括高度调节用紧固机构，所述高度调节用紧固机构将所述第一倾斜支承用支撑块和所述第二倾斜支承用支撑块连接，以使所述倾斜支承用支撑块的高度可变。

附图说明

图1是用于说明根据本发明的基板传送装置的示意图。

图2是用于说明根据本发明的基板传送装置的竖直传送部的图，示出竖直传送部与第一传送部并排的水平状态。

图3是用于说明根据本发明的基板传送装置的竖直传送部的图，示出下降中的竖直传送部的状态。

图4是用于说明根据本发明的基板传送装置的竖直传送部的图，示出竖直传送部与第二传送部并排地被倾斜调节的状态。

图5是用于说明根据本发明的倾斜转换单元的铰链连接部的图。

图6是用于说明根据本发明的保持水平状态的倾斜转换单元的水平支承部和倾斜支承部的图。

图7是用于说明根据本发明的保持倾斜状态的倾斜转换单元的水平支承部和倾斜支承部的图。

具体实施方式

以下，参照可以具体实现上述要解决的问题的本发明的优选实施例的附图进行说明。在对本实施例进行说明时，对于相同的结构，使用相同的名称和相同的附图标记，并省略由此引起的附加说明。

图1是用于说明根据本发明的基板传送装置的图。

根据本发明的基板传送装置包括第一传送部100、第二传送部200、以及竖直传送部300。

第一传送部100可以配置在第一工序生产线110上。即，第一传送部100接收从一侧运入部传送的基板g，能够将基板g从第一工序生产线110的一侧水平传送到另一侧。

此时，第一传送部100可以在将基板g保持为水平状态的状态下进行传送。

第一传送部100可以包括保持水平状态的多个传送辊，并且，例如可以由水平配置的运送器构成。

这样，通过第一传送部100从第一工序生产线110的一侧向另一侧传送的基板g可以执行各种处理作业。

第二传送部200可以配置在第二工序生产线210上。即，第二传送部200可以从一侧运入部接收基板g，将基板g从第二工序生产线210的一侧传送到另一侧。

此时，第二传送部200可以在将基板g保持为以恒定的角度倾斜的状态下进行传送。

第二传送部200可以包括以恒定的角度倾斜的多个传送辊，并且，例如可以由倾斜配置的运送器构成。

这样，通过第二传送部200从第二工序生产线210的一侧传送到另一侧的基板g可以执行各种处理作业。例如，可以执行冲洗工序。

另外，第一工序生产线110和第二工序生产线210可以配置在彼此不同的高度处。例如，第一工序生产线110可以配置在上部，第二工序生产线210可以配置在比第一工序生产线110的高度低的高度处。

竖直传送部300连接第一工序生产线110和第二工序生产线210，并且、可以将基板g从第一工序生产线110传送到第二工序生产线210侧，或者可以将基板g从第二工序生产线210传送到第一工序生产线110侧。

此外，竖直传送部300可以包括第一竖直传送部和第二竖直传送部，该第一竖直传送部使基板g从第一工序生产线110向第二工序生产线210侧竖直下降，该第二竖直传送部使基板g从第二工序生产线210向第一工序生产线110侧竖直上升。

如图1中的(a)所示，基板g可以首先在配置于上部的第一工序生产线110进行一次处理，然后通过竖直传送部300传送到下部，之后在第二工序生产线210进行二次处理，在经过以上步骤之后被运出。

此外，参照图1中的(a)，基板g可以首先在配置于下部的第二工序生产线210进行一次处理，然后通过竖直传送部300传送到上部，之后在第一工序生产线110进行二次处理，在经过以上步骤之后被运出。

此外，如图1中的(b)所示，基板g也可以首先在配置于上部的第一工序生产线110进行一次处理，然后通过第一竖直传送部300传送到下部，之后在第二工序生产线210进行二次处理，然后通过第二竖直传送部300"传送到上部，之后被运出。

以下，对作为本发明的主要特征部分的竖直传送部300进行详细说明。

图2至图4是用于说明根据本发明的基板传送装置的竖直传送部300的图，图2是示出竖直传送部300与第一传送部100并排地保持水平状态的图，图3是示出竖直传送部300处于下降中时的图，图4是示出竖直传送部300与第二传送部200并排地保持倾斜调节的状态的图。

