玻璃基板传送系统的制作方法

1.本公开涉及玻璃基板的生产制造技术领域，具体地，涉及一种玻璃基板传送系统。


背景技术：

2.在玻璃基板加工制造中，气浮传送是一种常用的传送方式。然而实际生产过程中，当玻璃基板在传送中气浮条的气浮压力降低时，可能会导致玻璃基板与气浮条接触，造成玻璃基板b面(靠近气浮条的一面)产生划伤缺陷。现有设备存在玻璃基板与气浮条距离不易判断、单根气浮条前端气浮压力无法精确监测等问题，使得调整单根气浮条压力无法量化，调整精度不高，并且一旦气浮压力波动后若不能及时发现，将会导致严重批量划伤缺陷的发生。


技术实现要素：

3.本公开的目的是提供一种玻璃基板传送系统，该传送系统能够保证玻璃基板在气浮压力稳定的状态下进行传送，避免玻璃基板传送过程中与气浮条接触而产生划伤。
4.为了实现上述目的，本公开提供一种玻璃基板传送系统，包括传送平台和设置在所述传送平台上的多个气浮条，多个所述气浮条沿玻璃基板的传送方向延伸，并且多个所述气浮条沿着与所述传送方向垂直的方向间隔布设，所述玻璃基板传送系统还包括：
5.第一检测件，用于检测所述玻璃基板与所述气浮条之间的距离，所述第一检测件设置在所述气浮条的端部外侧；
6.第二检测件，用于检测所述气浮条的气浮压力；
7.调节组件，用于调节所述玻璃基板与所述气浮条之间的距离和所述气浮条的气浮压力；以及
8.控制器，分别与所述第一检测件、所述第二检测件和所述调节组件信号连接，以根据所述第一检测件或所述第二检测件检测到的信息控制所述调节组件工作。
9.可选地，所述气浮条通过气路与风机相连，所述调节组件包括与所述风机连接的变频器和设置在所述气路上的电磁阀，所述变频器与所述电磁阀分别与所述控制器电连接。
10.可选地，所述气路包括第一气路和多个与所述气浮条一一对应的第二气路，所述第一气路与所述风机的出气口连接，所述第二气路与所述气浮条的进气口连接，多个所述第二气路分别连接至所述第一气路，且多个所述第二气路上分别设置有所述电磁阀。
11.可选地，所述第一检测件的数量为四个，四个所述第一检测件分别设置在最外侧的两个所述气浮条的端部外侧。
12.可选地，当最外侧的两个所述气浮条的同侧端部对应的两个所述第一检测件检测到所述玻璃基板与所述气浮条之间的距离均小于预设范围时，所述控制器控制所述变频器工作，以增加所述风机的频率；
13.当最外侧的两个所述气浮条的同侧端部对应的两个所述第一检测件中的一者检
测到所述玻璃基板与所述气浮条之间的距离小于预设范围时，所述控制器控制该第一检测件对应的最外侧所述气浮条以及靠近该气浮条的部分所述气浮条对应的所述电磁阀的开度增大。
14.可选地，最外侧的所述气浮条对应的所述电磁阀的开度大于其他的所述气浮条对应的所述电磁阀的开度。
15.可选地，沿着由外到内的布设方向，各个所述气浮条对应的所述电磁阀的开度逐渐减小。
16.可选地，所述第二检测件包括与各个所述气浮条一一对应的多个，每个所述第二检测件设置在各自的所述气浮条的前端。
17.可选地，当多个所述第二检测件检测到所述气浮条的气浮压力均小于预设范围时，所述控制器控制所述变频器工作，以增加所述风机的频率；
18.当多个所述第二检测件中的部分检测到所述气浮条的气浮压力小于预设范围时，所述控制器控制相应所述气浮条对应的所述电磁阀的开度增大。
19.可选地，所述第一检测件的高度小于或等于所述气浮条的高度。
20.通过上述技术方案，玻璃基板沿传送方向向前传送，当到达第一检测件的检测范围内时，第一检测件实时检测玻璃基板与气浮条之间的距离，当离开第一检测件的检测范围时，第二检测件实时检测气浮条的气浮压力，控制器根据检测到的距离和压力信息控制调节组件对玻璃基板与气浮条之间的距离以及气浮条的气浮压力进行调节，从而改变玻璃基板的浮起高度。该传送系统能够对玻璃基板传送过程中玻璃基板与气浮条之间距离以及气浮条气浮压力进行精确监测，使玻璃基板的浮起高度保持稳定，保证玻璃基板在气浮压力稳定状态下进行传送，避免玻璃基板与气浮条接触产生划伤缺陷，实现高精度量化调节，提高产线自动化水平。
