一种开放式晶圆匣的制作方法

1.本实用新型涉及半导体存储技术领域，尤其涉及一种开放式晶圆匣。


背景技术：

2.开放式晶圆匣(open cassette)是半导体一种常用的晶圆临时存储装置，其一侧开口，以便于晶圆的存取，晶圆一般呈圆形，因此，开口的尺寸一般大于晶圆的直径，也就是说，该开口的尺寸相对较大，因此，这种开放式晶圆匣在搬运过程中，晶圆晃动和脱落的风险较大，可能导致晶圆损坏。


技术实现要素：

3.本实用新型实施例提供一种开放式晶圆匣，以解决现有开放式晶圆匣在搬运过程中，晶圆晃动和脱落的风险较大，可能导致晶圆损坏的问题。
4.本实用新型实施例提供了一种开放式晶圆匣，包括：
5.匣体，所述匣体内形成有多个用于容纳晶圆的隔层，所述匣体具有上底面、下底面以及位于所述上底面和所述下底面之间的侧面，所述隔层沿由所述上底面到所述下底面的方向排布，所述侧面设置有开口，所述隔层均暴露于所述开口；
6.辅助固定件，包括与所述隔层一一对应的多个固定部，所述辅助固定件至少能够在第一固定位置与所述匣体可拆卸连接，其中，所述第一固定位置位于所述匣体的开口处，且所述辅助固定件位于所述第一固定位置时，所述固定部分别位于相对应的所述隔层内。
7.在一些实施例中，所述上底面和所述下底面的至少一处设置有连接部，所述辅助固定件通过所述连接部与所述匣体可拆卸连接。
8.在一些实施例中，所述连接部包括形成于所述上底面和/或所述下底面上的凹槽，所述辅助固定件位于所述第一固定位置时，所述辅助固定件位于所述上底面和/或所述下底面的部分容纳于所述凹槽内部。
9.在一些实施例中，所述上底面和/或所述下底面朝向所述开口的一侧开设有与所述辅助固定件形状匹配的缺口，所述辅助固定件位于所述第一固定位置时，所述辅助固定件位于所述开口处的部分收容于所述缺口内。
10.在一些实施例中，所述辅助固定件还能够在第二固定位置与所述匣体可拆卸连接，所述第二固定位置位于所述匣体的侧面，且所述第二固定位置位于背向所述开口的一侧。
11.在一些实施例中，所述辅助固定件安装于所述第二固定位置时，所述辅助固定件的表面不高于所述匣体的表面。
12.在一些实施例中，所述辅助固定件还设置有用于检测晶圆数量的传感器，所述传感器对应每一所述固定部设置。
13.在一些实施例中，所述辅助固定件上设置有显示组件，所述显示组件与所述传感器连接，所述显示组件用于显示所述传感器检测到的晶圆数量。
14.本实用新型实施例设置了辅助固定件，辅助固定件包括与隔层一一对应的多个固定部，辅助固定件至少能够在第一固定位置与匣体可拆卸连接，其中，第一固定位置位于匣体的开口处，且辅助固定件位于第一固定位置时，固定部分别位于相对应的隔层内。这样，当辅助固定件固定于第一固定位置时，能够封闭开口，同时，由于固定部的存在，能够辅助固定和稳定晶圆，降低了晶圆晃动和脱落的风险，而该辅助固定件与匣体可拆卸连接，当需要正常使用时，可以将其取下，以避免对正常使用造成影响，提高了使用的便利性。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。
16.图1是本实用新型一实施例中开放式晶圆匣的结构示意图；
17.图2是本实用新型一实施例中辅助固定件位于第二固定位置时的示意图。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。不冲突的情况下，下述实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获取的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.本实用新型实施例提供了一种开放式晶圆匣。
20.如图1和图2所示，在一个实施例中，该开放式晶圆匣包括匣体101和辅助固定件102。
21.本实施例中，匣体101内形成有多个用于容纳晶圆200的隔层1011，匣体101具有上底面、下底面以及位于上底面和下底面之间的侧面，隔层1011沿由上底面到下底面的方向排布，侧面设置有开口1012，隔层1011均暴露于开口1012。
22.可以理解，匣体101可以一定程度上参考现有技术，此处不对匣体101本身的结构做进一步限定。
23.辅助固定件102包括与隔层1011一一对应的多个固定部1021，辅助固定件102至少能够在第一固定位置与匣体101可拆卸连接。
24.本实施例中，第一固定位置位于匣体101的开口1012处，且辅助固定件102位于第一固定位置时，固定部1021分别位于相对应的隔层1011内。
