一种基板传送机构的制作方法

本申请涉及传送机构领域，具体涉及一种基板传送机构。

背景技术：

目前湿制程设备内部采用shaft(轴)+roller(滚轮)的形式进行玻璃基板的传送，roller与玻璃基板之间容易出现打滑现象(常见于大世代基板)，从而造成基板在制程腔室的实际反应时间加长，造成o/e；同时，较长的干段传输易发生静电击伤，造成制程报废。

现有传送模式需要大量的guideroller(导向轮)和doubleroller(双滚轮)用以保证基板对位，易发生破片问题，并会在doubleroller经过的区域留下印迹，对制程造成干扰。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种基板传送机构，用以解决现有技术中的基板传送机构采用单层载台从而使制程效率过低的技术问题。

解决上述技术问题的技术方案是：本发明提供了一种基板传送机构，包括平移装置，水平设置，所述平移装置包括第一端和第二端；第一升降装置，设置于所述平移装置下方，且与所述平移装置第一端相对设置；第二升降装置，设置于所述平移装置下方，且与所述平移装置第二端相对设置；以及载台，可拆卸式安装至所述平移装置顶部、所述第一升降装置顶部或第二升降装置顶部；当所述载台被安装至所述平移装置顶部时，所述载台从所述平移装置第一端滑动至所述平移装置第二端。

进一步的，基板传送机构还包括对位夹具，设于所述载台上表面，用于将基板固定在所述载台上。

进一步的，所述平移装置为导轨。

进一步的，所述平移装置为传送带。

进一步的，基板传送机构还包括转移装置，当所述第一升降装置顶部升高至与所述平移装置平齐时，将所述载台从所述第一升降装置顶部转移至所述平移装置上；

当所述第二升降装置顶部升高至与所述平移装置平齐时，将所述载台从所述平移装置转移至所述第二升降装置顶部。

进一步的，所述转移装置为机械手。

进一步的，基板传送机构还包括喷淋装置，设于所述载台上方，所述喷淋装置包括喷淋导管，其两端沿水平方向延伸；以及若干喷嘴，均匀设于所述喷淋导管上，每一喷嘴连通至所述喷淋导管，其喷口朝向所述载台。

进一步的，所述第一升降装置和所述第二升降装置均包括顶杆和顶缸，所述顶杆可拆卸式连接至一载台，所述顶缸被安装至地面，所述顶杆可带动所述载台在竖直方向上进行升降运动。

进一步的，所述载台包括若干平行排列的长轴，每一长轴的中轴线方向与所述喷淋导管的中轴线方向垂直；以及若干滚轮，每一滚轮中轴线均与一长轴的中轴线在同一直线上。

进一步的，基板传送机构还包括吹风装置，设于所述第二端，设于所述载台靠近所述对位夹具一侧，用以对所述载台表面进行吹风处理。

有益效果

本发明的有益效果在于，本发明中的基板传送结构通过对位夹具夹紧基板，避免基板在载台上滑动，提高了基板的使用寿命和良品率，对位夹具可向四周收缩移动，能够对应不同尺寸的基板，降低制程成本，采用双层载台替换的方式，节约了成本，有利于实现大批量生产。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1是实施例中的第一载台在第一端时的基板传送结构示意图。

图2是实施例中第一载台移动过程中的基板传送结构示意图。

图3是实施例中第一载台下降时的基板传送结构示意图。

图4是实施例中的第一载台与基板的平面示意图。

图5是实施例中的第一载台与另一基板的平面示意图。

图6是实施例中载台与导轨的结构示意图。

图7是实施例中载台与导轨的侧视图。

图中标号

1基板；11第二端；

12第二端；13第一载台；

14第二载台；15对位夹具；

16喷淋装置；19平移装置；

171第一升降装置；172水平驱动装置；

18吹风装置；161喷淋导管；

162喷嘴；131长轴；

132滚轮。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

实施例

如图1所示，本实施例中，本发明的基板传送结构用以对基板1进行加工预处理，具体的，所述基板传送结构包括第一载台13、第二载台14、对位夹具15、喷淋装置16、吹风装置18和平移装置19。

设平移装置19的一端为第一端11，设平移装置19的另一端为第二端12。

第一升降装置171设于平移装置19的下方，且与平移装置19的第一端11相对设置，第二升降装置设于平移装置19的下方，且与平移装置19的第二端12相对设置，其中，第一升降装置171的结构与第二升降装置的结构相同，以第一升降装置171为例，第一升降装置171包括顶杆和顶缸，其中，顶缸被安装至地面或所述基板传送结构的底部，顶缸内设有液压机构，可以控制所述顶杆在所述顶缸内的升降，本实施例中，所述顶杆远离所述顶缸的一端连接至第一载台13，通过顶缸内的液压机构控制所述顶杆将第一载台13升至平移装置19位置，第一载台13在升至平移装置19高度时，可滑动式置于平移装置19上，此时，所述顶杆下降，并在顶杆远离所述顶缸的位置放置第二载台14。

