一种可以防止运送过程中放置产品脱落的片盒的制作方法

1.本发明涉及晶圆加工技术领域，尤其是涉及一种可以防止运送过程中放置产品脱落的片盒。


背景技术：

2.如今，半导体行业急速发展，伴随着与之息息相关的半导体设备不断更新换代。半导体行业是技术密集型产业，其发展水平与工艺流程和硬件设施有着密切联系。近年来国内微电子产业不断发展壮大，但有许多依赖于国外半导体设备，匀胶显影机台又是其中重要的一种工艺设备。面对国外高端设备的涌入，而国内相关技术的匮乏，急需开发研制自己的高端设备。现有技术中，晶圆匀胶机台有匀胶机显影机和匀胶显影机之分，在可以满足机台全自动工作的基础之上，我们需要进一步提高机台效率。为了解决此类问题，本技术人研发的全自动匀胶机，通机器人配合匀胶腔体完成晶圆的自动取放和加工，而后又可以自动的放送至下一步的工艺设备之中，保证了加工过程中无需人为参与，既保障了安全性能，又大大提高了晶圆加工效率，可实现全天候不间断的晶圆加工。在晶圆的自动取放和加工时，需要一种片盒，可以存放薄片状的晶圆，并将涂有胶体的晶圆放入烤箱烤制。


技术实现要素：

3.本发明为了满足晶圆匀胶机台全自动工作的需要，提供一种可以防止运送过程中放置产品脱落的片盒，可以实现多个薄片产品的堆放烤制，且放置板与的接触位置为线接触，减少胶粘污染。
4.为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：一种可以防止运送过程中放置产品脱落的片盒，包括底座和放置架，底座上设有用于确定放置架位置的定位块，放置架设置在底座上方，放置架包括竖向设置的两块放置板，两块放置板之间设有存储空间，放置板的侧壁靠近存储空间的一侧上设有若干个竖向排列的放置槽，两块放置板的上的放置槽一一对应，所述放置槽的下底面由设置该放置槽的放置板向另一块放置板一侧倾斜。
5.上述技术方案中，存储空间内可以叠放多个薄片产品，薄片的两侧分别与放置槽的下底面接触，由于放置槽的下底面倾斜，薄片与放置板的接触位置为线接触，而不是面接触，减少胶粘污染。使用时，只需要将放置架放置在底座对应的位置上，然后通过机械臂将薄片吸住，再将涂有涂料的一侧朝上依次放入放置槽堆叠即可，各个薄片之间设有间隙，薄片堆叠后，再将放置架从底座上取下，放置到烤箱内进行烤制。
6.作为优选，所述放置板的材料为peek。peek材料是一种新型的半晶态芳香族塑性工程塑料，具有极其出色的物理、力学性能，在许多特殊领域可以替代金属、陶瓷等传统材料，在减轻质量，提高性能方面贡献突出。
7.作为优选，两块放置板的顶部通过连接板固定。
8.作为优选，连接板靠近存储空间的开口端的一侧设有通风口。所述结构便于后期
烤制时的热交换。
9.作为优选，所述底座上设有若干个位置不同的定位块。位置不同的定位块可以形成不同的限位位置，使底座适配不同大小的放置架，从而适配不同大小的产品。
10.作为优选，所述底座上设有若干个接近开关，接近开关设置在靠近定位的位置上。所述接近开关可以检测该位置是否设有放置架，不同的放置架放在底座上所出发的接近开关不同，可以通过接近开关检测放置架的大小。
11.作为优选，所述存储空间在水平位置上包括开口端和限位端，放置板靠近限位端的一侧设有用于限制薄片滑出的限位块；放置板靠近开口端的一侧设有滑动限位结构，限位结构包括升降块，所述升降块上设有若干个竖向依次排列的限位条，限位条与放置槽一一对应，升降块与放置架沿竖直方向滑动连接；放置架放置在底座上时，升降块的底部与底座接触并向上滑动，相邻限位条之间的间隙与放置槽齐平，放置架放置离开底座时，升降块向下滑动，限位条与放置槽齐平并挡住放置槽内的薄片。