如以上所述，根据本发明的竖直传送部300可以从第一传送部100或第二传送部200运入基板g，并且，可以向第一传送部100或第二传送部200侧运出基板g。

此外，根据本发明的竖直传送部300可以从具有高度差的第一工序生产线110向第二工序生产线210侧或者从第二工序生产线210向第一工序生产线110侧竖直传送基板g。

此外，根据本发明的竖直传送部300在从第一工序生产线110向第二工序生产线210侧或者从第二工序生产线210向第一工序生产线110侧竖直传送基板g的过程中，可以将保持水平状态的基板g的姿态转换为倾斜状态，并且，可以将保持倾斜状态的基板g的姿态转换为水平状态。

因此，竖直传送部300可以包括运送器单元310、升降单元330、倾斜转换单元350。

以下，仅对基板g从第一传送部100传送到第二传送部200的过程进行详细说明。

运送器单元310可以从第一传送部100运入基板g，并且，可以将基板g运出到第二传送部200侧。

因此，运送器单元310可以包括：基座部件311；多个旋转轴，可旋转地设置在基座部件311上；多个传送部件313，结合到旋转轴从而联动，在其上部放置基板g；以及运送器驱动部315，设置在基座部件311上，并使旋转轴旋转。

运送器驱动部315可以控制成在第一传送部100或第二传送部200操作时一起动作。

即，在运送器单元310配置在与第一传送部100相同的高度处的状态下，当运送器驱动部315与第一传送部100一起动作时，基板g从第一传送部100运入到运送器单元310的传送部件313侧。

此外，在运送器单元310配置在与第二传送部200相同的高度处的状态下，当运送器驱动部315与第二传送部200一起动作时，基板g从运送器单元310运出到第二传送部200侧。

在根据实施例的运送器单元310中，两个旋转轴和传送部件313沿着被传送的基板g的宽度方向彼此邻接地配置。用于使旋转轴和传送部件313旋转的运送器驱动部315结合到基座部件311的两侧。

此外，运送器单元310可以包括止动部件317。该止动部件317设置在基座部件311上并限制基板g的移动。

止动部件317可以设置在基座部件311上，以与向运送器单元310侧传送的基板g的前端接触。由此，止动部件317可以决定安置在传送部件313的上部的基板g的位置。

即，在从第一传送部100运入到运送器单元310的基板g沿着传送部件313的上部传送的过程中，基板g的前端接触支撑在止动部件317上，同时移动受到限制从而固定位置。

另外，在基板g接触到止动部件317的瞬间，识别出基板g运入到正确的位置。运送器驱动部315可以停止动作。因此，在止动部件317上还可以配备有感知传感器，该感知传感器可以感知是否接触到基板g。

此外，在基座部件311的下部一侧可以配备有水平支撑部3110和倾斜支撑部3112。

水平支撑部3110是接触支撑在后述的水平支承部353上的部分，倾斜支撑部3112是接触支撑在后述的倾斜支承部355上的部分。

升降单元330可以在第一传送部100和第二传送部200的基板运入生产线il和基板运出生产线ol之间的区域中竖直传送运送器单元310。

这种升降单元330可以包括竖直框架331、移动块333、以及竖直传送驱动部335。

竖直框架331竖直配置得较长，以便可以连接第一工序生产线110和第二工序生产线210。竖直框架331可以沿着运送器单元310的周边部配置有多个，以便可以稳定地支撑包括基板g的运送器单元310。

尽管未图示，然而在竖直框架331上可以配备有导轨，该导轨引导后述的移动块333的竖直方向的移动。

此外，竖直框架331包括第一竖直框架331a和第二竖直框架331b。

第一竖直框架331a与运送器单元310的一端邻接地配置，第二竖直框架331b与运送器单元310的另一端邻接地配置。

第一竖直框架331a和第二竖直框架331b可以根据运送器单元310的尺寸分别配备有多个。

移动块333被设置为可以沿竖直框架331朝竖直方向进行移动，连接竖直框架331和运送器单元310，并且，能够从竖直框架331支撑运送器单元310。

此外，在移动块333上可以配备有引导部，该引导部与竖直框架331的导轨结合以使其可滑动。

此外，移动块333包括第一移动块333a和第二移动块333b。

第一移动块333a可以与第一竖直框架331a连接，第二移动块333b可以与第二竖直框架331b连接。

即，第一移动块333a设置在第一竖直框架331a上，支撑运送器单元310的一侧端部；第二移动块333b设置在第二竖直框架331b上，支撑运送器单元310的另一侧端部。

