硅片移载机构的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，特别是涉及一种硅片移载机构。


背景技术：

2.在生产制造太阳能电池时，通常需要将硅片(太阳能电池的基础元件)从一个位置移动到另一个位置。其中，硅片通常放置在花篮中进行制绒工序，制绒完成后硅片需要转移到载板中进行镀膜工序，因此，硅片需要从花篮转移到载板中。通常，硅片从花篮中取出后放置到皮带上，通过皮带进行输送，之后再通过其他移载机构将多个硅片移载到载板上。然而，通过皮带输送的方式移载硅片时，由于硅片直接放置在皮带上，因此硅片的下表面容易粘上皮带印痕或者皮带上的污渍，从而影响硅片的质量。


技术实现要素：

3.有鉴于此，有必要提供一种硅片移载机构，通过气浮的方式移载硅片，避免硅片表面被污染。
4.本实用新型提供一种硅片移载机构，包括：第一载台、第二载台以及第一驱动机构，所述第一载台的上表面设有多个第一出气孔，以通过所述第一出气孔吹出气体，从而能够将硅片悬浮在所述第一载台上方，所述第一载台设有贯穿上下表面的第一通孔槽；所述第二载台可活动地设置于所述第一载台下方，所述第二载台能够伸入所述第一通孔槽，所述第二载台的上表面设有多个第二出气孔，以通过所述第二出气孔吹出气体，从而能够将硅片悬浮在所述第二载台上方，所述第二载台还设有第二挡边部，所述第二挡边部用于挡住硅片的边缘部分，以在所述第二载台移动时带着硅片移动；所述第一驱动机构连接所述第二载台，所述第一驱动机构能够控制所述第二载台移动，以将所述第一载台上的硅片移走或将硅片转移到第一载台上。
5.在其中一个实施例中，所述第一载台的数量为多个，多个所述第一载台排列成一排，所述第二载台的数量为多个，多个所述第二载台排列成一排，多个所述第二载台的排列方向与多个所述第一载台的排列方向相同，相邻的所述第二载台之间通过连接板连接，所述第一驱动机构能够控制所述第二载台沿所述第一载台的排列方向移动。
6.在其中一个实施例中，所述第一驱动机构包括第一驱动电机、第一滑轨以及第一滑块，所述第一滑轨沿多个所述第一载台的排列方向设置，且所述第一滑轨位于所述第一载台下方，所述第一滑块可滑动地设置于所述第一滑轨上，所述第二载台设置于所述第一滑块上，所述第一驱动电机设置于所述第一滑轨一端，所述第一驱动电机连接所述第一滑块且能够控制所述第一滑块沿所述第一滑轨移动。
7.在其中一个实施例中，还包括第一升降机构，所述第一升降机构设置于所述第一滑块与所述第二载台之间，所述第一升降机构用于控制所述第二载台升降。
8.在其中一个实施例中，所述第一升降机构为升降气缸。
9.在其中一个实施例中，还包括第三载台以及第二驱动机构，所述第二载台设有贯
穿上下表面的第二通孔槽，所述第三载台能够伸入所述第二通孔槽或所述第一通孔槽，所述第三载台的上表面设有多个第三出气孔，以通过所述第三出气孔吹出气体，从而能够将硅片悬浮在所述第三载台上方，所述第三载台设有第三挡边部，所述第三挡边部用于挡住硅片的边缘部分，以在所述第三载台移动时带着硅片移动；所述第二驱动机构连接所述第三载台，所述第二驱动机构能够控制所述第三载台移动，以将硅片转移到第一载台或第二载台上。
10.在其中一个实施例中，所述第二驱动机构包括第二驱动电机、第二滑轨以及第二滑块，所述第二滑轨的一端位于一个所述第一载台下方，所述第二滑块可滑动地设置于所述第二滑轨上，所述第三载台设置于所述第二滑块上，所述第二驱动电机设置于所述第二滑轨一端，所述第二驱动电机连接所述第二滑块且能够控制所述第二滑块沿所述第二滑轨移动。
11.在其中一个实施例中，还包括第二升降机构，所述第二升降机构设置于所述第二滑块与所述第三载台之间，所述第二升降机构用于控制所述第三载台升降。
12.在其中一个实施例中，所述第二升降机构为升降气缸。
13.在其中一个实施例中，所述第三载台的上表面还设有第三进气孔，以通过所述第三进气孔将外界的气体抽吸进所述第三载台内。
14.在其中一个实施例中，所述第一载台设有多个第一挡边部，多个所述第一挡边部围成第一容置槽，所述第一容置槽用于容置硅片，所述第一挡边部朝向第一容置槽的一侧设有倒角。