21.本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
22.附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
23.图1是本公开一种示例性实施方式提供的玻璃基板传送系统中气浮装置的结构示意图；
24.图2是本公开一种示例性实施方式提供的玻璃基板传送系统的气路结构示意图；
25.图3是本公开一种示例性实施方式提供的玻璃基板传送系统的控制原理图。
26.附图标记说明
[0027]1‑
玻璃基板，10
‑
传送平台，20
‑
气浮条，31
‑
第一检测件，32
‑
第二检测件，41
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变频器，42
‑
电磁阀，51
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控制器，52
‑
远程i/o，53
‑
触摸屏，60
‑
风机，71
‑
第一气路，72
‑
第二气路，81
‑
初校过滤器，82
‑
高校过滤器，91
‑
前置压力表，92
‑
后置压力表。
具体实施方式
[0028]
以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
[0029]
在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”、“下”、“顶”、“底”是根据玻璃基板传送时的状态进行定义的，参照图1，垂直于图面方向向外为上，垂直于图面方向向内为下；“前”、“后”是指玻璃基板的传送方向，参照图1，图面方向的右侧为前，左侧为后；“内”、“外”是针对相应零部件的本身轮廓而言的。此外，本公开中使用的术语“第一”、“第二”等是为了区别一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。
[0030]
参照图1至图3，本公开实施例提供一种玻璃基板传送系统，包括传送平台10和设置在传送平台10上的多个气浮条20，气浮条20上可以开设有送气孔，以通过送气孔向玻璃基板1的下表面输送气体，输送气体可以产生向上的气浮支持力，该气浮支持力能够对玻璃基板1起到支撑作用，从而减少传送部件与玻璃基板1表面的接触面积。多个气浮条20可以沿玻璃基板1的传送方向延伸，并且多个气浮条20可以沿着与传送方向垂直的方向间隔布设，以为玻璃基板1的各个位置提供均衡的气浮支持力。其中，玻璃基板传送系统还可以包括第一检测件31、第二检测件32、调节组件以及控制器51。第一检测件31可以用于检测玻璃基板1与气浮条20之间的距离；第二检测件32可以用于检测气浮条20的气浮压力；调节组件可以用于调节玻璃基板1与气浮条20之间的距离以及气浮条20的气浮压力，以使玻璃基板1的浮起高度保持稳定；控制器51可以分别与第一检测件31、第二检测件32和调节组件信号连接，以根据第一检测件31或第二检测件32检测到的信息控制调节组件工作。
[0031]
