靶材吊装装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种靶材吊装装置。


背景技术：

2.靶材是一种以金属制成的材料。在材料领域，靶材通常应用于半导体芯片、显示器、太阳能电池、电子器件等的制造。在制造过程中，对旋转靶材进行装配是一种常见的操作工序。
3.目前，通常都是用吊绳对靶材进行吊装。但是采用吊绳的话，会存在如下缺陷，当吊装长度超过3米的脆性靶材时，容易造成靶材变形，甚至破坏靶材。此外，这种吊装方式需要更高的操作空间，对于空间高度不够的情况是不适用的。
4.由此可见，能否基于现有技术中的不足，提供一种改进的靶材吊装装置，有效解决容易造成靶材变形破坏靶材的问题，显著提高吊装效率和节省吊装空间，保证吊装安全，成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。


技术实现要素：

5.实用新型所要解决的课题
6.本实用新型的目的是在于克服现有技术的缺陷，提供一种靶材吊装装置。根据本实用新型所提供的使用方便、结构合理的靶材吊装装置，显著提高吊装效率和节省吊装空间，保证吊装安全。
7.用于解决课题的方法
8.本实用新型第一方面涉及一种靶材吊装装置，
9.包括主体梁和连接件，
10.在主体梁的上方设有吊装件，
11.在主体梁的下方设有间隔相等的多组吊装螺母，每组吊装螺母包括多个间隔相等的吊装螺母，
12.连接件与吊装螺母相连接，
13.在连接件的内侧设有内嵌保护层。
14.优选地，在主体梁的下方设有间隔相等的四组吊装螺母，每组吊装螺母包括间隔相等的四个吊装螺母。
15.优选地，主体梁呈长梁状，连接件呈圆筒环状。
16.优选地，连接件与吊装螺母通过连接环相连接。
17.优选地，内嵌保护层为特氟龙。
18.实用新型的效果
19.根据本实用新型第一方面所涉及的靶材吊装装置，有效解决了容易造成靶材变形破坏靶材的问题，显著提高吊装效率和节省吊装空间，保证吊装安全。
附图说明
20.图1为本发明的第一实施方式的靶材吊装装置的示意图。
21.图2为图1中的靶材吊装装置的主体梁的示意图。
22.图3为图1中的靶材吊装装置的连接件的示意图。
具体实施方式
23.以下，对于本实用新型所涉及的靶材吊装装置详细地进行说明。
24.图1为本发明的第一实施方式的靶材吊装装置的示意图。如图1所示，靶材吊装装置包括主体梁1和多个连接件2，图1中示出了二个连接件2，但是并不限于此，也可以是其他合适的数量。
25.图2为图1中的靶材吊装装置的主体梁1的示意图。如图2所示，主体梁1呈长梁状，但并不限于此，也可以是其他适当的形状，在主体梁1的上方设有吊装件11，在主体梁1的下方设有间隔相等的多组吊装螺母12，每组吊装螺母12包括多个间隔相等的吊装螺母12。例如可以在主体梁的下方设有间隔相等的四组吊装螺母12，每组吊装螺母包括间隔相等的四个吊装螺母12，但并不限于此，也可以设置其他数量，也可以吊装螺母12之间的间隔不相等。主体梁1优选为钢结构，钢结构强度高，保证了吊装安全，但并不限于此，也可以是其他适当的材料制成。
26.图3为图1中的靶材吊装装置的连接件2的示意图。如图3所示，连接件2呈圆筒环状，但并不限于此，也可以是其他适当的形状，在连接件2的内侧设有内嵌保护层21。连接件2与吊装螺母12例如通过连接环22相连接，也可以是其他适当的连接方式。当连接件2与设于主体梁1端部的吊装螺母12连接时，能吊装长度较长的靶材。内嵌保护层21优选为采用特氟龙材料，可有效保护靶材的表面，但并不限于此，也可以是其他适当的材料制成。
27.如此一来，靶材吊装装置的接触面足够宽，既保证吊装安全，又能不损坏靶材，能非常好地保证3米以上的靶材的吊装，通过设于不同位置的吊装螺母，对于0.7至5米的靶材都能进行吊装，吊装范围长，特别适合对又长又大的靶材进行吊装，减少了吊装过程中对易形变靶材的影响。在高度受限的工作环境下，可以节省吊装空间，提高效率，不仅适用于平面靶材，也同样适用于旋转靶材。
28.以下，将对本实用新型合适的实施例做说明，不过本实用新型的实施形式不限于此。
29.＜实施例1＞
30.实施例1中的靶材吊装装置包括主体梁1和连接件2。主体梁1长度为2500
‑
2700mm，在钢结构的长梁状的主体梁1的上方设有吊装件11，吊装件11长度为1100
‑
1300mm，在主体梁1的下方设有间隔相等的四组吊装螺母12，每组吊装螺母12之间的间隔为700
‑
800mm，每组吊装螺母12包括四个间隔相等的吊装螺母12，每个吊装螺母12之间的间隔为35
‑
45mm，最边缘的两组吊装螺母12与吊装件11的端部之间的距离为50
‑
60mm。在圆筒环状的金属制成的连接件2在内侧设有特氟龙材料的内嵌保护层21。连接件2与吊装螺母12通过连接环相连接。通过应用在本实施例中制造的靶材吊装装置，靶材吊装装置的接触面足够宽，既保证吊装安全，又能不损坏靶材，能非常好地保证3米以上的靶材的吊装，通过设于不同位置的吊装螺母，对于0.7至5米的靶材都能进行吊装，吊装范围长，特别适合对又长又大的靶材进行
吊装，减少了吊装过程中对易形变靶材的影响。在高度受限的工作环境下，可以节省吊装空间，提高效率，不仅适用于平面靶材，也同样适用于旋转靶材。
31.产业应用性
32.根据本实用新型所涉及的使用方便、结构合理的靶材吊装装置，有效解决了容易造成靶材变形破坏靶材的问题，显著提高吊装效率和节省吊装空间，保证吊装安全。
33.虽然通过参照本发明的某些优选实施方式，已经对本发明进行了图示和描述，但本领域的普通技术人员应该明白，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。