15.在其中一个实施例中，所述第一载台的上表面还设有多个第一进气孔，以通过所述第一进气孔将外界的气体抽吸进所述第一载台内。
16.在其中一个实施例中，所述第二载台的上表面还设有第二进气孔，以通过所述第二进气孔将外界的气体抽吸进所述第二载台内。
17.在其中一个实施例中，所述第二载台上设有限位机构，所述限位机构具有可活动的止挡件，所述止挡件能够活动至从所述硅片远离所述第二载台的一侧挡住所述硅片的边缘部分。
18.本实用新型提供的硅片移载机构，由于第二载台设有第二出气孔，硅片可以悬浮在第二载台上方，并且，由于第二载台设有第二挡边部，从而第二载台移动可以带着其上悬浮的硅片一起移动，从而实现对硅片的悬浮移载。由于第一载台设有第一出气孔，硅片可以悬浮在第一载台上方，因此，第二载台可将别处的硅片移载到第一载台上，还可以将任一第一载台上的硅片移载到其他第一载台上，如此，移载过程中，硅片保持悬浮状态，可避免被硅片移载机构污染，保持了硅片的洁净。并且，第二载台由第一驱动机构驱动，移动控制方便，移载效率高。
附图说明
19.图1为本实用新型一实施例的硅片移载机构的应用示意图；
20.图2为本实用新型一实施例的硅片移载机构的结构示意图；
21.图3为图2所示硅片移载机构的部分结构示意图；
22.图4为本实用新型一实施例的第一载台的结构示意图；
23.图5为图4所示第一载台沿a-a方向的剖视图；
24.图6为本实用新型一实施例的第二载台的结构示意图；
25.图7为图6所示第二载台的剖视图；
26.图8为本实用新型一实施例的挡边部和限位机构的结构示意图；
27.图9为图8所示结构的分解图；
28.图10为本实用新型一实施例的第二载台的局部结构剖视图，止挡件处于限位状态；
29.图11为本实用新型一实施例的第二载台的局部结构剖视图，止挡件处于开放状态；
30.图12为本实用新型另一实施例的第二载台的局部结构剖视图，止挡件处于限位状态；
31.图13为本实用新型另一实施例的第二载台的局部结构剖视图，止挡件处于开放状态；
32.图14为本实用新型另一实施例的第二载台的结构示意图；
33.图15为本实用新型一实施例的第三载台及第二升降机构、第二移动机构的结构示意图；
34.图16为本实用新型一实施例的第三载台的剖视图；
35.图17为本实用新型硅片移载机构用于移载硅片的示意图。
36.附图标记：100、第一载台；110、第一出气孔；120、第一进气孔；130、第一通孔槽；131、第一槽部；132、第二槽部；140、第一挡边部；150、第一容置槽；160、第一出气腔；170、第一抽气腔；180、第一吹气孔；190、第一抽气孔；200、第二载台；201、第一部分；202、第二部分；203、连接板；210、第二出气孔；220、第二进气孔；230、第二通孔槽；240、第二挡边部；241、置物槽；2411、台阶；250、第二容置槽；260、第二出气腔；270、第二抽气腔；280、第二吹气孔；290、第二抽气孔；300、第三载台；310、第三出气孔；320、第三进气孔；340、第三挡边部；360、第三出气腔；370、第三抽气腔；380、第三吹气孔；390、第三抽气孔；400、第一驱动机构；410、第一驱动电机；420、第一滑轨；430、第一滑块；450、第一升降机构；600、第二驱动机构；610、第二驱动电机；620、第二滑轨；630、第二滑块；650、第二升降机构；700、限位机构；710、止挡件；711、偏心轮部；7111、轴孔；712、挡板部；713、转轴；720、顶杆；721、凸环；730、第一弹性件；740、牵引件；750、第一磁铁；760、第二磁铁；770、限位板；780、第二弹性件；800、花篮；900、硅片。
具体实施方式
37.下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