25.可以理解的是，晶圆的厚度大致在0.65至0.85毫米左右，而便于取放晶圆，匣体101内形成的隔层1011一般来说远大于晶圆的厚度，具体可能在2至3毫米以上，这导致晶圆可能存在较大的晃动。
26.本实施例中，辅助固定件102上设置有固定部1021，该固定部1021的位置与隔层1011一一对应，这样，当辅助固定件102固定在匣体101上时，固定部1021恰好能够位于相对应的隔层1011内。
27.在其中一些实施例中，固定部1021包括两个具有一定弹性的弹片，如果隔层1011内设置有晶圆200，则两个弹片能够分别与晶圆200的上下表面相抵接，从而限制晶圆200的移动。显然，固定部1021的结构并不局限于此，例如，还选择橡胶垫等结构，只要能够起到限制晶圆200的移动即可。通过设置该固定部1021，能够避免晶圆200晃动。
28.该辅助固定件102是与匣体101可拆卸连接的，当辅助固定件102取下时，可以参照现有方式在匣体101中存取晶圆200，如果需要移动晶圆匣，则可以将辅助固定件102安装上述第一固定位置，固定和稳定晶圆200，降低了晶圆200晃动和脱落的风险。
29.在一些实施例中，上底面和下底面的至少一处设置有连接部，辅助固定件102通过连接部与匣体101可拆卸连接。以在上表面设置连接部做示例性说明，该连接部可以是一个卡槽，辅助固定件102上可以通过弹片设置一个卡扣，这样，卡扣可以卡在卡槽内，使得辅助固定件102与匣体101相固定，当向弹片施加作用力时，能够使得卡扣从卡槽中脱离出来，使得辅助固定件102与匣体101相分离。
30.在一些实施例中，连接部包括形成于上底面和/或下底面上的凹槽，辅助固定件102位于第一固定位置时，辅助固定件102位于上底面和/或下底面的部分容纳于凹槽内部。
31.在一些实施例中，上底面和/或下底面朝向开口1012的一侧开设有与辅助固定件102形状匹配的缺口，辅助固定件102位于第一固定位置时，辅助固定件102位于开口1012处的部分收容于缺口内。
32.本实施例中，设置凹槽和缺口的目的在于，使得辅助固定件102不会凸出匣体101原本的表面，也就是说，当辅助固定件102安装在第一固定位置时，匣体101上不会存在由于安装辅助固定件102而突出的结构，这样，匣体101的最大外部轮廓不会发生改变，这样，原本针对匣体101的形状设计的相关工具或设备仍然能够正常使用，不需要作出调整，提高了使用的便利性和通用性。
33.如图2所示，在一些实施例中，辅助固定件102还能够在第二固定位置与匣体101可拆卸连接，第二固定位置位于匣体101的侧面，且第二固定位置位于背向开口1012的一侧。
34.本实施例中，可以理解为在匣体101背向开口1012的一侧设置了一个安装辅助固定件102的位置，这样，当不需要使用辅助固定件102时，可以将辅助固定件102安装于该第二固定位置，从而避免辅助固定件102遗失。
35.在一些实施例中，辅助固定件102安装于第二固定位置时，辅助固定件102的表面不高于匣体101的表面。
36.与第一固定位置类似，与该第二固定位置对应的匣体101处，也可以设置相应的凹槽及缺口，从而使得辅助固定件102安装于该第二固定位置时，辅助固定件102不会凸出匣体101的表面，从而不会对匣体101与其他设备的正常配合使用造成影响。
37.在一些实施例中，辅助固定件102还设置有用于检测晶圆200数量的传感器，传感器对应每一固定部1021设置。
38.本实施例中，还针对每一固定部1021设置了传感器，示例性的，传感器可以是压力传感器，这样，当固定部1021固定晶圆200时，会使得压力传感器检测到压力，从而能够实现对于晶圆200的识别。
39.显然，还可以选择其他传感器实现对于晶圆200数量的检测，此处不做进一步限定。
40.本实施例中可以通过不同的方式指示晶圆200的数量，示例性的，可以设置与每一固定部1021对应的指示灯，当该固定部1021对应的隔层1011内存在晶圆200时，则亮绿灯，否则亮红灯，这样，能够清除的指示匣体101内的晶圆200存放数量。
41.又如，在一些实施例中，辅助固定件102上设置有显示组件，显示组件与传感器连接，显示组件用于显示传感器检测到的晶圆200数量。
42.此外，辅助固定件102上还可以设置数据接口或无线通信模块，以进行数据传输，这样，其他设备能够与辅助固定件102通信连接，以读取晶圆200的存储信息。
43.以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。