技术特征：
1.一种靶材吊装装置，其特征在于，包括主体梁和多个连接件，在主体梁的上方设有吊装件，在主体梁的下方设有间隔相等的多组吊装螺母，每组吊装螺母包括多个间隔相等的吊装螺母，连接件与吊装螺母相连接，在连接件的内侧设有内嵌保护层。2.根据权利要求1所述的靶材吊装装置，其特征在于，在主体梁的下方设有间隔相等的四组吊装螺母，每组吊装螺母包括间隔相等的四个吊装螺母。3.根据权利要求2所述的靶材吊装装置，其特征在于，主体梁呈长梁状，连接件呈圆筒环状。4.根据权利要求1所述的靶材吊装装置，其特征在于，连接件与吊装螺母通过连接环相连接。5.根据权利要求1所述的靶材吊装装置，其特征在于，内嵌保护层为特氟龙。

技术总结
本实用新型提供一种靶材吊装装置，包括主体梁和多个连接件，在主体梁的上方设有吊装件，在主体梁的下方设有间隔相等的多组吊装螺母，每组吊装螺母包括多个间隔相等的吊装螺母，连接件与吊装螺母相连接，在连接件的内侧设有内嵌保护层。根据本实用新型，有效解决了容易造成靶材变形破坏靶材的问题，显著提高吊装效率和节省吊装空间，保证吊装安全。保证吊装安全。保证吊装安全。


技术研发人员：陈超 刘富
受保护的技术使用者：攀时（上海）高性能材料有限公司
技术研发日：2021.02.26
技术公布日：2021/10/29