运料装置和清洗系统的制作方法

1.本实用新型属于光伏清洗设备技术领域，具体而言，涉及一种运料装置和一种清洗系统。


背景技术：

2.在以晶体硅作为太阳能电池片的生产材料时，需要对晶体硅制成的硅片进行化学处理，为了防止硅片在硅片处理设备中漂浮，需要使用压杆将硅片固定在花篮中，通过人工或机械的方式在花篮上安装或卸载压杆，不仅难度大，效率低，而且，压杆表面可能残留化学制品，容易对工作人员造成伤害；当需要批量处理硅片时，为提高设备生产效率，压杆也需要配合硅片处理设备，为其提供需求的使用量，因此，急需一种自动化设备满足对接的便利性。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
4.第一方面，本实用新型提出了一种运料装置。
5.第二方面，本实用新型提出了一种清洗系统。
6.有鉴于此，本实用新型提出了一种运料装置，包括：
7.机架；
8.料架，用于装载压杆；
9.水平传送组件，设于机架，水平传送组件用于带动料架往复移动；
10.定位顶升组件，设于机架，料架移动至水平传送组件上的设定位置时，定位顶升组件与料架相配合，定位顶升组件能够带动料架与水平传送组件分离；
11.驱动组件，设于机架，在料架与水平传送组件分离时，驱动组件与压杆相配合，以使驱动组件能够带动压杆相对料架移动。
12.本实用新型提供的运料装置通过料架装载压杆，多个压杆可以一同放置于料架内，料架带动多个压杆统一移动，节省了多次搬运压杆的工作量。水平传送组件能够带动料架平移，水平传送组件带动料架往复移动，不需要工作人员对料架往复搬动，降低工作人员的工作量。
13.装载有压杆的料架移动至水平传送组件上的设定位置时，具体为第一设定位置，设定位置指的是位于定位顶升组件上方的位置，定位顶升组件与料架相配合，此时料架不能继续在水平传送组件上移动，定位顶升组件驱动料架移动，使得料架上升，此时料架与水平传送组件分离，料架上的压杆能够被取走或被放置于料架内。具体地，料架位于上料位时，料架内的压杆能够被取走，料架位于取料位时，压杆能够被放置于空载的料架内，上料位指的是料架当前处于能够被机械手组件取走内部压杆的位置，取料位指的是料架当前处于能够被机械手组件放置压杆的位置，所以定位顶升组件应该为两组，一组定位顶升组件能够带动料架上升至上料位，另一组定位顶升组件能够带动料架上升至取料位。料架位于
上料位时，为了确保上料稳定性，需要保证料架和机架的相对位置不易发生变化，即料架能够稳定地位于上料位，通过定位顶升组件使得料架与水平传送组件分离，所以处于上料位的料架不易与水平传送组件接触，水平传送组件不易带动料架移动，从而确保料架上料时的稳定性，而且，固定不动的料架不易与水平传送组件长时间摩擦，降低料架和水平传送组件的损坏率。当料架内的压杆都被取走后，需要重新在料架内装载压杆，定位顶升组件带动料架下降，将料架放置于水平传送组件上之后，定位顶升组件与料架分离，水平传送组件能够带动空载的料架移动，水平传送组件可以为两组，中间通过agv小车作为送料组件进行传送，使得agv小车能够将料架运送至另一个水平传送组件上，当料架在另一个传送组件上移动至第二设定位置时，另一个定位顶升组件与料架相配合，此时料架不能继续在水平传送组件上移动，另一个定位顶升组件驱动料架移动，使得料架移动至取料位，以及料架与水平传送组件分离，压杆能够再次被装配至料架内，装载有压杆的料架能够再次移动至第一设定位置并进行上料。工作人员对压杆进行搬运的方式，不仅搬运难度大，搬运效率低，而且，压杆表面可能残留化学制品，容易对工作人员造成伤害，通过定位顶升组件、水平传送组件相配合，使得压杆在上料位和取料位之间的移动不需要工作人员参与，实现自动上料、下料的功能，提高了对压杆的搬运效率，而且，即使压杆表面残留化学制品，也不易对工作人员造成伤害，提高生产过程中的安全性。