在本公开提供的实施例中，参照图1，第一检测件31可以设置在气浮条20的端部外侧。即，气浮条20具有沿传送方向的两端，第一检测件31可以设置在气浮条20的前端的前方位置以及气浮条20的后端的后方位置，且第一检测件31可以位于气浮条20的延伸方向上，从而使得可以依据第一检测件31和气浮条20的位置对玻璃基板的传送位置进行划分，进而对第一检测件31和第二检测件32的工作范围进行划分，保证传送系统能够对玻璃基板1的整个传送过程进行精确监控。具体地，以图1为例，第一检测件31和气浮条20沿玻璃基板1的传送方向依次布设，玻璃基板1沿传送方向向前传送，当玻璃基板1的前端到达左侧的第一检测件31的检测范围(例如玻璃基板1的前端到达左侧的第一检测件31的上方)时，主要依靠左侧的第一检测件31检测到的数据调整玻璃基板1的浮起高度；当玻璃基板1的末端离开第一检测件31的检测范围，且玻璃基板1的前端未到达右侧的第一检测件31的检测范围(例如玻璃基板1的前端到达右侧的第一检测件31的上方)时，玻璃基板1整体位于气浮条20的上方，此时可以主要依靠第二检测件32检测到的数据调整玻璃基板1的浮起高度；当玻璃基板1的前端到达右侧的第一检测件31的检测范围时，主要依靠右侧的第一检测件31检测到的数据调整玻璃基板1的浮起高度，以此完成玻璃基板1在每个工位上传送时的浮起高度监测。
[0032]
通过上述技术方案，玻璃基板1沿传送方向向前传送，当到达第一检测件31的检测范围内时，第一检测件31实时检测玻璃基板1与气浮条20之间的距离，当离开第一检测件31的检测范围时，第二检测件32实时检测气浮条20的气浮压力，控制器51根据检测到的距离和压力信息控制调节组件对玻璃基板1与气浮条20之间的距离以及气浮条20的气浮压力进行调节，从而改变玻璃基板1的浮起高度。该传送系统能够对玻璃基板1传送过程中玻璃基板1与气浮条20之间距离以及气浮条20气浮压力进行精确监测，使玻璃基板1的浮起高度保持稳定，保证玻璃基板1在气浮压力稳定的状态下进行传送，避免玻璃基板1与气浮条20接
触产生划伤缺陷，实现高精度量化调节，提高产线自动化水平。
[0033]
需要说明的是，玻璃基板1与气浮条20之间距离的改变也是由于气浮条20气浮压力的变化引起的，气浮压力增加，玻璃基板1与气浮条20之间的距离相应增加，二者实质相同，相辅相成，不同的仅仅是第一检测件31检测到的为位移信号，而第二检测件32检测到的为压力信号。由此，当气浮条20的气浮压力出现波动时，第一检测件31和第二检测件32检测到的位移和压力信号会转化为电信号反馈至控制器51，控制器51对相应的电信号进行处理并发出控制指令，从而实现玻璃基板1浮起高度调节。
[0034]
另外，在本公开提供的实施例中，第一检测件31可以为距离传感器或位移传感器，第二检测件32可以为压力开关，压力开关可以为两色显示高精度数字式压力开关。其中，为了避免第一检测件31与玻璃基板产生接触，应保证第一检测件31的安装高度不超过气浮条20的高度。
[0035]
本公开对实现玻璃基板1与气浮条20之间距离以及气浮条20气浮压力的调节方式不做限定，这里，作为一种实施方式，参照图2和图3，气浮条20可以通过气路与风机60相连，调节组件可以包括与风机60连接的变频器41和设置在气路上的电磁阀42，变频器41和电磁阀42可以分别与控制器51电连接，从而可以通过变频器41调节风机60的频率或者通过调节电磁阀42的开度实现气浮压力的调节，进而实现玻璃基板1与气浮条20之间距离的调节。
[0036]
进一步地，参照图2，上述气路可以包括第一气路71和多个与气浮条20一一对应的第二气路72，第一气路71可以与风机60的出气口连接，第二气路72可以与气浮条20的进气口连接，多个第二气路72可以分别连接至第一气路71。即，第一气路71可以为总路，第二气路72可以为支路。其中，多个第二气路72上可以分别设置有电磁阀42。这样，风机60设置在气路的总支上，可以用于统一控制各个气浮条20的气浮压力；电磁阀42设置在气路的支路上，可以用于分别控制对应的气浮条20的气浮压力。
[0037]
