一种石英材料的保温桶的制作方法

文档序号:28546541发布日期:2022-01-19 15:08阅读:177来源:国知局
一种石英材料的保温桶的制作方法

1.本实用新型涉及保温桶技术领域,具体领域为一种石英材料的保温桶。


背景技术:

2.目前,在相关技术中,晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,其形状为圆形,在圆晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之ic产品。石英是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料,晶圆在制造的冷却过程中,需要将晶圆放置于保温桶中,对圆晶片进行保温,以待后续加工处理。现有的保温桶大多为单层结构,保温效果较差,无法满足保温需求。因此,设计一种石英材料的保温桶确保圆晶片在长时间放置后,仍达到加工要求的温度。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种石英材料的保温桶,以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种石英材料的保温桶,所述石英材料的保温桶配合置物板一同使用,所述石英材料的保温桶包括壳体,所述壳体为前表面开口的中空腔体,所述壳体内部的一侧壁上对称设有两组第一安装座,每组所述第一安装座的相对面之间均设有第一光杆,所述第一光杆的侧壁上均套设有第一滑套,且所述第一滑套均与所述第一光杆滑动连接,所述壳体内部的另一侧壁上对称设有两组第二安装座,每组所述第二安装座的相对面之间均设有第二光杆,所述第二光杆的侧壁上均套设有第二滑套,且所述第二滑套均与所述第二光杆滑动连接,所述壳体的内部设有外胆,两个所述第一滑套的外侧壁均分别与所述外胆外部的一侧壁相连接,两个所述第二滑套的外侧壁均分别与所述外胆外部的另一侧壁相连接,所述壳体与所述外胆之间存在间隙,所述外胆的内侧设有内胆,所述外胆和所述内胆为一体式结构,且所述外胆和所述内胆组成前表面开口的中空腔体,所述外胆和所述内胆之间设有真空腔,所述内胆内部的下表面上对称设有支撑板,两个所述支撑板的相对面上均分别设有若干容纳槽,且若干所述容纳槽均均匀分布在所述支撑板的相对面上,每两个所述容纳槽之间架设有所述置物板,所述壳体外部的一侧壁上铰接有门板。
5.优选的,所述内胆的内侧壁上镀有镀银层,所述镀银层的内侧壁上涂有绝缘涂料层。
6.优选的,所述门板的后表面上设有密封垫一,所述密封垫一为框状,且所述密封垫一与所述间隙相匹配使用,所述门板的后表面上设有密封垫二,且所述密封垫二为矩形,且所述密封垫二与所述内胆相匹配使用。
7.优选的,所述外胆外部的下表面设有四个移动轮,四个所述移动轮均分别位于所述外胆外部下表面的后方,且四个所述移动轮均匀分布在所述外胆外部下表面的后方。
8.优选的,所述门板的前表面设有把手,所述壳体外部的下表面设有四个制动万向
轮,且四个所述制动万向轮均匀分布在所述壳体外部的下表面上。
9.优选的,所述外胆外部的两侧壁上均分别设有扶手,且两个所述扶手对称设置。