14.料架上设置有滑动槽，压杆位于滑动槽内，为了能够整齐且尽量放置较多数量的压杆，位于滑动槽内的压杆叠层设置，料架位于上料位时，机械手等机械部件取走滑动槽内第一层的压杆之后，驱动组件能够对滑动槽内的压杆进行推动，使得压杆移动至能够再次被机械手等机械部件取走的位置，示例性地，第一层压杆被取走之后，下一层压杆移动至之前第一层压杆所在的位置，机械手等机械部件可以在固定的上料点对压杆进行拾取，提高上料过程的稳定性，确保料架内的压杆能够被机械手等机械部件稳定地获取。
15.同样地，驱动组件为两组，分别位于上料位和取料位的一侧，在取料过程中，驱动组件位于接料的位置，机械手等机械部件将压杆放置于滑动槽内时，驱动组件对压杆进行承托，然后驱动组件带动压杆在滑动槽内滑动，为下一层压杆的放入提供空间，通过驱动组件带动压杆移动，避免压杆被放入滑动槽内时快速下落，保证压杆能够在滑动槽内整齐分布，以便于后续滑动槽内的压杆能够被稳定地拾取。通过水平传送组件、定位顶升组件和驱动组件的配合，使得运料装置能够自动实现与硅片处理设备的对接功能，满足使用需求。
16.另外，根据本实用新型提供的上述技术方案中的运料装置，还可以具有如下附加技术特征：
17.在一种可能的设计中，运料装置还包括：定位销，设于定位顶升组件；定位孔，设于料架，定位顶升组件与料架相配合时，定位销插接于定位孔。
18.在该设计中，当料架移动至第一设定位置或第二设定位置时，定位顶升组件上的定位销能够插接至料架上的定位孔内，定位销对料架进行限位，水平传送组件不能再带动料架移动，使得定位顶升组件能够稳定地带动料架上升。而且，定位销还能够对料架起到定位作用，料架能够被稳定地固定于上料位，通常由机械手等机械部件将料架上的压杆取走，定位销对料架进行定位，使得机械手能够准确地取走料架上的压杆，提高上料稳定性。
19.在一种可能的设计中，运料装置还包括：缓冲件，设于机架，料架运动至设定位置时，料架与缓冲件相接触。
20.在该设计中，机架上设置有缓冲件，水平传送组件带动料架移动时，即使水平传送组件在料架移动至设定位置时停止运转，料架也会在惯性力的作用下继续移动一段距离。为了保证料架移动至设定位置时能够与定位顶升组件相配合，缓冲件对料架进行阻挡，使得料架难以继续在水平传送组件上移动，而且，缓冲件能够对料架起到缓冲作用，例如，缓冲件的质地较软或缓冲件具有弹性，当料架与缓冲件接触时，料架不易发生振动，从而避免压杆与料架分离或避免压杆在料架内杂乱分布，确保整齐分布在料架内的压杆能够被准确地取走。
21.在一种可能的设计中，运料装置还包括：挡料件，设于机架的侧部，挡料件位于水平传送组件上时，挡料件限制料架相对水平传送组件偏移。
22.在该设计中，当料架位于水平传送组件上时，挡料件位于料架的侧部，所以挡料件能够对水平传送组件上的料架进行限位，避免料架与水平传送组件分离，提高料架在水平传送组件上的移动稳定性。
23.在一种可能的设计中，水平传送组件包括：传动轮组件，设于机架；传送带，套设于传动轮组件，传动轮组件带动传送带运动；运料装置还包括：支撑件，设于机架，部分支撑件伸入传送带围设的环形区域内，支撑件用于支撑传送带。
24.在该设计中，传动轮组件能够带动传送带移动，使得传送带带动料架移动，带传动的方式使得料架移动时更加平稳，避免料架偏移或压杆在料架内晃动，支撑件能够对传送带进行支撑，使得传送带不易出现较大的凹陷，确保传送带运转时的稳定性，降低传送带的损坏率。
25.示例性地，本技术中的传动轮组件可以包括主动轮和从动轮，主动轮和从动轮均转动连接于机架，传送带套设于主动轮和从动轮，主动轮带动传送带转动，从动轮随传送带转动。
26.在一种可能的设计中，运料装置还包括：检测件，在料架与水平传送组件分离时，检测件获取压杆的位置信号，驱动组件根据位置信号调整压杆在料架内的位置。