38.需要说明的是，当元件被称为“设于”另一个元件，它可以直接设在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“设置于”另一个元件，它可以是直接设置在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“固定于”另一个元
件，它可以是直接固定在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。
39.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
40.请参阅图1和图2，本实用新型提供一种硅片移载机构，包括第一载台100、第二载台200以及第一驱动机构400。第一载台100的上表面设有多个第一出气孔110，以通过第一出气孔110吹出气体，从而能够将硅片900悬浮在第一载台100上方。第一载台100设有贯穿上下表面的第一通孔槽130。第二载台200可活动地设置于第一载台100下方，第二载台200能够伸入第一通孔槽130。第二载台200上表面设有多个第二出气孔210，以通过第二出气孔210吹出气体，从而能够将硅片900悬浮在第二载台200上方。第二载台200还设有第二挡边部240，第二挡边部240用于挡住硅片900的边缘部分，以在第二载台200移动时带着硅片900移动。如此，第二载台200移动时能够带着悬浮在第二载台200上方的硅片900一起移动，从而实现对硅片900的悬浮移载。由于第二载台200能够伸入第一通孔槽130内，因此，第二载台200可以将第一载台100上的硅片900移走，或者将别处的硅片900转移到第一载台100上。
41.第一驱动机构400连接第二载台200，第一驱动机构400能够控制第二载台200移动，以将第一载台100上的硅片900移走或将硅片900转移到第一载台100上。设置第一驱动机构400实现了第二载台200的移动控制，使用方便。
42.进一步地，第一载台100的数量为多个，多个第一载台100排列成一排。第二载台200的数量也为多个，多个第二载台200排列成一排，多个第二载台200的排列方向与多个第一载台100的排列方向相同。如此，可以同时转移多个第一载台100上的硅片900，大大提高了硅片900的移载效率。
43.相邻的第二载台200之间通过连接板203连接，第一驱动机构400能够控制第二载台200沿第一载台100的排列方向移动。如此，多个第二载台200可以连接同一个第一驱动机构400，并由该第一驱动机构400控制多个第二载台200同步移动，如此，结构更加简单，控制方式也更加简单，有利于提高硅片900的移载效率。
44.请参阅图3，一实施例中，第一驱动机构400包括第一驱动电机410、第一滑轨420以及第一滑块430。第一滑块430可滑动地设置于第一滑轨420上，第二载台200设置于第一滑块430上，第一驱动电机410设置于第一滑轨420一端，第一驱动电机410连接第一滑块430且能够控制第一滑块430沿第一滑轨420移动。本实施例通过第一驱动电机410实现第一滑块430的移动，从而控制第二载台200移动，移动的位置可以精确控制，且移动效率高。可以理解的是，第一滑轨420沿多个第一载台100的排列方向布置，且第一滑轨420位于第一载台100的下方，如此，第二载台200能够沿第一载台100的排列方向移动，从而第二载台200能够从一个第一载台100移动到另一个第一载台100。
45.进一步地，该硅片移载机构还包括第一升降机构450，第一升降机构450设置于第一滑块430与第二载台200之间，第一升降机构450用于控制第二载台200升降。本实施例通过设置第一升降机构450能够实现第二载台200的升降，从而第一载台100可以固定不动，通过控制第二载台200的升降即可将第二载台200移入第一通孔槽130内或移出第一通孔槽130，从而第二载台200可将硅片900转移到第一载台100上或将第一载台100上的硅片900移
走。
