一种靶材粘合作业用翻板机构的制作方法

文档序号:27791808发布日期:2021-12-04 11:02阅读:56来源:国知局
一种靶材粘合作业用翻板机构的制作方法

1.本实用新型涉及靶材粘合翻板技术领域,具体为一种靶材粘合作业用翻板机构。


背景技术:

2.镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。
3.靶材粘合作业时,靶材翻板需要5个人,耗时较长,并且精度不好控制,生产效率较低。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种靶材粘合作业用翻板机构,具备靶材粘合翻板时对靶材定位,便于翻板操作的优点,解决了靶材翻板需要5个人,耗时较长,并且精度不好控制,生产效率较低的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种靶材粘合作业用翻板机构,包括机身、机台板、扶杆、卡接块和靶材板,所述机身上表面与机台板下表面焊接,所述机台板上表面的中间开设有滑槽,所述卡接块底端滑动安装在滑槽内,所述卡接块上贯穿有连接杆,所述连接杆的前后两端分别通过轴承转动安装有滚轮,所述卡接块的一侧与扶杆一端固定,所述扶杆另一端的前后端面分别固定有把手,所述靶材板放置在机台板上。
6.优选的,所述卡接块底端与滑槽相匹配,卡接块底端与滑槽底端不接触。
7.优选的,所述卡接块上开设有与连接杆相匹配的贯通孔,连接杆穿过贯通孔,连接杆与卡接块固定。
8.优选的,所述轴承分为内环和外环,内环和外环之间通过滚珠转动连接,轴承的内环与连接杆固定,轴承的外环嵌入滚轮中间固定。
9.优选的,所述滚轮与机台板上表面接触。
10.优选的,所述靶材板与卡接块另一侧开设的卡槽对接,卡接块另一侧开设的卡槽内壁底端与机台板上表面平齐。
11.与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:本实用新型通过设置滑槽、轴承、连接杆和滚轮,达到了靶材粘合翻板时对靶材定位,便于翻板操作的效果。本实用新型设置有滑槽、轴承、连接杆和滚轮,卡接块上贯穿有连接杆,连接杆与卡接块固定,连接杆的前后两端分别通过轴承转动安装有滚轮。使用时,靶材板放置在机台板上,工作人员用手扶着扶杆将卡接块放置滑槽内,卡接块与滑槽相匹配,此时的滚轮与机台板上表面接触,卡接块背离扶杆一侧开设的卡槽内壁底端与机台板上表面平齐,工作人员推动扶杆,滚轮滚动,卡接块在滑槽内移动,卡接块上的卡槽与靶材板对接。推动靶材板到达指定位置时,拿住扶杆向上抬,辅助作业的其中的一人在对面接应靶材板,另外一人协助精准放入指定位置完成作
业,只需要三人即可完成翻板作业。
附图说明
12.图1为本实用新型的主视结构示意图;
13.图2为本实用新型的卡接块剖视连接结构示意图;
14.图3为本实用新型的图2的a处放大示意图;
15.图4为本实用新型的俯视结构示意图;
16.图5为本实用新型的图4的b处放大示意图。
17.图中:1、机身;2、机台板;3、把手;4、扶杆;5、滚轮;6、卡接块;7、靶材板;8、滑槽;9、轴承;10、连接杆。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
19.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
20.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
21.请参阅图1至图5,本实用新型提供的一种实施例:一种靶材粘合作业用翻板机构,包括机身1、机台板2、扶杆4、卡接块6和靶材板7,机身1上表面与机台板2下表面焊接,机台板2上表面的中间开设有滑槽8,卡接块6底端滑动安装在滑槽8内,卡接块6底端与滑槽8相匹配,卡接块6底端与滑槽8底端不接触,卡接块6在滑槽8内稳定移动。卡接块6上贯穿有连接杆10,卡接块6上开设有与连接杆10相匹配的贯通孔,连接杆10穿过贯通孔,连接杆10与卡接块6固定。连接杆10的前后两端分别通过轴承9转动安装有滚轮5,滚轮5与机台板2上表面接触。轴承9分为内环和外环,内环和外环之间通过滚珠转动连接,轴承9的内环与连接杆10固定,轴承9的外环嵌入滚轮5中间固定。卡接块6的一侧与扶杆4一端固定,扶杆4另一端的前后端面分别固定有把手3。
22.靶材板7放置在机台板2上,靶材板7与卡接块6另一侧开设的卡槽对接,卡接块6另一侧开设的卡槽内壁底端与机台板2上表面平齐。使用时,靶材板7放置在机台板2上,工作人员用手扶着扶杆4将卡接块6放置滑槽8内,此时的滚轮5与机台板2上表面接触,工作人员推动扶杆4,滚轮5滚动,卡接块6在滑槽8内移动,卡接块6上的卡槽与靶材板7对接。推动靶
材板7到达指定位置时,拿住扶杆4向上抬,辅助作业的其中的一人在对面接应靶材板7,另外一人协助精准放入指定位置完成作业,只需要三人即可完成翻板作业。
23.工作原理:靶材板7放置在机台板2上,工作人员用手扶着扶杆4将卡接块6放置滑槽8内,此时的滚轮5与机台板2上表面接触,工作人员推动扶杆4,滚轮5滚动,卡接块6在滑槽8内移动,卡接块6上的卡槽与靶材板7对接。推动靶材板7到达指定位置时,拿住扶杆4向上抬,辅助作业的其中的一人在对面接应靶材板7,另外一人协助精准放入指定位置完成作业。
24.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。