27.在该设计中，料架能够运动至上料位和取料位，所以检测件应该为两组，以下分别进行说明，具体地，料架位于上料位时，一个检测件与滑动槽内装满压杆时的第一层压杆相对设置，当滑动槽内的第一层压杆被取走之后，检测件未检测到压杆的位置信号，此时驱动组件带动滑动槽内的压杆移动，使得下一层压杆移动至待上料位置，通过检测件对滑动槽内的压杆位置进行检测，能够使得驱动组件准确、准时地运动，确保机械手等机械部件和驱动组件能够有序的交替运行。
28.料架位于取料位时，另一个检测件用于获取压杆的位置信号，同样地，检测件需要与滑动槽内装满压杆时的第一层压杆相对设置，当滑动槽内被放入一层压杆之后，驱动组件带动滑动槽内的压杆移动，从而为下一层压杆的放入提供空间，通过检测件对滑动槽内的压杆位置进行检测。
29.值得注意的是，本设计中，当料架与水平传送组件分离之后，检测件分别对滑动槽内的压杆位置进行检测，能够有效避免料架未移动至上料位或取料位时，由于检测件的误检测造成驱动组件运动的情况发生，提高运料装置的运行稳定性。
30.当然，在其它设计中，也可以设置检测件不与驱动组件的运动进行关联。
31.在一种可能的设计中，滑动槽为至少两个，至少两个滑动槽间隔设置。
32.在该设计中，滑动槽的数量为至少两个，通过增加滑动槽的数量，提高料架能够装载压杆的数量，一次性可以对大量的压杆进行转移，避免多次转移的工作量，提高工作效率。驱动组件能够同时与至少两个滑动槽内的压杆相配合，即驱动组件运动一次，对至少两个滑槽内的一层压杆同时进行运动，不需要驱动组件依次对不同滑动槽内的压杆进行带动，能够有效降低对驱动组件的控制难度。
33.在一种可能的设计中，驱动组件包括：驱动件，设于机架；承载板，与驱动件相连，设于连接板，承载板用于带动压杆相对料架移动。
34.在该设计中，驱动件能够驱动承载板运动，使得承载板带动压杆在料架内上升或下降，以满足上料或下料的配合要求。
35.在一种可能的设计中，驱动组件包括：滚珠丝杆，与驱动件相连接；导轨，设于机架；连接板，设于滚珠丝杆和导轨，连接板用于承载板与驱动件相连，滚珠丝杆用于驱动连接板运动，导轨用于对连接板导向。
36.在该设计中，驱动件和承载板通过滚珠丝杆和连接板相连，驱动件能够驱动滚珠丝杆运动，滚珠丝杆带动连接板运动，连接板再带动承载板运动，导轨对连接板起到导向作用，使得连接板能够稳定地上升或下降。通过滚珠丝杆作为中间部件带动连接板运动，能够提高上料或下料过程的精准性。
37.当然，在其它设计中，也可以通过皮带或链条等作为中间传动部件。
38.本实用新型提出了一种清洗系统，包括如上述任一可能设计中的运料装置，因此本实用新型提供的清洗系统具有上述任一可能设计中所提供的运料装置的全部效益。
39.清洗系统还包括：清洗装置，清洗装置设有进料端和出料端；水平传送组件、定位顶升组件和驱动组件均为两组；一组水平传送组件、定位顶升组件和驱动组件位于进料端，用于上料；另一组水平传送组件、定位顶升组件和驱动组件位于出料端，用于下料。
40.水平传送组件、定位顶升组件和驱动组件均为两组，两组水平传送组件、定位顶升组件和驱动组件的结构相同，不同的是一组水平传送组件、定位顶升组件和驱动组件用于实现上料，需要与机械手组件配合，将压杆放置于承载硅片的花篮内，另一组水平传送组件、定位顶升组件和驱动组件用于实现下料，需要与机械手组件配合，对从花篮取下的压杆进行传送。由于两组水平传送组件、定位顶升组件和驱动组件的结构相同，便于对清洗系统进行加工、布局，能够降低对清洗装置进料端和出料端分别布置不同结构装置的工作量。
41.在一种可能的设计中，清洗系统还包括：送料组件，在两组水平传送组件之间移动。
42.在该设计中，送料组件用于装载有压杆的料架运送至位于进料端的水平传送组件，以及将空载的料架运送至位于出料端的水平传送组件处，不需要在两组水平传送组件之间设置传送带等结构，从而减小运料装置的占用空间。
43.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
