1.本实用新型涉及石英舟传输定位技术领域，尤其是指一种石英舟传输定位机构。
背景技术：
2.自动化插片机是机械领域使用比较广泛的一种机械设备，解决了硅片在清洗前手工装清洗篮的问题，完全实现了自动分料，自动上料，自动入篮，自动换篮，料满报警等动作。使用该设备后，可以实现硅片插片的基本去手工化工作，除去上下物料外，无需手工在逐片操作。
3.在自动化插片机中，石英舟的定位是否足够精准对于产能、碎片率等的影响是非常关键的，传统的滚轮定位，定位精度和效率不足以目前的需求。
技术实现要素：
4.为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中传统滚轮定位精度和效率不高的技术问题，从而提供一种定位精度较高的石英舟传输定位机构。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种石英舟传输定位机构，包括底座和设置在所述底座上的定位机构，所述定位机构包括第一定位组和第二定位组且分别位于所述底座的第一端和第二端，所述第一、二定位组均包括滑动组，两定位组的所述滑动组对应设置，两定位组的所述滑动组通过设置在所述底座上的推动机构远离所述底座的第一端；所述第一定位组和/或所述第二定位组还包括复位机构，所述滑动组通过所述复位机构靠近所述底座的第一端；所述定位机构还包括用于测定石英舟是否到位的第一检测装置，所述第一检测装置的检测结果与所述复位机构关联。
6.在本实用新型的一个实施例中，所述定位机构还包括用于测定石英舟有无的第二检测装置、用于测定石英舟正反的第三检测装置。
7.在本实用新型的一个实施例中，所述复位机构包括动力机构和衔接件，所述动力机构设置在所述底座上，所述衔接件设置在所述滑动组上，所述衔接件通过所述动力机构带动所述滑动组靠近所述底座的第一端。
8.在本实用新型的一个实施例中，所述动力机构包括复位杆和动力源，所述复位杆通过所述动力源带动所述衔接件靠近所述底座的第一端。
9.在本实用新型的一个实施例中，所述复位杆远离所述动力源的一端设有凸起部，所述衔接件设有容纳所述凸起部的槽，所述复位杆通过所述凸起部与所述槽的配合带动所述衔接件朝向所述底座的第一端移动，所述衔接件上还设有复位限制件。
10.在本实用新型的一个实施例中，所述衔接件相对所述滑动组的位置可调。
11.在本实用新型的一个实施例中，所述滑动组包括滑动件、滑动轨道和限位部，所述滑动轨道位于所述底座上，所述滑动件位于所述滑动轨道上且能够相对所述滑动轨道移动，所述限位部设置在所述滑动轨道的末端，其用于限制所述滑动件的过移位。
12.在本实用新型的一个实施例中，所述石英舟放置件的放置表面设有限制石英舟脱
落的阻断件。
13.在本实用新型的一个实施例中，所述第二定位组设有石英舟缓冲件。
14.在本实用新型的一个实施例中，所述底座的底面设有加强筋，所述加强筋沿所述底座的第一端至第二端设置。
15.本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
16.本实用新型公开的石英舟传输定位机构，通过推动机构、复位机构等多重限制，配合第一检测装置，实现对石英舟的精准定位，取代了传统的滚轮定位，提高了定位精度和效率。
附图说明
17.为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
18.图1是本实用新型实施例一的结构示意图。
19.图2是本实用新型实施例一的局部放大图。
20.图3是本实用新型实施例二的结构示意图
21.图4是本实用新型实施例三的结构示意图。
22.说明书附图标记说明：1、底座；2、定位机构；21、第一定位组；22、第二定位组；3、滑动组；31、滑动件；32、滑动轨道；33、限位部；4、石英舟放置件；5、阻断件；6、推动机构；7、第一复位机构；71、第一动力机构；711、回收杆；712、第一动力源；72、第一衔接件；721、限位槽；722、复位限制件；8、石英舟缓冲件；9、第一检测装置；10、第二检测装置；11、第三检测装置；12、加强筋；13、第二复位机构；131、第二动力机构；1311、推动杆；1312、第二动力源；132、第二衔接件。
具体实施方式
23.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
24.实施例一
25.参照图1所示，本实用新型的石英舟传输定位机构，包括底座1和设置在所述底座上的定位机构2，所述底座1呈长方体结构，所述底座1中部设置供与本实用新型适配的顶升机构顶升的开口。
26.所述定位机构2包括第一定位组21和第二定位组22，所述第一、二定位组分别位于所述底座1的第一端和第二端，本实施例中，优选地，第一、二端为所述底座1的两个短侧端。
27.所述第一、二定位组均包括滑动组3和设置在所述滑动组3上的石英舟放置件4，所述滑动组3包括滑动件31、滑动轨道32和限位部33，所述滑动轨道32位于所述底座1上，所述滑动件31位于所述滑动轨道32上且能够相对所述滑动轨道32移动，所述第一定位组21中的所述限位部33与所述滑动轨道32一侧连接且远离所述底座1的第一端，所述第二定位组22中的所述限位部33与所述滑动轨道32一侧连接且靠近所述底座1的第一端，即所述第一、二定位组中的限位部33相向设置。
28.本实施例中，所述限位部33包括限位底座和螺杆，所述第一、二定位组中所述螺杆