10.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:一种石英材料的保温桶,所述壳体的设置可便于对外胆进行支撑;四个所述第一安装座的设置可分别对两个第一光杆进行支撑和固定;四个所述第二安装座的设置可分别对两个第二光杆进行支撑和固定;两个所述第一滑套和两个所述第一光杆与两个所述第二滑套和两个所述第二光杆的配合使用,一是可起到对外胆进行支撑的效果,二是可便于外胆在壳体的内部进行移动,起到了导向的效果;所述外胆和所述内胆进行制作时,会把两个夹层之间的空气全部抽走,外胆与内胆之间就形成了真空腔,此时外胆和内胆之间,就不存在有任何的空气流动带走热量,此时热对流被封死,从而实现内胆的内部对圆晶片进行保温的效果;两个所述支撑板的设置可便于对置物板进行支撑和固定;所述容纳槽的设置可实现对置物板的支撑和固定;所述置物板的设置可便于放置需要进行保温的圆晶片;使用时将圆晶片分别放入置物板上,将置物板放入两个相对的容纳槽内,两个支撑板可同时对多个置物板进行存放,并避免圆晶片之间相互接触,产生摩擦,从而避免圆晶片磨损、损坏,确保圆晶片可正常使用,后续生产工作顺利进行;所述门板的设置可便于对壳体的内部进行封盖,达到对壳体的内部进行保温的效果;所述镀银层为亮面,可达到反射的效果,圆晶片在内胆内部所产生的热辐射会经镀银层在内胆的侧壁上进行不停的反射,使热辐射无法脱离内胆的内部,从而达到保温的效果;所述绝缘涂料层的设置可起到绝缘的效果,因绝缘涂料层为清漆,即绝缘涂料层只起到对镀银层和晶圆片之间绝缘的效果,避免内胆的内部产生电荷,导致圆晶片损坏;所述密封垫一的设置可便于对间隙进行密封,避免内胆中的热量从内胆前表面泄入间隙的内部,影响内胆内部对圆晶片的保温效果;所述密封垫二的设置可便于对内胆内部的前表面进行密封,避免内胆中的热量从内胆前表面泄入间隙的内部,影响内胆内部对圆晶片的保温效果;所述密封垫一和所述密封垫二的配合使用,可阻隔内胆中的热量与外界的空气相接处,从而阻止热传导,提高内胆对圆晶片进行保温的效果;四个所述移动轮均分别位于所述外胆外部下表面的后方,此设置可避免外胆在外壳的内部进行移动时,移动轮脱离壳体内部的下表面,导致外胆、真空腔和内胆损坏,从而影响对圆晶片的保温效果;四个所述移动轮的设置一是可便于对外胆进行支撑,二是可便于配合两个第一滑套和两个第二滑套,使外胆在壳体的内部进行移动,增强外胆在壳体内部进行移动时的稳定性;所述把手的设置可便于对门板进行翻转,实现对壳体进行打开或关闭的效果;四个所述制动万向轮的设置可便于装置进行移动或安置,提高装置使用时的便利性;所述扶手的设置可使操作人员将部分外胆拉出壳体的内部,便于操作人员向内胆的内部放置圆晶片或操作人员从内胆的内部取出圆晶片;本实用新型结构简单,操作方便,实用性强,可推广使用。
附图说明
11.图1为本实用新型的正面结构剖面示意图;
12.图2为本实用新型的侧面结构剖面示意图;
13.图3为本实用新型的侧面结构剖面示意图;
14.图4为本实用新型外胆内胆的俯面结构剖面示意图。
15.图中:1-置物板、2-壳体、3-第一安装座、4-第一光杆、5-第一滑套、6-第二安装座、
7-第二光杆、8-第二滑套、9-外胆、10-间隙、11-内胆、12-真空腔、13-支撑板、14-容纳槽、15-门板、16-镀银层、17-绝缘涂料层、18-密封垫一、19-密封垫二、20-移动轮、21-把手、22-制动万向轮、23-扶手。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
17.请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种石英材料的保温桶,所述石英材料的保温桶配合置物板1一同使用,所述石英材料的保温桶包括壳体2,所述壳体2为前表面开口的中空腔体,所述壳体2的设置可便于对外胆9进行支撑;所述壳体2内部的一侧壁上对称设有两组第一安装座3,每组所述第一安装座3的相对面之间均设有第一光杆4,所述第一光杆4的侧壁上均套设有第一滑套5,且所述第一滑套5均与所述第一光杆4滑动连接,所述壳体2内部的另一侧壁上对称设有两组第二安装座6,每组所述第二安装座6的相对面之间均设有第二光杆7,所述第二光杆7的侧壁上均套设有第二滑套