第一移动块333a和第二移动块333b也可以根据运送器单元310的尺寸而分别配备有多个。

竖直传送驱动部335与移动块333连接，并可以提供用于使移动块333沿着竖直框架331竖直移动的驱动力。

竖直传送驱动部335可以使设置在第一竖直框架331a上的第一移动块333a和设置在第二竖直框架331b上的第二移动块333b同时上升或下降。

以下，仅对竖直传送驱动部335的驱动力传递到第一移动块333a的过程进行说明。

根据图示的实施例，竖直传送驱动部335的驱动轴336可旋转地连接到第一竖直框架331a的下端部。

在第一竖直框架331a的下端部配备有用于使驱动轴336的旋转加减速或转换方向的动力转换部337。

通过动力转换部337转换的驱动力通过动力传递部使第一移动块333a升降。

尽管未图示，然而动力传递部可以应用滚珠丝杠方式。即，动力传递部可以包括丝杠部件和螺母块。丝杠部件沿着第一竖直框架331a朝竖直方向配置并与动力转换部337连接而旋转，所述螺母块与第一移动块333a结合并与丝杠部件螺纹结合。

另外，与图示的实施例不同，竖直传送驱动部335也可以设置在第一移动块333a上。此时，动力传递部也可以应用齿轮齿条方式。

这样，对竖直传送驱动部335和动力传递部不作特别限定，可以从公知的各个种类进行设计变更。

图5至图7是用于说明根据本发明的竖直传送部300的倾斜转换单元350的图，图5是示出保持水平状态的倾斜转换单元350的铰链连接部351的图，图6是示出保持水平状态的倾斜转换单元350的水平支承部353和倾斜支承部355的图，图7是示出保持倾斜状态的倾斜转换单元350的水平支承部353和倾斜支承部355的图。

根据本发明的倾斜转换单元350可以在通过升降单元330竖直传送运送器单元310的过程中，使与升降单元330连接的运送器单元310的两侧端部中的一侧端部从升降单元330分离，将保持水平状态的运送器单元310转换为倾斜状态。

因此，倾斜转换单元350可以包括铰链连接部351、水平支承部353、以及倾斜支承部355。

参照图5，铰链连接部351连接第一移动块333a和运送器单元310的一端，可以使运送器单元310相对于第一移动块333a进行旋转。

铰链连接部351可以包括：第一铰链连接部件3510，结合到第一移动块333a；第二铰链连接部件3512，与第一铰链连接部件3510相对地结合到运送器单元310的一端；以及铰链部3514，将第一铰链连接部件3510和第二铰链连接部件3512可旋转地连接。

这样，运送器单元310能够以铰链连接部351的铰链部3514为中心相对于第一移动块333a进行旋转。

参照图6和图7，水平支承部353结合到第二移动块333b，从而支撑运送器单元310的一端，并且能够以水平状态支撑以铰链连接部3514为中心旋转的运送器单元310。

即，在运送器单元310的基座部件311上配备的水平支撑部3110接触支撑在水平支承部353上。

此外，尽管未图示，然而在水平支承部353和水平支撑部3110的彼此相对的接触部分中的任一部分处配备有凹入形成的定位槽部，并在剩余其他部分处配备有与定位槽部相对应地突出形成的定位突出部。

结果，在运送器单元310支撑在水平支承部353上的瞬间，可以确保通过所述定位槽部和所述定位突出部而安置在水平支承部353上的运送器单元310的正确位置，并且，在支撑在水平支承部353上的运送器单元310进行升降的过程中，可以实现运送器单元310的稳定的升降。