的螺纹端分别背离或朝向所述底座1的第一端设置，另一端设有限位帽以限制所述滑动件31远离或靠近所述底座1第一端的最大距离。
29.所述石英舟放置件4位于所述滑动件31上，且纵向两侧均设有一个(本实施例中，以所述底座1的第一端至第二端为横向，同一水平面中与之垂直的方向为纵向)，每个所述石英舟放置件4的放置表面与石英舟存在角度适配，且每个所述石英舟放置件4的放置表面设有限制石英舟脱落的阻断件5，本实施例中，所述阻断件5分别设置在每个所述石英舟放置件4的横向两侧以保证石英舟脚端不会脱离所述石英舟放置件4。
30.所述底座1上设有推动机构6，本实施例中，所述推动机构6位于所述底座1的第一端，所述推动机构6用于推动所述石英舟远离所述底座1的第一端。本实施例中，所述推动机构1可采用气缸，气缸可采用对应的支撑座支撑至石英舟对应高度。需要说明的是，气缸的推杆处可增设弹簧，以起到对石英舟的缓冲保护作用。
31.本实施例中，所述第一定位组21还包括第一复位机构7，所述第一复位机构7包括第一动力机构71和第一衔接件72，所述第一动力机构71包括回收杆711和第一动力源712，所述第一动力源712设置在所述底座1上且通过支撑座达到预定高度，所述回收杆711一端与所述第一动力源712连接，所述第一动力源712带动所述回收杆711横向运动，所述回收杆711另一端均匀向外侧凸出(沿纵向面凸出，即凸出所在面与水平面垂直)，所述第一衔接件72与所述第一定位组21中的滑动件31连接且设有容纳所述回收杆凸出端的限位槽721，所述限位槽721与所述回收杆711的凸出端形状适配以限制所述回收杆711朝向所述底座1的第一端移动，所述回收杆711呈常伸出状态，所述第一动力源712带动所述回收杆711收缩，经所述第一衔接件72使所述滑动件31相对所述滑动轨道32逐步向所述底座1的第一端滑动。需要说明的是，由于石英舟的尺寸不确定，本实施例中，所述第一衔接件72相对所述滑动件31的位置可调，优选地，所述滑动件31上设有至少两个连接孔以通过螺钉等部件调整所述第一衔接件72相对所述滑动件31的位置。为了保护所述滑动组3，所述第一衔接件72朝向所述第一动力源712一侧还设有复位限制件722，优选地，所述复位限制件722包括两个且分别位于所述回收杆711的横向两侧，所述复位限制件722伸出所述滑动件31以避免复位时所述滑动件31直接撞击所述第一动力源712的支撑座。
32.所述第二定位组22设有石英舟缓冲件8，所述石英舟缓冲件8通过支撑座设置在预定高度，以限制石英舟远离所述底座1第一端移动的最大距离。需要说明的是，所述石英舟缓冲件8在横向位置上伸出支撑其的支撑座，从而保护所述定位机构，避免所述第二定位组22的滑动件31直接撞击支撑座。
33.所述定位机构还包括用于测定石英舟是否到位的第一检测装置9、用于测定石英舟有无的第二检测装置10、用于测定石英舟正反的第三检测装置11，本实施例中，为了安装方便，所述第二检测装置10设置在所述底座1的第一端，且通过支撑座设置于预定高度(为了便于检测，可略高于所述动力源)，所述第一检测装置9和第三检测装置11设置在所述底座的第二端，所述第一、三检测装置均设置在所述石英舟缓冲件8的支撑座上，所述第三检测装置11通过支撑座达到预定高度。本实施例中，检测装置均可采用红外传感器进行.
34.所述底座1的底面设有加强筋12，所述加强筋12沿所述底座1的第一端至第二端设置，且在纵向位置上位于中部。通过设置加强筋12，保证整个机构的稳定性。
35.本实用新型的工作过程如下:
36.石英舟的四个脚端通过其他设备分别放置在所述第一、二定位组中的石英舟放置件8上，所述第二检测装置10和第三检测装置11开始工作，检测本传输定位机构上是否存在石英舟以及石英舟的正反方向是否正确，当一切正常时，所述推动机构6推动石英舟朝所述底座1的第二端移动，直至所述石英舟与所述石英舟缓冲件8接触，此时，所述第三检测装置9开始运作，检测石英舟是否到位。
37.当石英舟的位置不够精准时，所述第一动力源712带动所述回收杆711收缩，经所述第一衔接件72使所述滑动件31相对所述滑动轨道32逐步向所述底座1的第一端滑动，以确保所述石英舟位置的精确度。随后顶升机构开始工作，所有工作完毕后，复位机构带动整个机构复位，直至所述复位限制件722与所述第一动力源712的支撑座接触。
38.实施例二
39.本实施例中，第二定位组包括第二复位机构13，以替代所述第一定位组中的第一复位机构7，所述第二复位机构包括第二动力机构131和第二衔接件132，所述第二动力机构包括推动杆1311和第二动力源1312，所述第二动力源1312设置在所述石英舟缓冲件8的支撑座上以达到预定高度，所述第二衔接件132与所述第二定位组22中的滑动件31连接，所述推动杆1311为常收缩状态，所述第二动力源1312带动所述推动杆1311朝向所述底座1的第一端伸出，经所述第二衔接件132使所述滑动件31相对所述滑动轨道32朝向底座1的第一端滑动。本实施例中，所述第二衔接件132相对所述滑动件31的位置同样可调。
40.实施例三
41.本实施例中，所述第一、二定位组均包括复位机构，结构与所述上述两个实施例中公开的技术特征相同，由于所述第一、二定位组均存在复位机构，使得所述石英舟的定位更为精准。
42.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。