12.上述技术方案中，放置架在离开底座后，限位条可以在运送过程中避免薄片从放置槽内滑出。且限位结构不需要其它驱动件，由放置架于底座的位置关系决定，安全可靠。放置架放入烤箱后，升降块底部与烤箱内的底面接触，限位条同样可以打开，避免烤制过程中滑动限位结构对产品质量产生影响。
13.作为优选，所述限位条上设有与薄片侧面轮廓适配的曲面。限位条上设有与薄片侧面轮廓适配的曲面，使限位条与薄片的侧壁充分贴合，达到更好的限位稳定效果。
14.作为优选，所述升降块包括连接块、压紧块和第一弹簧，连接块与放置架沿竖直方向滑动连接，压紧块与连接块沿水平方向滑动连接，第一弹簧两端分别与压紧块和连接块连接（第一弹簧使压紧块和连接块保持远离的运动趋势），所述限位条设置在压紧块上，所述底座与升降块接触的位置上设有接触顶块，接触顶块包括设置在连接块下方的上顶块和设置在压紧块下方的斜顶块，斜顶块上设有第一导向斜面，压紧块与第一导向斜面接触的位置上设有第二导向斜面。
15.上述技术方案中，当放置架放置到底座上时，第一导向斜面与第二导向斜面先接触，压紧块相对连接块水平滑动，当上顶块与连接块底面接触时，连接块与压紧块一起上升，使限位条之间的间隙与放置槽齐平，使薄片可以通过。当放置架离开底座时，连接块与压紧块一起下降，使限位条与放置槽齐平并挡住放置槽内的薄片，然后在第一弹簧的作用下，压紧块相对连接块水平滑动，使限位条压紧薄片产品的侧壁。
16.作为优选，所述放置板上设有第二弹簧，第二弹簧两端分别连接放置板和连接块，第二弹簧使连接块相对放置板保持向下运动趋势。所述结构可以在放置架脱离底座时，保证连接块可以相对放置板向下运动。
17.作为优选，所述放置板上设有l形的导槽，导槽包括竖直槽和水平槽，导槽内设有u形滑块和条形滑块，u形滑块与连接块固定，条形滑块压紧块固定；u形滑块与竖直槽沿竖直方向滑动连接，条形滑块的一端设置在u形滑块内且与u形滑块沿水平方向滑动连接，u形滑块的开口端朝向水平槽，u形滑块的开口端与水平槽齐平时，条形滑块的一端可伸入水平槽。
18.上述技术方案中，水平槽与条形滑块适配。所述结构可以严格限制连接块的压紧块滑动先后顺序。当限位条压紧薄片侧壁时，此时放置架远离底座，需要将放置架放在底座
上，或者烤盘的底座上时，条形滑块部分位于水平槽内，此时u形滑块无法在竖直槽内滑动，即压紧块只能相对连接块水平滑动，当条形滑块完全进入u形滑块的u形开口内后，条形滑块的限位作用消失，u形滑块和条形滑块可以一起在竖直槽内滑动，即压紧块和连接块可以相对放置板一起在竖直方向上移动。当放置架放置在底座上需要取走时，u形滑块和条形滑块位于竖直槽内，在可以在竖直槽内竖直滑动，当放置架离开底座后，连接块和u形滑块一起下移，u形滑块移动到与水平槽齐平的位置，u形滑块的开口端对准水平槽，条形滑块可以部分脱离u形滑块进入水平槽内，此时压紧块和限位条横移压紧产品的侧壁，部分进入水平槽内的条形滑块限制u形滑块在竖直槽内的滑动。通过严格限制连接块的压紧块滑动先后顺序，避免限位条划伤产品侧壁，或者限位条上下移动造成产品变形损坏。
19.本发明的有益效果是：（1）可以实现多个薄片产品的堆放烤制，且放置板与的接触位置为线接触，减少胶粘污染；（2）位置不同的定位块可以形成不同的限位位置，使底座适配不同大小的放置架，从而适配不同大小的产品；（3）可以在运送过程中避免薄片从放置槽内滑出；（4）所述结构可以严格限制连接块的压紧块滑动先后顺序，通过严格限制连接块的压紧块滑动先后顺序，避免限位条划伤产品侧壁，或者限位条上下移动造成产品变形损坏。