根据一些实施例，参照图1，第一检测件31的数量可以为四个，四个第一检测件31可以分别设置在最外侧的两个气浮条20的端部外侧。即，以图1为例，最上方的气浮条20的前后两端的外侧可以分别设置有第一检测件31，最下方的气浮条20的前后两端的外侧也分别设置有第一检测件31。可以理解为，对应于传送平台10所在的每个传送工位，四个第一检测件31分别位于工位的四个角落处，从而使得第一检测件31能够覆盖玻璃基板1经过的各个传送位置，保证对玻璃基板1与气浮条20之间距离的精确监测。其中，多个气浮条20的结构尺寸可以相同，最外侧的两个气浮条20的前端的两个第一检测件31可以位于同一条直线上，后端的两个第一检测件31也可以位于同一条直线上。
[0038]
在主要依靠图1左侧的两个第一检测件31检测到的数据调整玻璃基板1的浮起高度或者主要依靠图1右侧的两个第一检测件31检测到的数据调整玻璃基板1的浮起高度的情况下，当两个第一检测件31检测到玻璃基板1与气浮条20之间的距离均小于预设范围时，表明所有的气浮条20的气浮压力均处于较低的状态，参照图3，此时控制器51可以控制变频器41工作，以通过变频器41使风机60的频率增大至某一数值，由于风机60设置在第一气路71上，从而可以使得各个气浮条20的气浮压力均变大，由此增加玻璃基板1与各个气浮条20之间的距离，使其达到预设范围；当两个第一检测件31中的一者检测到玻璃基板1与气浮条20之间的距离小于预设范围时，表明部分气浮条20的气浮压力处于较低的状态，参照图3，此时控制器51可以控制该第一检测件31对应的最外侧气浮条20以及靠近该最外侧气浮条
20的部分气浮条20所对应的电磁阀42的开度增大，由于电磁阀42设置在对应于每个气浮条20的第二气路72上，从而可以使得相应气浮条20的气浮压力变大，由此增加玻璃基板1与相应气浮条20之间的距离，使其达到预设范围。
[0039]
以图1左侧的两个第一检测件31为例，当上方的第一检测件31检测到玻璃基板1与气浮条20之间的距离小于预设范围时，控制器51可以控制上方三个气浮条20对应的电磁阀42的开度增大，下方两个气浮条20对应的电磁阀42的开度不发生变化；当下方的第一检测件31检测到玻璃基板1与气浮条20之间的距离小于预设范围时，控制器51可以控制下方三个气浮条20对应的电磁阀42的开度增大，上方两个气浮条20对应的电磁阀42的开度不发生变化。
[0040]
进一步地，当两个第一检测件31中的一者检测到玻璃基板1与气浮条20之间的距离小于预设范围时，表示玻璃基板1处于倾斜状态，且玻璃基板1与气浮条20之间的距离由满足预设范围的第一检测件31对应的最外侧气浮条20朝向不满足预设范围的第一检测件31对应的最外侧气浮条20逐渐减小，此时控制器51可以控制不满足预设范围的第一检测件31对应的最外侧气浮条20所对应的电磁阀42的开度大于其他的气浮条20所对应的电磁阀42的开度。
[0041]
以图1左侧的两个第一检测件31为例，气浮条20由上至下依次为第一气浮条、第二气浮条、第三气浮条、第四气浮条、第五气浮条，当上方的第一检测件31检测到玻璃基板1与气浮条20之间的距离小于预设范围时，控制器51可以控制第一气浮条对应的电磁阀42的开度大于第二气浮条和第三气浮条对应的电磁阀42的开度；当下方的第一检测件31检测到玻璃基板1与气浮条20之间的距离小于预设范围时，控制器51可以控制第五气浮条对应的电磁阀42的开度大于第三气浮条和第四气浮条对应的电磁阀42的开度。
[0042]
更进一步地，沿着气浮条20的由外到内的布设方向，各个气浮条20对应的电磁阀42的开度可以逐渐减小。
[0043]