46.一实施例中，第一升降机构450为升降气缸，结构非常简单，且容易控制。具体地，第二载台200连接于升降气缸的活塞杆。由于相邻的第二载台200之间有连接板203，因此，也可以是连接板203连接于升降气缸的活塞杆，如此，升降气缸同样能够控制第二载台200升降。
47.请参阅图4，一实施例中，第一通孔槽130包括相连通的第一槽部131和第二槽部132，第一槽部131沿第一载台100的长度方向(即图4中的a-a方向)贯穿第一载台100的两个相对的侧面以将第一载台100分成两个间隔设置的部分，第二槽部132设置于第一槽部131两侧且沿第一载台100的宽度方向(即图4中的b-b方向)延伸。请参阅图6，第二载台200的形状与第一通孔槽130的形状相适应，具体地，第二载台200包括相连的第一部分201和第二部分202，第一部分201呈长方形，第二部分202设于第一部分201的长度方向的两侧，且第二部分202沿第一部分201的宽度方向远离第一部分201延伸，如此，第二载台200形状规则，有利于承载硅片900。第二载台200容纳于第一通孔槽130时，第一部分201位于第一槽部131，第二部分202位于第二槽部132，如此，第二载台200可以和第一载台100组合在一起使用，同时也方便了第二载台200将硅片900转移到第一载台100上或将第一载台100上的硅片900移走。
48.请结合图1和图2所示，下面对第二载台200将硅片900从一个第一载台100移载到另一个第一载台100的过程进行详细说明：硅片900悬浮在第一载台100上方，第一驱动机构400控制第二载台200移动至第一载台100下方(可将此时第二载台200的位置作为原位)，第一升降机构450控制第一载台100上升并移入第一通孔槽130内，第二出气孔210吹出气体，使得硅片900能够悬浮在第二载台200上方。第二载台200继续上升并移出第一通孔槽130，此时，硅片900被第二载台200上吹出的气体控制而随着第二载台200上升一段高度。然后第一驱动机构400控制第二载台200移动，则第二载台200带着其上悬浮的硅片900移动，移动至另一个第一载台100上方时，第一升降机构450控制第二载台200下降并移入另一个第一载台100的第一通孔槽130内，第一升降机构450控制第二载台200继续往下移动并移出第一通孔槽130，则硅片900悬浮在另一个第一载台100上方，如此，即完成了第二载台200将硅片900从一个第一载台100移载到另一个第一载台100的过程。之后，通过第一驱动机构400可以控制第二载台200移动回到原位，从而第二载台200可重复进行上述操作，不停地将一个第一载台100上的硅片900转移到另一个第一载台100上。同理，多个第二载台200能够将多个第一载台100上的多个硅片900转移到多个其他的第一载台100上。具体请结合图1，多个第一载台100从左至右依次定义为第一个第一载台100，第二个第一载台100，第三个第一载台100，......，第n个第一载台100。当第一个第一载台100上悬浮有硅片900时，第二载台200能够将第一个第一载台100上的硅片900转移到第二个第一载台100上；当第一个和第二个第一载台100上悬浮有硅片900时，第二载台200能够将第一个和第二个第一载台100上的硅片900转移到第二个和第三个第一载台100上；当第一个、第二个和第三个第一载台100上悬浮有硅片900时，第二载台200能够将第一个、第二个和第三个第一载台100上的硅片900转移到第二个、第三个和第四个第一载台100上，以此类推，第二载台200能够将硅片900不断往右传输，直到所有第一载台100上都悬浮有硅片900。
49.请参阅图4，第一载台100设有多个第一挡边部140，多个第一挡边部140围成矩形
的第一容置槽150，第一容置槽150用于容置硅片900。如此，第一挡边部140可以起到防止硅片900移位或偏位的作用，使得硅片900能够悬浮在设定的区域内，从而有利于后续步骤将硅片900精确移载到载板上。进一步地，第一挡边部140朝向第一容置槽150的一侧设有倒角，如此，有利于硅片900放入第一容置槽150内。