附图说明
20.图1是本发明的结构示意图；图2是本发明的局部放大图；图3是本发明中底座的结构示意图；图4是实施例2的结构示意图；图5是实施例2的局部结构示意图；图6是实施例3的局部结构示意图。
21.图中：底座1、放置架2、放置板2.1、导槽2.1.1、竖直槽2.1.2、水平槽2.1.3、存储空间2.2、开口端2.2.1、限位端2.2.2、放置槽2.3、连接板2.4、通风口2.5、限位块2.6、定位块3、接近开关4、滑动限位结构5、升降块5.1、连接块5.1.1、压紧块5.1.2、第一弹簧5.1.3、第二导向斜面5.1.4、限位条5.2、接触顶块5.3、上顶块5.3.1、斜顶块5.3.2、第一导向斜面5.3.3、u形滑块5.5、条形滑块5.6。
具体实施方式
22.下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的描述。
23.实施例1：如图1、图2和图3所示，一种可以防止运送过程中放置产品脱落的片盒，包括底座1和放置架2，底座1上设有用于确定放置架2位置的若干个位置不同的定位块3，放置架2设置在底座1上方，放置架2包括连接板2.4和竖向设置的两块放置板2.1，两块放置板2.1的顶部通过连接板2.4固定。两块放置板2.1之间设有存储空间2.2，放置板2.1的侧壁靠近存储空间2.2的一侧上设有若干个竖向排列的放置槽2.3，两块放置板2.1的上的放置槽2.3一一对应，如图2所示，所述放置槽2.3的下底面由设置该放置槽2.3的放置板2.1向另一块放置板2.1一侧倾斜。
24.所述存储空间2.2在水平位置上包括开口端2.2.1和限位端2.2.2，放置板2.1靠近
限位端2.2.2的一侧设有用于限制薄片滑出的限位块2.6；连接板2.4靠近存储空间2.2的开口端2.2.1的一侧设有通风口2.5。所述底座1上设有若干个接近开关4，接近开关4设置在靠近定位的位置上。所述放置板2.1的材料为peek。
25.上述技术方案中，存储空间2.2内可以叠放多个薄片产品，薄片的两侧分别与放置槽2.3的下底面接触，由于放置槽2.3的下底面倾斜，薄片与放置板2.1的接触位置为线接触，而不是面接触，减少胶粘污染。使用时，只需要将放置架2放置在底座1对应的位置上，然后通过机械臂将薄片吸住，再将涂有涂料的一侧朝上依次放入放置槽2.3堆叠即可，各个薄片之间设有间隙，薄片堆叠后，再将放置架2从底座1上取下，放置到烤箱内进行烤制。
26.实施例2：如图4所示，在实施例1的基础上，所述放置板2.1靠近开口端2.2.1的一侧设有滑动限位结构5，如图5所示，限位结构包括升降块5.1，升降块5.1包括连接块5.1.1、压紧块5.1.2和第一弹簧5.1.3，所述在压紧块5.1.2上设有若干个竖向依次排列的限位条5.2，限位条5.2与放置槽2.3一一对应；连接块5.1.1与放置架2沿竖直方向滑动连接，压紧块5.1.2与连接块5.1.1沿水平方向滑动连接，第一弹簧5.1.3两端分别与压紧块5.1.2和连接块5.1.1连接，第一弹簧5.1.3使压紧块5.1.2和连接块5.1.1保持远离的运动趋势，所述底座1与升降块5.1接触的位置上设有接触顶块5.3，接触顶块5.3包括设置在连接块5.1.1下方的上顶块5.3.1和设置在压紧块5.1.2下方的斜顶块5.3.2，斜顶块5.3.2上设有第一导向斜面5.3.3，压紧块5.1.2与第一导向斜面5.3.3接触的位置上设有第二导向斜面5.1.4。放置板2.1上设有第二弹簧，第二弹簧两端分别连接放置板2.1和连接块5.1.1，第二弹簧使连接块5.1.1相对放置板2.1保持向下运动趋势。放置架2放置在底座1上时，升降块5.1的底部与底座1接触并向上滑动，相邻限位条5.2之间的间隙与放置槽2.3齐平，放置架2放置离开底座1时，升降块5.1向下滑动，限位条5.2与放置槽2.3齐平并挡住放置槽2.3内的薄片。