以图1左侧的两个第一检测件31为例，气浮条20由上至下依次为第一气浮条、第二气浮条、第三气浮条、第四气浮条、第五气浮条，当上方的第一检测件31检测到玻璃基板1与气浮条20之间的距离小于预设范围时，控制器51可以控制第一气浮条对应的电磁阀42的开度大于第二气浮条对应的电磁阀42的开度，以及第二气浮条对应的电磁阀42的开度大于第三气浮条对应的电磁阀42的开度；当下方的第一检测件31检测到玻璃基板1与气浮条20之间的距离小于预设范围时，控制器51可以控制第五气浮条对应的电磁阀42的开度大于第四气浮条对应的电磁阀42的开度，以及第四气浮条对应的电磁阀42的开度大于第三气浮条对应的电磁阀42的开度。
[0044]
根据一些实施例，参照图2，第二检测件32可以包括与各个气浮条20一一对应的多个，每个第二检测件32可以设置在各自的气浮条20对应的第二气路72上，且每个第二检测件32可以安装在气浮条20的前端，以尽可能地靠近气浮条20，从而可以保证对气浮条20气浮压力检测的准确度。
[0045]
在主要依靠第二检测件32检测到的数据调整玻璃基板1的浮起高度的情况下，当多个第二检测件32检测到气浮条20的气浮压力均小于预设范围时，表明所有的气浮条20的气浮压力均处于较低的状态，参照图3，此时控制器51可以控制变频器41工作，以通过变频器41使风机60的频率增大至某一数值，由于风机60设置在第一气路71上，从而可以使得各
个气浮条20的气浮压力均变大，使其达到预设范围；当多个第二检测件32中的部分第二检测件32检测到气浮条20的气浮压力小于预设范围时，表明部分气浮条20的气浮压力处于较低的状态，参照图3，此时控制器51可以控制相应气浮条20对应的电磁阀42的开度增大，由于电磁阀42设置在对应于每个气浮条20的第二气路72上，从而可以使得相应气浮条20的气浮压力变大，使其达到预设范围。需要说明的是，此处的“多个第二检测件32中的部分第二检测件32”中的“部分”指的是小于第二检测件32总数的任意数量的情况，例如可以为其中一个第二检测件32检测到气浮条20的气浮压力小于预设范围的情况。
[0046]
综上，在使用本公开提供的玻璃基板传送系统时，可以首先对玻璃基板1的传送位置进行确认，由此判断以第一检测件31或是第二检测件32作为监测对象，进而依据上述的原理通过改变风机60的频率或是电磁阀42的开度来对玻璃基板1的浮起高度进行调节。
[0047]
在本公开提供的实施例中，参照图3，玻璃基板传送系统还可以包括与控制器51电性连接的远程i/o52以及触摸屏53，第一检测件31和第二检测件32检测到的信号均可以先传递至远程i/o52，远程i/o52再将数据传送至控制器51，控制器51将检测到的数据信息与触摸屏53设定的工艺要求范围进行比较，当检测到的数据信息不满足触摸屏53设定的工艺要求范围时，控制器51可以发出控制指令，根据相应算法，控制调节组件工作，以使检测数据满足触摸屏53设定的工艺要求范围。
[0048]
此外，参照图2，玻璃基板传送系统还可以包括与风机60的进气口连接的初校过滤器81以及与风机60的出气口连接的高校过滤器82，初校过滤器81和高效过滤器82可以对气体进行过滤，避免杂质通过气路进入气浮条20进而影响玻璃基板的品质。同时，高校过滤器82的进气口与出气口处可以分别设置有前置压力表91和后置压力表92，以对来自风机60的气体压力以及进入到气浮条20中的气体压力进行监测。
[0049]
参照图1，在本公开提供的实施例中，传送平台10的两侧还可以设置有传送轮，传送轮可以位于最外侧的两个气浮条20的外部，从而可以对玻璃基板1的两侧进行支撑并向前传送。
[0050]
以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。
[0051]
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
[0052]
此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。