50.进一步地，第一载台100的上表面还设有第一进气孔120，以通过第一进气孔120将外界的气体抽吸进第一载台100内。换言之，第一载台100的上表面既能够吹出气体，又能够抽吸气体，如此，通过控制吹气和吸气的量可以使硅片900保持平衡，从而悬浮在第一载台100上方。吹气和吸气相配合的方式，可以更容易保持硅片900的平衡，从而有利于硅片900悬浮在第一载台100上方。
51.请结合图5，可以理解的是，第一载台100内设有相互独立的第一出气腔160和第一抽气腔170，第一出气孔110连通第一出气腔160，第一进气孔120连通第一抽气腔170。第一出气腔160连通有第一吹气孔180，从而通过第一吹气孔180往第一出气腔160吹气。由于第一出气孔110连通第一出气腔160，因此，通过第一吹气孔向第一出气腔160吹入气体时，气体会从第一出气孔110吹出。第一抽气腔170连通有第一抽气孔190，从而通过第一抽气孔将第一抽气腔170内的气体抽走。由于第一进气孔120连通第一抽气腔170，因此，通过第一抽气孔190抽气时，第一抽气腔170内的气体被抽走，外界气体会从第一进气孔120进入第一抽气腔170内。
52.请参图6和图7，第二载台200的上表面还设有第二进气孔220，以通过第二进气孔220将外界的气体抽吸进第二载台200内。换言之，第二载台200的上表面既能够吹出气体，又能够抽吸气体，如此，通过控制吹气和吸气的量可以使硅片900保持平衡，从而悬浮在第二载台200上方。吹气和吸气相配合的方式，可以更容易保持硅片900的平衡，从而有利于硅片900悬浮在第二载台200上方。本实施例中，第二出气孔210设于第一部分201，第二进气孔220设于第二部分202，结构非常简单，容易加工。但不限于此，第二出气孔210和第二进气孔220还可以有其他布置方式。
53.请参阅图7，可以理解的是，第二载台200内设有相互独立的第二出气腔260和第二抽气腔270，第二出气孔210连通第二出气腔260，第二进气孔220连通第二抽气腔270。第二出气腔260连通有第二吹气孔280，从而通过第二吹气孔280往第二出气腔260吹气。由于第二出气孔210连通第二出气腔260，因此，通过第二吹气孔280向第二出气腔260吹入气体时，气体会从第二出气孔210吹出。第二抽气腔270连通有第二抽气孔290，从而通过第二抽气孔290将第二抽气腔270内的气体抽走。由于第二进气孔220连通第二抽气腔270，因此，通过第二抽气孔290抽气时，第二抽气腔270内的气体被抽走，外界气体会从第二进气孔220进入第二抽气腔270内。
54.请参阅图6和图8，进一步地，第二载台200上设有限位机构700，限位机构700具有可活动的止挡件710，止挡件710能够活动至从硅片900远离第二载台200的一侧挡住硅片900边缘部分。如此，可避免硅片900被吹跑。也就是说，通过设置限位机构700能够挡住硅片900，使得硅片900能够始终悬浮在第二载台200上方。
55.进一步地，如图6所示，第二载台200上设有多个第二挡边部240，多个第二挡边部240围成用于容置硅片900的第二容置槽250，如此，当第二载台200移动时，能够带着硅片900一起移动，从而可实现硅片900的悬浮移载。限位机构700设于第二挡边部240上，且止挡
件710能够转动至挡住硅片900的边缘部分。
56.请参阅图9和图10，止挡件710包括偏心轮部711以及挡板部712，偏心轮部711连接有转轴713，止挡件710通过转轴713可转动地安装于第二挡边部240。挡板部712连接于偏心轮部711一侧且朝向第二容置槽250设置，挡板部712用于挡住硅片900的边缘部分。
57.一实施例中，偏心轮部711设有轴孔7111，转轴713穿设于轴孔7111中。当然，在其他实施例中，也可以是偏心轮部711的两侧凸设有转轴。本实用新型对此不作限制。