44.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
45.图1示出了本实用新型的实施例的运料装置的结构示意图之一；
46.图2示出了本实用新型的实施例的运料装置的结构示意图之二；
47.图3示出了本实用新型的实施例的运料装置的结构示意图之三；
48.图4示出了本实用新型的实施例的运料装置的结构示意图之四；
49.图5示出了本实用新型的实施例的运料装置的结构示意图之五；
50.图6示出了本实用新型的实施例的运料装置的结构示意图之六；
51.图7示出了本实用新型的实施例的定位顶升组件的结构示意图；
52.图8示出了本实用新型的实施例的第三驱动组件的结构示意图之一；
53.图9示出了本实用新型的实施例的第三驱动组件的结构示意图之二。
54.其中，图1至图9中附图标记与部件名称之间的对应关系为：
55.100机架，110缓冲件，120挡料件，130支撑件，200料架，210滑动槽，400水平传送组件，410传送轮组件，420传送带，430连接轴，500定位顶升组件，510定位销，520安装板，530气缸，540承托板，600驱动组件，610滚珠丝杆，620连接板，630承载板，640导轨，700检测件。
具体实施方式
56.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
57.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
58.下面参照图1至图9描述根据本实用新型的一些实施例提供的运料装置和清洗系统。
59.结合图1、图2和图5所示，本实施例提出了一种运料装置，包括：机架100、料架200、水平传送组件400、定位顶升组件500和驱动组件600，料架200用于装载压杆，水平传送组件400设于机架100，水平传送组件400用于带动料架200往复移动；定位顶升组件500设于机架100，料架200移动至水平传送组件400上的设定位置时，定位顶升组件500与料架200相配合，定位顶升组件500能够带动料架200与水平传送组件400分离；驱动组件600，设于机架100，在料架200与水平传送组件400分离时，驱动组件600与压杆相配合，以使驱动组件600能够带动压杆相对料架200移动。
60.本实施例提供的运料装置通过料架200装载压杆，多个压杆可以一同放置于料架200内，料架200带动多个压杆统一移动，节省了多次搬运压杆的工作量。水平传送组件400能够带动料架200平移水平传送组件400带动料架200移动，不需要工作人员对料架200往复搬动，降低工作人员的工作量。
61.装载有压杆的料架200移动至水平传送组件400上的设定位置时，具体为第一设定位置，设定位置指的是位于定位顶升组件500上方的位置，将位于清洗设备进料端的设定位置命为第一设定位置，将位于清洗设备出料端的设定位置命为第二设定位置。定位顶升组件500与料架200相配合，此时料架200不能继续在水平传送组件400上移动，定位顶升组件500驱动料架200移动，使得料架200上升，此时料架200与水平传送组件400分离，料架200上
的压杆能够被取走或被放置于料架200内。具体地，料架200位于上料位时，料架200内的压杆能够被取走，料架200位于取料位时，压杆能够被放置于空载的料架200内，上料位指的是料架200当前处于能够被机械手组件取走内部压杆的位置，取料位指的是料架200当前处于能够被机械手组件放置压杆的位置，所以定位顶升组件500应该为两组，一组定位顶升组件500能够带动料架200上升至上料位，另一组定位顶升组件500能够带动料架200上升至取料位。同样地，机械手组件也为两组，一组机械手组件位于清洗装置的进料端和上料位之间，用于抓取位于上料位的料架200内的压杆，另一组机械手组件位于清洗装置的出料端和取料位之间，用于将压杆放置于取料位的料架200内的。