8,且所述第二滑套8均与所述第二光杆7滑动连接,四个所述第一安装座3的设置可分别对两个第一光杆4进行支撑和固定;四个所述第二安装座6的设置可分别对两个第二光杆7进行支撑和固定;两个所述第一滑套5和两个所述第一光杆4与两个所述第二滑套8和两个所述第二光杆7的配合使用,一是可起到对外胆9进行支撑的效果,二是可便于外胆9在壳体2的内部进行移动,起到了导向的效果;所述壳体2的内部设有外胆9,两个所述第一滑套5的外侧壁均分别与所述外胆9外部的一侧壁相连接,两个所述第二滑套8的外侧壁均分别与所述外胆9外部的另一侧壁相连接,所述壳体2与所述外胆9之间存在间隙10,所述外胆9的内侧设有内胆11,所述外胆9和所述内胆11为一体式结构,且所述外胆9和所述内胆11组成前表面开口的中空腔体,所述外胆9和所述内胆11之间设有真空腔12,所述外胆9和所述内胆11进行制作时,会把两个夹层之间的空气全部抽走,外胆9与内胆11之间就形成了真空腔12,此时外胆9和内胆11之间,就不存在有任何的空气流动带走热量,此时热对流被封死,从而实现内胆11的内部对圆晶片进行保温的效果;所述内胆11内部的下表面上对称设有支撑板13,两个所述支撑板13的相对面上均分别设有若干容纳槽14,且若干所述容纳槽14均均匀分布在所述支撑板13的相对面上,每两个所述容纳槽14之间架设有所述置物板1,所述壳体2外部的一侧壁上铰接有门板15,两个所述支撑板13的设置可便于对置物板1进行支撑和固定;所述容纳槽14的设置可实现对置物板1的支撑和固定;所述置物板1的设置可便于放置需要进行保温的圆晶片;使用时将圆晶片分别放入置物板1上,将置物板1放入两个相对的容纳槽14内,两个支撑板13可同时对多个置物板1进行存放,并避免圆晶片之间相互接触,产生摩擦,从而避免圆晶片磨损、损坏,确保圆晶片可正常使用,后续生产工作顺利进行;所述门板15的设置可便于对壳体2的内部进行封盖,达到对壳体2的内部进行保温的效果;所述外胆9和所述内胆11均为石英材料制成;本实用新型结构简单,操作方便,实用性强,可推广使用。
18.具体而言,所述内胆11的内侧壁上镀有镀银层16,所述镀银层16的内侧壁上涂有绝缘涂料层17,所有具有热量的物体都具有热辐射,所述镀银层16为亮面,可达到反射的效
果,圆晶片在内胆11内部所产生的热辐射会经镀银层16在内胆11的侧壁上进行不停的反射,使热辐射无法脱离内胆11的内部,从而达到保温的效果;所述绝缘涂料层17的设置可起到绝缘的效果,因绝缘涂料层17为清漆,即绝缘涂料层17只起到对镀银层16和晶圆片之间绝缘的效果,避免内胆11的内部产生电荷,导致圆晶片损坏。
19.具体而言,所述门板15的后表面上设有密封垫一18,所述密封垫一18为框状,且所述密封垫一18与所述间隙10相匹配使用,所述门板15的后表面上设有密封垫二19,且所述密封垫二19为矩形,且所述密封垫二19与所述内胆11相匹配使用,所述密封垫一18的设置可便于对间隙10进行密封,避免内胆11中的热量从内胆11前表面泄入间隙10的内部,影响内胆11内部对圆晶片的保温效果;所述密封垫二19的设置可便于对内胆11内部的前表面进行密封,避免内胆11中的热量从内胆11前表面泄入间隙10的内部,影响内胆11内部对圆晶片的保温效果;所述密封垫一18和所述密封垫二19的配合使用,可阻隔内胆11中的热量与外界的空气相接处,从而阻止热传导,提高内胆11对圆晶片进行保温的效果。
20.具体而言,所述外胆9外部的下表面设有四个移动轮20,四个所述移动轮20均分别位于所述外胆9外部下表面的后方,此设置可避免外胆9在外壳的内部进行移动时,移动轮20脱离壳体2内部的下表面,导致外胆9、真空腔12和内胆11损坏,从而影响对圆晶片的保温效果;且四个所述移动轮20均匀分布在所述外胆9外部下表面的后方,四个所述移动轮20的设置一是可便于对外胆9进行支撑,二是可便于配合两个第一滑套5和两个第二滑套8,使外胆9在壳体2的内部进行移动,增强外胆9在壳体2内部进行移动时的稳定性。