27.上述技术方案中，放置架2在离开底座1后，限位条5.2可以在运送过程中避免薄片从放置槽2.3内滑出，限位条5.2上设有与薄片侧面轮廓适配的曲面，使限位条5.2与薄片的侧壁充分贴合，达到更好的限位稳定效果。且限位结构不需要其它驱动件，由放置架2于底座1的位置关系决定，安全可靠。放置架2放入烤箱后，升降块5.1底部与烤箱内的底面接触，限位条5.2同样可以打开，避免烤制过程中滑动限位结构5对产品质量产生影响。
28.实施例3：如图6所示，在实施例2的基础上，所述放置板2.1上设有l形的导槽2.1.1，导槽2.1.1包括竖直槽2.1.2和水平槽2.1.3，导槽2.1.1内设有u形滑块5.5和条形滑块5.6，u形滑块5.5与连接块5.1.1固定，条形滑块5.6压紧块5.1.2固定；u形滑块5.5与竖直槽2.1.2沿竖直方向滑动连接，条形滑块5.6的一端设置在u形滑块5.5内且与u形滑块5.5沿水平方向滑动连接，u形滑块5.5的开口端2.2.1朝向水平槽2.1.3，u形滑块5.5的开口端2.2.1与水平槽2.1.3齐平时，条形滑块5.6的一端可伸入水平槽2.1.3。
29.上述技术方案中，水平槽2.1.3与条形滑块5.6适配。所述结构可以严格限制连接块5.1.1的压紧块5.1.2滑动先后顺序。当限位条5.2压紧薄片侧壁时，此时放置架2远离底座1，需要将放置架2放在底座1上，或者烤盘的底座1上时，条形滑块5.6部分位于水平槽2.1.3内，此时u形滑块5.5无法在竖直槽2.1.2内滑动，即压紧块5.1.2只能相对连接块5.1.1水平滑动，当条形滑块5.6完全进入u形滑块5.5的u形开口内后，条形滑块5.6的限位
作用消失，u形滑块5.5和条形滑块5.6可以一起在竖直槽2.1.2内滑动，即压紧块5.1.2和连接块5.1.1可以相对放置板2.1一起在竖直方向上移动。当放置架2放置在底座1上需要取走时，u形滑块5.5和条形滑块5.6位于竖直槽2.1.2内，在可以在竖直槽2.1.2内竖直滑动，当放置架2离开底座1后，连接块5.1.1和u形滑块5.5一起下移，u形滑块5.5移动到与水平槽2.1.3齐平的位置，u形滑块5.5的开口端2.2.1对准水平槽2.1.3，条形滑块5.6可以部分脱离u形滑块5.5进入水平槽2.1.3内，此时压紧块5.1.2和限位条5.2横移压紧产品的侧壁，部分进入水平槽2.1.3内的条形滑块5.6限制u形滑块5.5在竖直槽2.1.2内的滑动。通过严格限制连接块5.1.1的压紧块5.1.2滑动先后顺序，避免限位条5.2划伤产品侧壁，或者限位条5.2上下移动造成产品变形损坏。
30.本发明的有益效果是：（1）可以实现多个薄片产品的堆放烤制，且放置板2.1与的接触位置为线接触，减少胶粘污染；（2）位置不同的定位块3可以形成不同的限位位置，使底座1适配不同大小的放置架2，从而适配不同大小的产品；（3）可以在运送过程中避免薄片从放置槽2.3内滑出；（4）所述结构可以严格限制连接块5.1.1的压紧块5.1.2滑动先后顺序，通过严格限制连接块5.1.1的压紧块5.1.2滑动先后顺序，避免限位条5.2划伤产品侧壁，或者限位条5.2上下移动造成产品变形损坏。