此外，在水平支承部353和水平支撑部3110的彼此相对的接触部分还可以配备有磁性体。

即，通过利用磁性体的磁力使水平支承部353和水平支撑部3110的接触力增强，可以实现使升降中的运送器单元310防止晃动等，达到更稳定的升降。

此外，在水平支承部353或水平支撑部3110的相对的接触部分处还可以配备有用于防止水平支承部353和水平支撑部3110的接触时的冲击的防冲击部件。所述防冲击部件可以是例如聚氨酯等的具有弹性的垫。

倾斜支承部355配置在与第二传送部200相对应的高度处，并随着与下降的运送器单元310接触，可以使运送器单元310从水平支承部353分离。

结果，由于倾斜支承部355的反作用力，下降中的运送器单元310以铰链连接部351的铰链部3514为中心进行旋转。

这种倾斜支承部355可以包括：倾斜支承用支撑框架3550；倾斜支承用支撑块3552，与倾斜支承用支撑框架3550的上部结合；以及倾斜支承用支撑辊3554，可旋转地结合到倾斜支承用支撑块3552的上端部，并与运送器单元310的下端部接触。

倾斜支承用支撑框架3550可以设置在底表面上，也可以设置在竖直框架331上。

此外，尽管未图示，然而倾斜支承用支撑框架3550可以沿竖直方向可移动地设置在底部或竖直框架331上。即，可以对应于配置在第二工序生产线210上的第二传送部200的倾斜度，使倾斜支承部355的高度可变。

倾斜支承用支撑块3552可以包括：第一倾斜支承用支撑块3552a，与倾斜支承用支撑框架3550结合；以及第二倾斜支承用支撑块3552b，与倾斜支承用支撑辊3554结合。

此时，第一倾斜支承用支撑块3552a和第二倾斜支承用支撑块3552b可以通过高度调节用紧固机构来结合。

作为高度调节用紧固机构，可以将第一倾斜支承用支撑块3552a和第二倾斜支承用支撑块3552b彼此螺纹结合。

此外，作为高度调节用紧固机构，第一倾斜支承用支撑块3552a和第二倾斜支承用支撑块3552b中的任一个可以是气缸，另一个可以是气缸杆。

这样，通过构成配备有高度调节用紧固机构的倾斜支承用支撑块3552，可以对应于第二传送部200的倾斜度来细微地调节倾斜支承部355的高度并使该高度可变。

倾斜支承用支撑辊3554可以与配备在运送器单元310的基座部件311上的倾斜支撑部3112接触。

在倾斜支撑部3112可以上配备有倾斜支撑面3112a。

倾斜支撑面3112a在运送器单元310的倾斜调节完成的状态下可以保持水平。例如，倾斜支撑面3112a可以形成为具有与第二传送部200的倾斜度相对应的倾斜度。

在如果未设置有倾斜支撑面3112a的情况下，在运送器单元310的倾斜转换完成的状态下，倾斜支撑部3112在倾斜位置处接触倾斜支承用支撑辊3554。由此，运送器单元310施加到倾斜支承用支撑辊3554的负载无法沿竖直方向(垂直方向)准确地起作用。因此，无法稳定地支撑倾斜调节后的运送器单元310。

与此不同，在设置有根据本发明的倾斜支撑面3112a的情况下，在运送器单元310的倾斜转换完成的状态下，倾斜支撑面3112a在倾斜支承用支撑辊3554的上部前端保持水平。由此，运送器单元310施加到倾斜支承用支撑辊3554的负载可以与竖直方向(垂直方向)准确地一致。因此，倾斜支承用支撑辊3554可以稳定地支撑倾斜调节后的运送器单元310。

另外，尽管未图示，然而在倾斜支撑部3112的倾斜支撑面3112a和倾斜支承用支撑辊3554的外周表面中的任一个部分处可以配备有凹入形成的引导槽部，并且，在剩余的其他部分处可以配备有与所述引导槽部相对应地突出形成的引导突出部。