21.具体而言,所述门板15的前表面设有把手21,所述壳体2外部的下表面设有四个制动万向轮22,且四个所述制动万向轮22均匀分布在所述壳体2外部的下表面上,所述把手21的设置可便于对门板15进行翻转,实现对壳体2进行打开或关闭的效果;四个所述制动万向轮22的设置可便于装置进行移动或安置,提高装置使用时的便利性。
22.具体而言,所述外胆9外部的两侧壁上均分别设有扶手23,且两个所述扶手23对称设置,所述扶手23的设置可使操作人员将部分外胆9拉出壳体2的内部,便于操作人员向内胆11的内部放置圆晶片或操作人员从内胆11的内部取出圆晶片。
23.工作原理:本实用新型使用时,将圆晶片分别放入置物板1上,将置物板1放入两个相对的容纳槽14内,两个支撑板13可同时对多个置物板1进行存放,并避免圆晶片之间相互接触,产生摩擦,从而避免圆晶片磨损、损坏,确保圆晶片可正常使用,后续生产工作顺利进行,通过把手21对门板15进行翻转,使门板15对壳体2进行封盖,外胆9和内胆11进行制作时,会把两个夹层之间的空气全部抽走,外胆9与内胆11之间就形成了真空腔12,此时外胆9和内胆11之间,就不存在有任何的空气流动带走热量,此时热对流被封死,从而实现内胆11的内部对圆晶片进行保温的效果;镀银层16为亮面,可达到反射的效果,圆晶片在内胆11内部所产生的热辐射会经镀银层16在内胆11的侧壁上进行不停的反射,使热辐射无法脱离内胆11的内部,从而达到保温的效果;绝缘涂料层17的设置可起到绝缘的效果,因绝缘涂料层17为清漆,即绝缘涂料层17只起到对镀银层16和晶圆片之间绝缘的效果,避免内胆11的内部产生电荷,导致圆晶片损坏;密封垫一18的设置可便于对间隙10进行密封,避免内胆11中的热量从内胆11前表面泄入间隙10的内部,影响内胆11内部对圆晶片的保温效果;密封垫二19的设置可便于对内胆11内部的前表面进行密封,避免内胆11中的热量从内胆11前表面泄入间隙10的内部,影响内胆11内部对圆晶片的保温效果;密封垫一18和密封垫二19的配
合使用,可阻隔内胆11中的热量与外界的空气相接处,从而阻止热传导,提高内胆11对圆晶片进行保温的效果;扶手23的设置可使操作人员将部分外胆9拉出壳体2的内部,便于操作人员向内胆11的内部放置圆晶片或操作人员从内胆11的内部取出圆晶片;四个移动轮20的设置一是可便于对外胆9进行支撑,二是可便于配合两个第一滑套5和两个第二滑套8,使外胆9在壳体2的内部进行移动,增强外胆9在壳体2内部进行移动时的稳定性;四个第一安装座3的设置可分别对两个第一光杆4进行支撑和固定;四个第二安装座6的设置可分别对两个第二光杆7进行支撑和固定;两个第一滑套5和两个第一光杆4与两个第二滑套8和两个第二光杆7的配合使用,一是可起到对外胆9进行支撑的效果,二是可便于外胆9在壳体2的内部进行移动,起到了导向的效果;四个制动万向轮22的设置可便于装置进行移动或安置,提高装置使用时的便利性;本实用新型结构简单,操作方便,实用性强,可推广使用。
24.在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段,机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。
26.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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