料架200位于上料位时，为了确保上料稳定性，需要保证料架200和机架100的相对位置不易发生变化，即料架200能够稳定地位于上料位，通过定位顶升组件500使得料架200与水平传送组件400分离，所以处于上料位的料架200不易与水平传送组件400接触，水平传送组件400不易带动料架200移动，从而确保料架200上料时的稳定性，而且，固定不动的料架200不易与水平传送组件400长时间摩擦，降低料架200和水平传送组件400的损坏率。当料架200内的压杆都被取走后，需要重新在料架200内装载压杆，定位顶升组件500带动料架200下降，将料架200放置于水平传送组件400上之后，定位顶升组件500与料架200分离，水平传送组件400能够带动空载的料架200移动，水平传送组件400可以为两组，中间通过agv小车作为送料组件进行传送，使得agv小车能够将料架运送至另一个水平传送组件400上，当料架200在另一个水平传送组件200上移动至第二设定位置时，另一个定位顶升组件500与料架200相配合，此时料架200不能继续在水平传送组件400上移动，另一个定位顶升组件500驱动料架200移动，使得料架200移动至取料位，以及料架200与水平传送组件400分离，使用后的压杆能够再次被装配至料架200内，装载有压杆的料架200能够再次移动至第一设定位置并进行上料。工作人员对压杆进行搬运的方式，不仅搬运难度大，搬运效率低，而且，压杆表面可能残留化学制品，容易对工作人员造成伤害，通过定位顶升组件500、水平传送组件400和驱动组件600相配合，使得压杆在上料位和取料位之间的移动不需要工作人员参与，实现自动上料、下料的功能，提高了对压杆的搬运效率，而且，即使压杆表面残留化学制品，也不易对工作人员造成伤害，提高生产过程中的安全性。
62.料架200上设置有滑动槽210，压杆位于滑动槽210内，为了能够整齐且尽量放置较多数量的压杆，位于滑动槽210内的压杆叠层设置，料架200位于上料位时，机械手等机械部件取走滑动槽210内第一层的压杆之后，驱动组件600能够对滑动槽210内的压杆进行推动，使得压杆移动至能够再次被机械手等机械部件取走的位置，示例性地，第一层压杆被取走之后，下一层压杆移动至之前第一层压杆所在的位置，机械手等机械部件可以在固定的上料点对压杆进行拾取，提高上料过程的稳定性，确保料架200内的压杆能够被机械手等机械部件稳定地获取。
63.同样地，驱动组件600为两组，分别位于上料位和取料位的一侧，在取料过程中，驱动组件600位于接料的位置，机械手等机械部件将压杆放置于滑动槽210内时，驱动组件600对压杆进行承托，然后驱动组件600带动压杆在滑动槽210内滑动，为下一层压杆的放入提供空间，通过驱动组件600带动压杆移动，避免压杆被放入滑动槽210内时快速下落，保证压杆能够在滑动槽210内整齐分布，以便于后续滑动槽210内的压杆能够被稳定地拾取。通过水平传送组件400、定位顶升组件500和驱动组件600的配合，使得运料装置能够自动实现与
硅片处理设备的对接功能，满足使用需求。
64.结合图1、图2、图5和图7所示，在一种可能的实施例中，运料装置还包括：定位销510和定位孔，定位销510设于定位顶升组件500；定位孔设于料架200，定位顶升组件500与料架200相配合时，第一定位销510插接于定位孔。
65.在该实施例中，当料架200移动至第一设定位置或第二设定位置时，定位顶升组件500上的定位销510能够插接至料架200上的定位孔内，定位销510对料架200进行限位，水平传送组件400不能再带动料架200移动，使得定位顶升组件500能够稳定地带动料架200移动。而且，定位销510还能够对料架200起到定位作用，料架200能够被稳定地固定于上料位，通常由机械手等机械部件将料架200上的压杆取走，定位销510对料架200进行定位，使得机械手能够准确地取走料架200上的压杆，提高上料稳定性。
