一种用于薄膜真空镀膜的新型传送设备的制作方法

1.本实用新型涉及一种传送设备，具体涉及一种用于薄膜真空镀膜的新型传送设备。


背景技术：

2.目前，传统的真空沉积设备，如图1所示，包括依次设置的放卷腔、工艺腔和收卷腔，放卷腔内依次设置有轴1、轴2、轴3，工艺腔内设置有加热板，收卷腔内设置有轴4、轴5、轴6。从放卷腔的轴1进行薄膜基材的放卷，收卷腔的轴6主动旋转进行收卷；薄膜基材在工艺腔中通过加热板的热辐射作用进行升温，同时在工艺腔上方有反应气体进入工艺腔，进行水氧阻隔膜的沉积。
3.传统真空沉积设备的缺点：一、传统技术在传送过程中，使用了较多的传动辊（如图中轴2、轴3、轴4、轴5），其中轴5是和基材表面沉积的阻隔膜层直接接触；过大的压力或是滑动摩擦力都会使膜层受到致命性破坏。二、由于辊的摩擦作用，使得主动轴产生的拉紧张力，不能很好的均匀的分布于薄膜基材各个跨度上；设备通过收卷腔的主动轴提供拉紧张力，使薄膜基材近似水平状态传输；但是由于拉紧张力过大，会导致薄膜有严重变形褶皱产生；如果减少张力，薄膜基材在工艺腔中由于跨度大，会因为重力下垂过大（如图2所示）与加热板表面或是其他部件接触产生划伤，使产品外观及功能上均产生致命缺陷。三、由于薄膜基材在经过加热板上方时，通过热辐射进行加热（基材与加热板无直接接触），使得基材在刚进入工艺腔时，并没有很好的工艺温度，影响了初始膜层的性能。导致原因：一、主动轴产生的张力不能很好传送到整个基材；二、基材上表面的水氧膜不能经历变形，以及受摩擦作用影响；三、基材是通过热辐射加热的，有一定的温升延迟时间。
4.因此，设计了一种用于薄膜真空镀膜的新型传送设备来解决上述问题。
5.应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。


技术实现要素：

6.为克服上述现有技术中的不足，本实用新型目的在于提供一种用于薄膜真空镀膜的新型传送设备。
7.为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供的技术方案是：一种用于薄膜真空镀膜的新型传送设备，包括依次设置的放卷腔、工艺腔和收卷腔，所述工艺腔内设置有加热板；所述放卷腔内依次设置有放卷辊、第一支撑辊、第一调节辊，所述收卷腔内依次设置有第二调节辊、第二支撑辊和收卷辊；所述第一支撑辊与所述第二支撑辊的外部套设有支撑布且涨紧设置，所述支撑布位于所述加热板的上方；所述第一调节辊与所述第二调节辊均位于所述支撑布的下方，所述第一调节辊与所述第二调节辊均与所述支撑布抵触设置；所述第二支撑辊与所述收卷辊均为主动辊轴。
8.优选的技术方案为：所述第一调节辊与所述第二调节辊均可移动式设置，用于调节所述支撑布的支撑力。
9.优选的技术方案为：所述第一支撑辊的直径与所述第二支撑辊的直径相等。
10.优选的技术方案为：所述第一调节辊的直径与所述第二调节辊的直径相等。
11.优选的技术方案为：所述第一调节辊的直径小于所述第一支撑辊的直径，所述第一调节辊位于所述第一支撑辊的右方内侧；所述第二调节辊的直径小于所述第二支撑辊的直径，所述第二调节辊位于所述第二支撑辊的左方内侧。
12.优选的技术方案为：所述支撑布的外表面设置有防磨层。
13.优选的技术方案为：所述支撑布的材料为耐高温材料。
14.优选的技术方案为：所述支撑布的材料为高导热性材料。
15.由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：
16.1、通过支撑布的作用，可以使基材处于水平传送状态。
17.2、收卷主动辊轴不需要提供大的拉紧力，避免了薄膜基材的褶皱变形现象。
18.3、阻隔膜收卷过程中，膜面不与辊轴等硬质物体接触，避免膜损伤。
19.4、由于支撑布的循环传送，当支撑布在下层经过加热板时，可以很好进行预加热；等到支撑布传送至上层时，与基材直接接触，大大提高了升温速度。
附图说明
20.图1为传统设备示意图一。
21.图2为传统设备示意图二。
22.图3为本实用新型结构示意图。
23.以上附图中，放卷辊1，第一支撑辊2，第一调节辊3，第二调节辊4，第二支撑辊5，收卷辊6，支撑布7。
具体实施方式
24.以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
25.请参阅图1~图3。须知，在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
26.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介
间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.实施例：如图3所示，一种用于薄膜真空镀膜的新型传送设备，包括依次设置的放卷腔、工艺腔和收卷腔，工艺腔内设置有加热板；放卷腔内依次设置有放卷辊1、第一支撑辊2、第一调节辊3，收卷腔内依次设置有第二调节辊4、第二支撑辊5和收卷辊6；第一支撑辊2与第二支撑辊5的外部套设有支撑布7且涨紧设置，支撑布7位于加热板的上方；第一调节辊3与第二调节辊4均位于支撑布7的下方，第一调节辊3与第二调节辊4均与支撑布7抵触设置；第二支撑辊5与收卷辊6均为主动辊轴。第一调节辊3与第二调节辊4均可移动式设置，用于调节支撑布7的支撑力。第一支撑辊2的直径与第二支撑辊5的直径相等。第一调节辊3的直径与第二调节辊4的直径相等。第一调节辊3的直径小于第一支撑辊2的直径，第一调节辊3位于第一支撑辊2的右方内侧；第二调节辊4的直径小于第二支撑辊5的直径，第二调节辊4位于第二支撑辊5的左方内侧。支撑布7的外表面设置有防磨层。支撑布7的材料为耐高温材料。支撑布7的材料为高导热性材料。
28.卷材收放过程中，不再使用传统设备中的轴2和轴5，避免了镀膜面和轴直接接触。增加了位置可调节的第一调节辊和第二调节辊，通过调整两个调节辊的位置，可以调整支撑布的支撑力。将传统设备中的传动辊（轴4）改为主动辊轴，其传动线速度与同样为主动辊轴的收卷辊保持一致，以保证在薄膜基材的收卷过程中，基材与支撑布无相对滑动。支撑布采用耐高温、表面光滑、导热性好的材料，还要满足可承受一定的拉力的材料。改变了传统薄膜基材悬空传送方式，提供了一种通过支撑布传送的方式，保证薄膜基材处于水平且不受拉力变形的状态进行传送；同时，避免膜层与传动轴直接接触；而且通过支撑布的循环传送，达到支撑布提前预热，以实现薄膜基材的快速升温效果。
29.本实用新型设计的传送设备，改变传统薄膜基材悬空传送方式；解决了张力过大，引起薄膜基材褶皱变形问题；解决了张力过小，基材与加热板摩擦划伤的问题；解决了传动轴与水氧阻隔膜直接接触的问题；改善了基材进工艺腔初期温升延时的问题。
30.上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。