58.请参阅图10和图11，止挡件710具有将硅片900限制在第二容置槽250内的限位状态和允许硅片900移入或移出第二容置槽250的开放状态。如图10所示，当止挡件710处于限位状态时，挡板部712远离偏心轮部711的一端在第二载台200上的投影位于第二容置槽250内，从而通过挡板部712可以拦住硅片900的边缘部分，防止硅片900移出第二容置槽250。如图11所示，当止挡件710处于开放状态时，第二挡边部240远离偏心轮部711的一端在第二载台200上的投影位于第二容置槽250外，从而第二挡边部240对硅片900不具有阻挡作用，硅片900能够移入第二容置槽250或移出第二容置槽250。
59.请参阅图9至图11，第二挡边部240上对应偏心轮部711开设有置物槽241，限位机构700还包括顶杆720、第一磁铁750以及第二磁铁760。顶杆720可活动地设于置物槽241内，顶杆720能够朝靠近或远离偏心轮部711的方向移动。第一磁铁750设于顶杆720朝向偏心轮部711的一端，第二磁铁760设于偏心轮部711远离挡板部712的一侧，第一磁铁750与第二磁铁760之间相互吸引。当第一磁铁750朝靠近顶杆720的方向移动时，顶杆720抵推偏心轮部711以使止挡件710沿第一方向转动；当顶杆720朝远离偏心轮部711的方向移动时，第一磁铁750与第二磁铁760之间的引力作用使得止挡件710沿第二方向转动。当止挡件710沿第一方向转动时，止挡件710能够由开放状态转动至限位状态；当止挡件710沿第二方向转动时，止挡件710能够由限位状态转动至开放状态。如图10和图11所示实施例中，第一方向为逆时针方向，第二方向为顺时针方向。
60.限位机构700还包括第一弹性件730，第一弹性件730连接顶杆720和第二挡边部240，以使顶杆720具有朝向偏心轮部711移动的趋势。
61.限位机构700还包括牵引件740，牵引件740连接于顶杆720，以通过牵引件740带动顶杆720朝远离偏心轮部711的方向移动。
62.可以理解的是，由于第一磁铁750与第二磁铁760之间的引力作用能够使得止挡件710沿第二方向转动，因此，止挡件710处于限位状态时，第一磁铁750和第二磁铁760之间具有一定距离，且随着止挡件710沿第二方向转动，第一磁铁750和第二磁铁760之间的距离逐渐减小。如此，通过牵引件740拉动顶杆720并使得顶杆720沿远离偏心轮部711的方向移动时，在第一磁铁750和第二磁铁760的吸引力作用下，止挡件710沿第二方向转动，从而止挡件710可由限位状态转动至开放状态。此时，可将硅片900放入第一容置槽150内，或者将硅片900从第一容置槽150取出。之后，松开牵引件740，在第一弹性件730的弹力作用下，顶杆720朝向偏心轮部711移动从而抵推偏心轮部711并使得止挡件710沿第一方向转动，从而止挡件710转动至限位状态。由于止挡件710受到重力作用、顶杆720的推力作用，以及第一磁铁750和第二磁铁760之间的磁力作用，因此，通过设置合适的重力、推力以及磁力，可使止挡件710保持在限位状态，从而该限位机构700能够拦截硅片900，以使硅片900悬浮在第二载台200上方。
63.一实施例中，请参阅图10，置物槽241内设有台阶2411，第一弹性件730为压缩弹簧，顶杆720靠近偏心轮部711的一端设有凸环721，第一弹性件730套设于顶杆720外侧，且第一弹性件730的两端分别抵接于台阶2411和凸环721。如此，结构非常简单，容易加工，且易于装配，第一弹性件730能够给顶杆720提供朝向偏心轮部711移动的力。
64.一实施例中，牵引件740为拉绳，结构简单，容易连接顶杆720，且易于操作。
65.请参阅图8至图11，一实施例中，限位机构700还包括设于第二挡边部240上的限位板770，该限位板770位于偏心轮部711远离第二容置槽250且远离置物槽241的一侧。当止挡件710处于限位状态时，偏心轮部711抵靠于限位板770以限制止挡件710沿第一方向转动，如此，通过设置限位板770可限制止挡件710继续沿第一方向转动，从而使得止挡件710保持在限位状态。第一弹性件730的弹力如果过大，容易使止挡件710沿第一方向转动时转动超过限位状态，从而压迫硅片900，使得硅片900朝第二容置槽250底部移动，如此，存在硅片900接触第二容置槽250底壁的可能。为了避免这一情况，本实施例设置有限位板770，如此，可以限制止挡件710的转动范围，使得止挡件710转动至限位状态时不再继续沿第一方向转动，从而可避免止挡件710压迫硅片900而使硅片900接触第二容置槽250底壁的情况。