66.示例性地，如图7所示，定位顶升组件500包括：安装板520、气缸530、承托板540，安装板520安装在机架100上，气缸530安装在安装板520上，通过设置安装板520而便于实现对气缸530的安装和固定，承托板540安装于气缸530的活塞杆，气缸530的活塞杆能够带动承托板540上升或下降，定位销510设置在承托板540上，在料架200移动至第一设定位置时，承托板540位于料架200的下方，使得承托板540能够带动料架200上升或下降，通过承托板540带动料架200移动，承托板540为平板状，而且承托板540和料架200具有较大的接触面积，使得承托板540能够稳定地带动料架200上升或下降。
67.结合图1、图2和图3所示，在一种可能的实施例中，运料装置还包括：缓冲件110，缓冲件110设于机架100，料架200运动至设定位置时，料架200与缓冲件110相接触。
68.在该实施例中，水平传送组件400带动料架200移动时，即使水平传送组件400在料架200移动至设定位置时停止运转，料架200也会在惯性力的作用下继续移动一段距离。为了保证料架200移动至设定位置时能够与定位顶升组件500相配合，缓冲件110对料架200进行阻挡，使得料架200难以继续在水平传送组件400上移动，而且，缓冲件110能够对料架200起到缓冲作用，例如，缓冲件110的质地较软或缓冲件110具有弹性，当料架200与缓冲件110接触时，料架200不易发生振动，从而避免压杆与料架200分离或避免压杆在料架200内杂乱分布，确保整齐分布在料架200内的压杆能够被准确地取走。
69.示例性地，缓冲件110为液压缓冲件，在其它实施例中，缓冲件110还可以为弹簧或泡棉。
70.结合图1、图2和图3所示，在一种可能的实施例中，运料装置还包括：挡料件120，挡料件120设于机架100的侧部，挡料件120位于水平传送组件400上时，挡料件120限制料架200相对水平传送组件400偏移。
71.在该实施例中，当料架200位于水平传送组件400上时，挡料件120位于料架200的侧部，所以挡料件120能够对水平传送组件400上的料架200进行限位，避免料架200与水平传送组件400分离，提高料架200在水平传送组件400上的移动稳定性。
72.可以在挡料件120或机架100上设置传感器，传感器用于检测料架200是否到达设定位置，当传感器指示料架200到达设定位置时，定位顶升组件500驱动料架200提升。
73.结合图1、图3和图4所示，在一种可能的实施例中，水平传送组件400包括：传动轮组件410和传送带420，传动轮组件410设于机架100；传送带420套设于传动轮组件410，传动轮组件410带动传送带420运动；运料装置还包括支撑件130，支撑件130设于机架100，部分
支撑件130伸入传送带420围设的环形区域内，支撑件130用于支撑传送带420。
74.在该实施例中，传动轮组件410能够带动传送带420移动，使得传送带420带动料架200移动，带传动的方式使得料架200移动时更加平稳，避免料架200偏移或压杆在料架200内晃动，支撑件130能够对传送带420进行支撑，使得传送带420不易出现较大的凹陷，确保传送带420运转时的稳定性，降低传送带420的损坏率。
75.带传动结构运转时噪音较小，从而能够降低运料装置工作时的噪音。
76.示例性地，本技术中的传动轮组件410可以包括主动轮和从动轮，主动轮和从动轮均转动连接于机架100，传送带420套设于主动轮和从动轮，主动轮带动传送带420转动，从动轮随传送带420转动。
