一种半导体膜状扩散源收卷装置的制作方法

1.本实用新型属于生产成型设备技术领域，具体是一种半导体膜状扩散源收卷装置。


背景技术：

2.半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料，特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高，元件的尺寸越来越小，半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。半导体膜状扩散源在行业内也俗称纸源。
3.但是这种膜状扩散源的生产较为困难，目前没有公开的技术可以参考。在成膜后，需要平辊上的纸膜转移到卷辊上面，进行收卷烘干，在收卷的时候，经常发生卷纸膜松懈，褶皱的情况，


技术实现要素：

4.鉴于现有技术中存在的不足和缺陷，本实用新型的目的在于提供一种半导体膜状扩散源收卷装置。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种半导体膜状扩散源收卷装置，其特征在于：包括套筒，在所述套筒外部周向等距设有伸缩杆，所述伸缩杆贯穿定位环，所述伸缩杆端部设置弧形撑板，所述伸缩杆的外侧且位于定位环与弧形撑板之间套接支撑弹簧，在所述套筒设有转轴，转杆一端铰接转轴、另一端铰接伸缩杆，所述能转轴围绕套筒定位转动。
6.作为本实用新型的进一步改进，所述定位环通过固定杆固定在套筒上。
7.作为本实用新型的进一步改进，所述伸缩杆与定位环活动链接。
8.作为本实用新型的进一步改进，所述支撑弹簧一端与定位环固定连接、另一端与弧形撑板固定连接。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述弧形撑板的材料为聚氨脂海绵，在卷绕过程中利于保护半导体膜状扩散源不受损坏。
10.与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：通过转杆连接的伸缩杆、弧形撑板来弹性调节卷绕直径，使得收卷半导体膜状扩散源的时候能够更加紧凑，聚氨脂海绵材质的弧形撑板在卷绕过程中利于保护半导体膜状扩散源不受损坏，有效提高卷绕效率。
附图说明
11.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的说明：
12.图1为本实用新型一种半导体膜状扩散源收卷装置的结构示意图；
13.图中：1转轴、2套筒、3伸缩杆、4定位环、5弧形撑板、6支撑弹簧、7转杆、8固定杆。
具体实施方式
14.为了本实用新型的技术方案和有益效果更加清楚明白，下面结合具体实施例对本实用新型进行进一步的详细说明。
15.参照图1，为本实用新型的结构示意图，包括套筒2，在所述套筒2外部周向等距设有伸缩杆3，所述伸缩杆3贯穿定位环4，所述伸缩杆3端部设置弧形撑板5，所述弧形撑板5的材料为聚氨脂海绵，在卷绕过程中利于保护半导体膜状扩散源不受损坏。所述伸缩杆3的外侧且位于定位环4与弧形撑板5之间套接支撑弹簧6，在所述套筒2设有转轴1，转杆7一端铰接转轴1、另一端铰接伸缩杆3，所述能转轴1围绕套筒2定位转动。所述定位环4通过固定杆8固定在套筒2上。所述伸缩杆3与定位环4活动链接。所述支撑弹簧6一端与定位环4固定连接、另一端与弧形撑板5固定连接。
16.在本实用新型中，半导体膜状扩散源收卷时，收卷装置将会带动转轴1转动将半导体膜状扩散源收于弧形撑板5的外侧，在收卷一定量的半导体膜状扩散源之后，弧形撑板5承受压力过大后将会通过支撑弹簧6向内收缩，转动套筒2，使得套筒2与转轴1相互转动，转杆7带动伸缩杆3向外，使得收卷半导体膜状扩散源的时候能够更加紧凑，不会出现收卷的很蓬松，增强了收卷效果，避免了半导体膜状扩散源收卷不紧凑而出现松散情况。
17.应当理解，此处所描述的具体实施方式仅用于理解本实用新型，并不用于限定本实用新型，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。


技术特征：
1.一种半导体膜状扩散源收卷装置，其特征在于：包括套筒(2)，在所述套筒(2)外部周向等距设有伸缩杆(3)，所述伸缩杆(3)贯穿定位环(4)，所述伸缩杆(3)端部设置弧形撑板(5)，所述伸缩杆(3)的外侧且位于定位环(4)与弧形撑板(5)之间套接支撑弹簧(6)，在所述套筒(2)设有转轴(1)，转杆(7)一端铰接转轴(1)、另一端铰接伸缩杆(3)，所述转轴(1)围绕套筒(2)定位转动。2.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源收卷装置，其特征在于：所述定位环(4)通过固定杆(8)固定在套筒(2)上。3.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源收卷装置，其特征在于：所述伸缩杆(3)与定位环(4)活动链接。4.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源收卷装置，其特征在于：所述支撑弹簧(6)一端与定位环(4)固定连接、另一端与弧形撑板(5)固定连接。5.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源收卷装置，其特征在于：所述弧形撑板(5)的材料为聚氨脂海绵。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体膜状扩散源收卷装置，属于生产成型设备技术领域，包括套筒，在所述套筒外部周向等距设有伸缩杆，所述伸缩杆贯穿定位环，所述伸缩杆端部设置弧形撑板，所述伸缩杆的外侧且位于定位环与弧形撑板之间套接支撑弹簧，在所述套筒设有转轴，转杆一端铰接转轴、另一端铰接伸缩杆，所述能转轴围绕套筒定位转动，通过转杆连接的伸缩杆、弧形撑板来弹性调节卷绕直径，使得收卷半导体膜状扩散源的时候能够更加紧凑，聚氨脂海绵材质的弧形撑板在卷绕过程中利于保护半导体膜状扩散源不受损坏，有效提高卷绕效率。有效提高卷绕效率。有效提高卷绕效率。


技术研发人员：汪良恩 王锡康 姜兰虎 乔建明
受保护的技术使用者：山东芯源微电子有限公司
技术研发日：2021.03.09
技术公布日：2021/11/2