66.请参阅图12和图13，一实施例中，限位机构700还包括第二弹性件780，该第二弹性件780连接挡板部712和第二挡边部240，以使止挡件710具有沿第一方向转动的趋势。设置第二弹性件780给止挡件710提供了由开放状态转动至限位状态的力。如此，即使第一弹性件730提供的弹性力稍有不足，第二弹性件780仍可以提供足够的弹性力，从而使得止挡件710由开放状态转动至限位状态。而由于限位板770的设置，止挡件710不会转动过位，从而，止挡件710能够很好地保持在限位状态，从而有利于对硅片900限位。本实施例中，第二弹性件780为拉伸弹簧，结构简单，易于安装。
67.请参阅图1、图2、图14和图15，进一步地，该硅片移载机构还包括第三载台300以及第二驱动机构600。第二载台200设有贯穿上下表面的第二通孔槽230，第三载台300能够伸入第二通孔槽230。第三载台300的上表面设有多个第三出气孔310，以通过第三出气孔310吹出气体，从而能够将硅片900悬浮在第三载台300上方。第三载台300设有第三挡边部340，第三挡边部340用于挡住硅片900的边缘部分，如此，第三载台300移动时能够带着悬浮在第三载台300上方的硅片900一起移动，因此，第三载台300可以将硅片900转移到第二载台200上，或将第二载台200上的硅片900移走。由于第三载台300能够伸入第二通孔槽230，而第二载台200能够伸入第一通孔槽130，因此，第三载台300也能够伸入第一通孔槽130，从而，第三载台300也可以将硅片900转移到第一载台100上，或将第一载台100上的硅片900移走。
68.一实施例中，第二通孔槽230呈长方形，第三载台300呈长方形，结构非常简单，容易加工。
69.第三挡边部340设于第三载台300的两端，从而第三挡边部340能够拦住硅片900的两相对的边缘，从而第三载台300移动时能够带着硅片900一起移动。
70.第二驱动机构600连接第三载台300，第二驱动机构600能够控制第三载台300移动，以将硅片900转移到第一载台100或第二载台200上。设置第二驱动机构600实现了第三载台300的移动控制，使用方便。
71.请参阅图15，一实施例中，第二驱动机构600包括第二驱动电机610、第二滑轨620以及第二滑块630。第二滑轨620一端至少位于一个第一载台100下方，第二滑块630可滑动
地设置于第二滑轨620上，第三载台300设置于第二滑块630上，第二驱动电机610设置于第二滑轨620一端，第二驱动电机610连接第二滑块630且能够控制第二滑块630沿第二滑轨620移动。本实施例通过第二驱动电机610实现第二滑块630的移动，从而控制第三载台300移动，移动的位置可以精确控制，且移动效率高。本实施例中，第二滑轨620同样沿多个第一载台100的排列方向设置，且第二滑轨620的一端位于其中一个第一载台100下方，另一端远离第一载台100。如此，第三载台300能够将别处的硅片转移到第一载台100上。
72.进一步地，该硅片移载机构还包括第二升降机构650，第二升降机构650设置于第二滑块630与第三载台300之间，第二升降机构650用于控制第三载台300升降。本实施例通过设置第二升降机构650能够实现第三载台300的升降，从而第二载台200可以固定不动，通过控制第三载台300的升降即可将第三载台300移入第二通孔槽230内或移出第二通孔槽230，从而第三载台300可将硅片900转移到第二载台200上或将第二载台200上的硅片900移走。或者，第一载台100可以固定不动，通过控制第三载台300的升降即可将第三载台300移入第一通孔槽130内或移出第一通孔槽130，从而第三载台300可将硅片900转移到第一载台100上或将第一载台100上的硅片900移走。