77.在本实施例中，传动轮组件410和传送带420均为两组，两组传送带420对料架200底部的两侧进行承载，使得料架200底部的中间位置为悬空状态，定位顶升组件500与该悬空位置相对设置。两组传动轮组件410的主动轮通过一连接轴430连接，可以在机架100上设置一个驱动电机，驱动电机驱动一个主动轮转动，一个主动轮通过连接轴430带动另一个主动轮转动，有传动轮组件410利于简化产品的结构。
78.结合图1、图5和图6所示，在一种可能的实施例中，运料装置还包括：检测件700，在料架200与水平传送组件400分离时，检测件700获取压杆的位置信号，驱动组件600根据位置信号调整压杆在料架200内的位置。
79.在该实施例中，料架200能够运动至上料位和取料位，所以检测件应该为两组，以下分别进行说明，具体地，料架200位于上料位时，一个检测件700与滑动槽210内装满压杆时的第一层压杆相对设置，当滑动槽210内的第一层压杆被取走之后，检测件700未检测到压杆的位置信号，此时驱动组件600带动滑动槽210内的压杆移动，使得下一层压杆移动至待上料位置，通过检测件700对滑动槽210内的压杆位置进行检测，能够使得驱动组件600准确、准时地运动，确保机械手等机械部件和驱动组件600能够有序的交替运行。
80.料架200位于取料位时，另一个检测件用于获取压杆的位置信号，同样地，检测件需要与滑动槽210内装满压杆时的第一层压杆相对设置，当滑动槽210内被放入一层压杆之后，驱动组件带动滑动槽210内的压杆移动，从而为下一层压杆的放入提供空间，通过检测件对滑动槽210内的压杆位置进行检测。
81.值得注意的是，本实施例中，当料架200与水平传送组件400分离之后，检测件700分别对滑动槽210内的压杆位置进行检测，能够有效避免料架200未移动至上料位或取料位时，由于检测件700的误检测造成驱动组件600运动的情况发生，提高运料装置的运行稳定性。
82.运料装置还包括壳体，壳体罩设在机架100外部，检测件700可以设置在机架100上，也可以设置在壳体上。
83.当然，在其它实施例中，也可以设置检测件700不与驱动组件600的位置进行关联。
84.如图5所示，在一种可能的实施例中，滑动槽210为至少两个，至少两个滑动槽210间隔设置。
85.在该实施例中，滑动槽210的数量为至少两个，通过增加滑动槽210的数量，提高料架200能够装载压杆的数量，一次性可以对大量的压杆进行转移，避免多次转移的工作量，提高工作效率。驱动组件600能够同时与至少两个滑动槽210内的压杆相配合，即驱动组件
600运动一次，对至少两个滑槽内的一层压杆同时进行运动，不需要驱动组件600依次对不同滑动槽210内的压杆进行带动，能够有效降低对驱动组件600的控制难度。
86.水平传送组件400、驱动组件600均采用一体式结构的产品，选型成熟自动化元件，保证设备生产效率较高。
87.为了避免压杆附带金属离子而对硅片产生影响，承载板630通常为塑胶材质。
88.结合图8和图9所示，在一种可能的实施例中，驱动组件600包括：驱动件，设于机架100；承载板630，与驱动件相连，设于连接板620，承载板630用于带动压杆相对料架200移动。
89.在该实施例中，驱动件能够驱动承载板630运动，使得承载板630带动压杆在料架200内上升或下降，以满足上料或下料的配合要求。
90.如图5所示，料架200的一侧设置有开口，承载板630能够通过该开口伸入料架200内并对至少两个滑动槽210内的压杆进行承托。
91.通过滚珠丝杆610结构带动压杆升降的方式，实现了距离可调、反应灵敏以及定位准确的技术效果。
92.在一种可能的实施例中，驱动组件600包括：滚珠丝杆610，与驱动件相连接；导轨640，设于机架100；连接板620，设于滚珠丝杆610和导轨640，连接板620用于承载板630与驱动件相连，滚珠丝杆610用于驱动连接板620运动，导轨640用于对连接板620导向。