技术特征:
1.一种靶材粘合作业用翻板机构,包括机身(1)、机台板(2)、扶杆(4)、卡接块(6)和靶材板(7),其特征在于:所述机身(1)上表面与机台板(2)下表面焊接,所述机台板(2)上表面的中间开设有滑槽(8),所述卡接块(6)底端滑动安装在滑槽(8)内,所述卡接块(6)上贯穿有连接杆(10),所述连接杆(10)的前后两端分别通过轴承(9)转动安装有滚轮(5),所述卡接块(6)的一侧与扶杆(4)一端固定,所述扶杆(4)另一端的前后端面分别固定有把手(3),所述靶材板(7)放置在机台板(2)上。2.根据权利要求1所述的一种靶材粘合作业用翻板机构,其特征在于:所述卡接块(6)底端与滑槽(8)相匹配,卡接块(6)底端与滑槽(8)底端不接触。3.根据权利要求1所述的一种靶材粘合作业用翻板机构,其特征在于:所述卡接块(6)上开设有与连接杆(10)相匹配的贯通孔,连接杆(10)穿过贯通孔,连接杆(10)与卡接块(6)固定。4.根据权利要求1所述的一种靶材粘合作业用翻板机构,其特征在于:所述轴承(9)分为内环和外环,内环和外环之间通过滚珠转动连接,轴承(9)的内环与连接杆(10)固定,轴承(9)的外环嵌入滚轮(5)中间固定。5.根据权利要求1所述的一种靶材粘合作业用翻板机构,其特征在于:所述滚轮(5)与机台板(2)上表面接触。6.根据权利要求1所述的一种靶材粘合作业用翻板机构,其特征在于:所述靶材板(7)与卡接块(6)另一侧开设的卡槽对接,卡接块(6)另一侧开设的卡槽内壁底端与机台板(2)上表面平齐。

技术总结
本实用新型公开了一种靶材粘合作业用翻板机构,包括机身、机台板、扶杆、卡接块和靶材板,所述机身上表面与机台板下表面焊接,所述机台板上表面的中间开设有滑槽,所述卡接块底端滑动安装在滑槽内,所述卡接块上贯穿有连接杆,所述卡接块上开设有与连接杆相匹配的贯通孔,连接杆穿过贯通孔,连接杆与卡接块固定,所述连接杆的前后两端分别通过轴承转动安装有滚轮,所述卡接块的一侧与扶杆一端固定,所述扶杆另一端的前后端面分别固定有把手,所述靶材板放置在机台板上,所述靶材板与卡接块另一侧开设的卡槽对接,卡接块另一侧开设的卡槽内壁底端与机台板上表面平齐。本实用新型具有靶材粘合翻板时对靶材定位,便于翻板操作的优点。点。点。


技术研发人员:熊朋
受保护的技术使用者:科美(广州)电子材料有限公司
技术研发日:2021.03.04
技术公布日:2021/12/3
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