第一载台13在平移装置19上作水平移动，水平驱动装置172包括驱动马达或电机，水平驱动装置172可以设于第一载台13内部，驱动第一载台13在平移装置19上作水平移动，如图6和图7所示，本实施例中，平移装置19为传送带，水平驱动装置172用以驱动传送带移动，第一载台13于传送带之间具有摩擦力，在传送带移动时，能够带动第一载台13在水平方向移动。在本发明的其他优选实施例中，平移装置可以为导轨，水平驱动装置172设于载台内部，用以驱动载台在导轨上移动。

转移装置173设于平移装置19的上方，且对应平移装置19的第一端，当第一升降装置172顶部升高至与平移装置19平齐时，将第一载台13从第一升降装置172顶部转移至平移装置19上。当第二升降装置顶部升高至与平移装置19平齐时，将第一载台13从平移装置19转移至第二升降装置顶部，完成第一载台13的行动轨迹。

基板1设于第一载台13的一侧表面，在第一载台13移动时，基板1也随着第一载台13的移动而移动，为了固定基板1和第一载台13的相对位置，对位夹具15设于第一载台13的一侧表面，用以将基板1固定于第一载台13上，具体的，本实施例中，对位夹具15包括两组固定夹，其通过弹簧或液压机控制，每组固定夹固定于基板1的两条相对侧面，既不妨碍基板1的正面进行喷淋液处理，同时四周的固定夹也能通过弹簧或液压机的控制，从而适配不同尺寸的基板1，实现所述基板传送结构对不同尺寸的基板1的加工处理。

喷淋装置16设于载台的正上方，喷淋装置16包括喷淋导管161和设于喷淋导管161上的若干喷嘴162。

喷淋导管161设于载台正上方，且喷淋导管161的两端延伸方向为第一端11和第二端12的连接方向，喷淋导管161为中空导管，通过外接装置，实现喷淋液的流动，在喷淋导管161面向载台一侧设有若干喷嘴162，在第一载台14自第一端11向第二端12移动时，刻蚀液在喷淋导管161中通过喷嘴162喷向基板1的表面，由于基板1的位置相对第一载台14固定，在第一载台移动时，基板1远离第一载台14的表面能够均匀喷洒到喷淋液，且避免了基板1和第一载台14由于相互运动产生的磨损现象，提高了基板1的使用寿命和良品率。

如图4和图5所示，为了减少载台与基板1的接触面积，本实施例中，第一载台13包括若干长轴131和若干滚轮132，其中，若干长轴131平行排列，且任一长轴131的轴向延伸方向与喷淋导管161两端延伸方向垂直，每一长轴131上设有若干滚轮132，且每一滚轮132的轴心与对应长轴的轴心重合，保证每一滚轮132的轴心都处于同一水平面上，保证基板1可以水平至于载台上，一边喷淋液喷洒时，基板1表面能够均匀覆盖喷淋液，避免由于喷淋液不均匀流动形成次品，降低基板1的良品率。

如图2所示，第二载台14与第一载台13的结构相同，在第一载台13水平移动时，且移动位移超过第二载台14的最大宽度，通过顶缸内的液压机构控制所述顶杆将第二载台14升至平移装置19位置，第二载台14在升至平移装置19高度时，可滑动式至于平移装置19上，此时，所述顶杆下降，并在顶杆远离所述顶缸的位置放置第三载台。

当第一载台13自第一端11向第二端12水平移动时，喷淋装置16中的喷嘴162打开，向第一载台13喷洒喷淋液，当第一载台13行至第二端12时，如图3所示，吹风装置启动，对第一载台13上的基板1进行吹风，待吹风结束后，第一载台13通过第一升降装置171下降，完成对基板1的预处理。第二载台14重复第一载台13的行动轨迹，这样设计可以保持喷嘴162始终处于打开状态，不需要频繁开启关闭喷嘴162，提高了喷嘴162的使用寿命，同时也不会造成喷淋液的浪费。

吹风装置18设于第二端12处，吹风装置18包括吹刀，用以向第一载台13或第二载台14表面吹风，从而对基板1的表面进行清洁处理。

本实施例的有益效果在于：本实施例中的基板传送结构通过对位夹具夹紧基板，用以固定基板和载台的相对位置，避免基板在载台上滑动，从而造成磨损，提高了基板的使用寿命和良品率，对位夹具可向四周收缩移动，能够对应不同尺寸的基板，降低制程成本，采用双层载台替换的方式，节约了成本，有利于实现大批量生产，双层载台上下设置，不占用多余空间。

本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。