93.在该实施例中，驱动件和承载板630通过滚珠丝杆610和连接板620相连，驱动件能够驱动滚珠丝杆610运动，滚珠丝杆610带动连接板620运动，连接板620再带动承载板630运动，导轨640对连接板620起到导向作用，使得连接板620能够稳定地上升或下降。通过滚珠丝杆610作为中间部件带动连接板620运动，能够提高上料或下料过程的精准性。
94.当然，在其它设计中，也可以通过皮带或链条等作为中间传动部件。
95.本实施例提出了一种清洗系统，包括如上述任一可能实施例中的运料装置，因此本实施例提供的清洗系统具有上述任一可能实施例中所提供的运料装置的全部效益。
96.清洗系统还包括：清洗装置，清洗装置设有进料端和出料端；水平传送组件400、定位顶升组件500和驱动组件600均为两组；一组水平传送组件400、定位顶升组件500和驱动组件600位于进料端，用于上料；另一组水平传送组件400、定位顶升组件500和驱动组件600位于出料端，用于下料。
97.水平传送组件400、定位顶升组件500和驱动组件600均为两组，两组水平传送组件400、定位顶升组件500和驱动组件600的结构相同，不同的是一组水平传送组件400、定位顶升组件500和驱动组件600用于实现上料，需要与机械手组件配合，将压杆放置于承载硅片的花篮内，另一组水平传送组件400、定位顶升组件500和驱动组件600用于实现下料，需要与机械手组件配合，对从花篮取下的压杆进行传送。由于两组水平传送组件400、定位顶升组件500和驱动组件600的结构相同，便于对清洗系统进行加工、布局，能够降低对清洗装置进料端和出料端分别布置不同结构装置的工作量。
98.在一种可能的实施例中，清洗系统还包括：送料组件，在两组水平传送组件400之间移动。
99.在该实施例中，送料组件用于装载有压杆的料架200运送至位于进料端的水平传送组件400，以及将空载的料架200运送至位于出料端的水平传送组件400处，不需要在两组
水平传送组件400之间设置传送带等结构，从而减小运料装置的占用空间。
100.示例性地，本实施例中的送料组件为agv自动导引运输车，agv小车可以按动设定路线移动，agv小车可以位于进料端的水平传送组件400上的料架200，然后带动料架200移动至位于出料端的水平传送组件400处也可以将位于出料端的水平传送组件400上装载压杆料架200放置于位于进料端的水平传送组件400上。
101.具体地，agv小车的驱动部位能够上升或下降，例如，需要取下水平传送上的料架200时，agv小车的驱动部位于料架200的下方，然后驱动部上升，从而将料架200与水平传送组件分离，需要放下料架时，驱动部下降。
102.当位于料架200内的压杆被取空之后，检测件700发出料架200空载的信号，agv小车移动至位于进料端的水平传送组件400处，agv小车能够将料架200取下第一水平传送组件，机架100上设置有隔挡件和传感器，隔挡件对料架200进行阻挡，避免料架200掉落，在隔挡件对料架200进行阻挡时，料架200位于agv小车的上方，传感器能够检测料架200是否移动至agv小车上方的位置，当检测信号指示料架200位于agv小车的位置时，agv小车动作并取走料架200。
103.在一种可能的实施例中，所述运料装置还包括：插槽，设于所述料架；插块，设于所述送料组件，所述送料组件承载所述料架时，所述插槽和所述插块相配合。
104.在该实施例中，插槽和插块相配合而使得料架不易在送料组件上晃动，提高送料组件转移料架时的稳定性。
105.在本实用新型中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
106.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
107.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。