73.一实施例中，第二升降机构650为升降气缸，结构非常简单，且容易控制。具体地，第三载台300连接于升降气缸的活塞杆。如此，升降气缸能够控制第三载台300升降。
74.进一步地，第三载台300的上表面还设有第三进气孔320，以通过第三进气孔320将外界的气体抽吸进第三载台300内。换言之，第三载台300的上表面既能够吹出气体，又能够抽吸气体，如此，通过控制吹气和吸气的量可以使硅片900保持平衡，从而悬浮在第三载台300上方。吹气和吸气相配合的方式，可以更容易保持硅片900的平衡，从而有利于硅片900悬浮在第三载台300上方。
75.请结合图16，可以理解的是，第三载台300内设有相互独立的第三出气腔360和第三抽气腔370，第三出气孔310连通第三出气腔360，第三进气孔320连通第三抽气腔370。第三出气腔360连通有第三吹气孔380，从而通过第三吹气孔380往第三出气腔360吹气。由于第三出气孔310连通第三出气腔360，因此，通过第三吹气孔380向第三出气腔360吹入气体时，气体会从第三出气孔310吹出。第三抽气腔370连通有第三抽气孔390，从而通过第三抽气孔390将第三抽气腔370内的气体抽走。由于第三进气孔320连通第三抽气腔370，因此，通过第三抽气孔390抽气时，第三抽气腔370内的气体被抽走，外界气体会从第三进气孔320进入第三抽气腔370内。
76.请结合图1和图2，该第三载台300适用于将硅片900从花篮800中移载到第一载台100上，第二滑轨620的一端位于一个第一载台100下方，另一端位于花篮800下方。下面对硅片900从花篮800转移到第一载台100的过程进行详细说明：花篮800中放置有硅片900，第二驱动机构600控制第三载台300移动至花篮800下方(可将此时第三载台300的位置作为原位)，第二升降机构650控制第三载台300上升使得花篮800底部的硅片900被卡在第三挡边部340之间，此时第三载台300上表面控制吹气和吸气的量，使得硅片900脱离花篮800后能够悬浮在第三载台300上方。之后，第二驱动机构600控制第三载台300移动从而将硅片900移出花篮800。然后第三载台300移动至第一载台100上方，第二升降机构650控制第三载台300下降并移入第一载台100的第一通孔槽130内，第二升降机构650控制第三载台300继续往下移动并移出第一通孔槽130，则硅片900悬浮在第一载台100上方，如此，即完成了第三
载台300将硅片900从花篮800移载到第一载台100的过程。之后，通过第二驱动机构600可以控制第三载台300移动回到原位，从而第三载台300可重复进行上述操作，不停地将花篮800中的硅片移载到第一载台100上。
77.本实用新型提供的硅片移载机构适用于将硅片900从花篮800中移出，并移送到不同的第一载台100上。具体地，请参阅图1和图17，如前所述，第三载台300能够将硅片900从花篮800移载到最左侧的第一载台100上，然后，第二载台200可以将左侧第一载台100上的硅片900不断地移载到右侧的第一载台100上，直到所有第一载台100上都悬浮有硅片900。之后，可以通过其他机构将多个硅片900一起移载到载板上，或者，也可以将靠右侧的硅片900单个移载到载板上。该硅片移载机构能够将硅片900从花篮800中移出并移送一段距离，实现了硅片900的流水线输送，有利于提高硅片900的移载效率。并且，在移载硅片900的过程中，硅片移载机构并不接触硅片900的上下端面，避免了对硅片900造成污染的情况，保证了硅片900在移载过程中的清洁。
78.以上所述实施方式的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
79.本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本实用新型要求保护的范围内。