由此，倾斜支承用支撑辊3554可以稳定地引导和支撑随着运送器单元310的倾斜度的转换而发生水平方向位移的倾斜支撑部3112。

此外，在倾斜支承用支撑辊3554的外周表面或倾斜支撑部3112的倾斜支撑面3112a处还可以配备有用于防止接触时冲击的防冲击部件。

以下，对根据本发明的基板传送装置的竖直传送部的动作过程进行说明。

作为一例，说明以下过程：从第一传送部100运入水平状态的基板g，使其竖直下降，然后向第二传送部200侧运出倾斜调节后的状态的基板g。

首先，如图2所示，为了从第一传送部100运入基板g，运送器单元310保持与第一传送部100并排的基板运入生产线il的高度。

此时，运送器单元310的一端由第一移动块333a和铰链连接部351支撑，另一端由结合到第二移动块333b的水平支承部353支撑，从而保持水平状态。

此时，运送器单元310可以处于与第一传送部100一起操作的状态。即，传送部件驱动部315可以沿与第一传送部100相同的方向旋转，以可以运入通过第一传送部100传送的基板g。

之后，当基板g从第一传送部100运入到运送器单元310的上部时，所运入的基板g的前端接触支撑在止动部件317上，并且，完成运入。这样，在基板g接触到止动部件317的瞬间，运送器单元310识别出基板g运入到正确的位置，可以使传送部件驱动部315的动作停止。

之后，如图3所示，使升降单元330动作，向第二传送部200侧使运送器单元310竖直下降。

详细地，随着使竖直传送驱动部335动作，第一移动块333a在第一竖直框架331a上下降，与此同时，第二移动块333b在第二竖直框架331b上下降。

因此，一端支撑在第一移动块333a上且另一端支撑在第二移动块333b上的运送器单元310在保持水平的状态下下降。

这样，在保持水平的状态下下降中的运送器单元310的一侧下端部接触支撑在倾斜支承部355上。与此同时，运送器单元310从水平支承部353分离。

即，如图4所示，由于支撑运送器单元310的两端端部的第一移动块333a和第二移动块333b继续下降，因而与第一移动块333a和铰链连接部351结合的运送器单元310的一侧继续下降，并且，支撑在倾斜支承部355上的运送器单元310的另一侧保持恒定的高度。

结果，由于第一移动块333a和第二移动块333b通过升降单元330继续下降，因而运送器单元310以铰链连接部351的铰链部3514为中心旋转，并且，倾斜度逐渐增大。

之后，在运送器单元310与跟第二传送部200并排的基板运出生产线ol一致的瞬间，升降单元330停止动作。

这样，在升降单元330的动作停止的同时，运送器单元310的一端连接到第一移动块333a和铰链连接部351，另一端保持支撑在倾斜支承部355上的倾斜调节后的状态。

另外，在运送器单元310被倾斜调节的过程中，配置在铰链连接部351侧的运送器驱动部315可以进入到第一竖直框架331a的左侧区域。这里，为了使运送器驱动部315和第一竖直框架331a彼此不干扰，优选使其布置于从平面中观察时不是在同一线上而是彼此错开的位置。

接下来，如上所述，安置在倾斜调节后的运送器单元310上的基板g保持与第二传送部200并排的基板运出生产线ol的高度。

之后，运送器单元310使传送部件驱动部315向与第二传送部200相同的方向动作，将基板g运出到第二传送部200侧。

在基板g运出到第二传送部200侧之后，使升降单元330反向动作，使运送器单元310再次上升到第一传送部100侧。

在运送器单元310上升的过程中，与运送器单元310的下降动作相反地，在倾斜状态的运送器单元310上升的同时，倾斜转换为水平状态，并且，在与第一传送部100并排的基板运入生产线il的高度，保持水平状态。

运送器单元310可以在重复上述动作的同时，将从第一传送部100运入的基板g反复供给到第二传送部200侧。

如上所述，根据本发明的基板传送装置在通过升降单元330竖直传送运送器单元310的过程中，通过倾斜转换单元350使运送器单元310的姿态自动转换为水平或倾斜状态，从而可以大幅缩短基板g的等待时间、传送时间、以及工序时间。

此外，根据本发明的基板传送装置由于可以利用一个驱动源同时调节基板g的竖直传送和基板g的倾斜度，因而可以简化竖直传送部300的结构，即使在狭窄的空间中也能够进行设置，并且，也可以大幅降低制造以及维护成本。

如上所述，参照附图说明了本发明的优选实施例，然而本领域技术人员可以在不脱离权利要求书中所记载的本发明的构思和领域的范围内对本发明进行各种修改或变更。