输送车辆清洗方法及装置以及包括其的物品输送设备与流程

本发明涉及输送物品的输送车辆的清洗方法及装置以及包括其的物品输送设备。

背景技术：

1、在半导体装置或者显示装置的制造工艺中半导体晶圆、半导体料带、玻璃基板、显示面板等之类材料可以通过oht(overhead hoist transport)装置、rgv(rail guidedvehicle)装置、agv(automatic guided vehicle)装置等之类无人搬运系统进行输送。尤其，如上述的输送装置可以包括构成为能够沿着设置在无尘室的棚顶或者地板中的行驶轨道移动的输送车辆。

2、例如，在用于半导体装置的制造的无尘室内可以在棚顶部位设置用于输送材料的行驶轨道，并可以配置能够沿着所述行驶轨道移动的多个输送车辆。所述输送车辆可以包括构成为以使得沿着行驶轨道能够移动的行驶模组(例：天车)与连接于所述行驶模组之下并用于材料的输送的升降模组。所述升降模组可以包括手持单元和用于使所述手持单元在垂直方向上移动的提升单元，所述手持单元具备提供内部空间的框架和用于把持所述材料的夹具。所述手持单元和所述提升单元可以配置在所述内部空间。

3、所述输送车辆可能在行驶过程中由于驱动轮等产生颗粒之类异物，这种异物可能附着到输送车辆的表面。尤其，所述异物可能附着于所述框架内部或者外部。在以输送车辆的表面附着异物的状态行驶时，在行驶过程中异物可能飞散而污染制造线。

技术实现思路

1、因此，本发明提供一种能够防止从输送车辆的上方飞散的异物再附着于下方的输送车辆清洗方法及装置以及包括其的物品输送设备。

2、所要解决的课题不限于此，通常的技术员可以从下面记载明确地理解未提及的其它课题。

3、根据本发明的一实施例，可以提供用于清洗输送车辆的输送车辆清洗装置，所述输送车辆为了输送物品构成为能够沿着行驶轨道移动并包括行驶模组以及连接在所述行驶模组下方且具有所述物品的容纳空间的框架。可以是，所述输送车辆清洗装置包括：外壳，构成为围绕所述行驶轨道以及所述输送车辆的移动路径并提供执行所述输送车辆的清洗的清洗空间；风扇单元，提供在所述外壳的上部，并用于在所述清洗空间形成下降气流；气体喷射单元，提供在所述外壳内部的棚顶，并用于朝向所述输送车辆喷射气体；排气单元，提供在所述外壳的下部，并抽吸且去除从所述清洗空间供应的气体以及从所述输送车辆去除的异物，并且对所述清洗空间进行排气；以及框架盖，构成为在所述外壳内部围绕所述框架，并用于防止从所述输送车辆的上部飞散的颗粒附着于所述输送车辆的下部。

4、在一实施例中，所述框架盖构成为围绕所述框架的开放的面，并制造成能够将所述框架的内部空间与所述清洗空间进行阻断。

5、在一实施例中，可以是，所述输送车辆在进入所述框架盖内之后在预设定的位置停车。

6、在一实施例中，可以是，所述外壳包括供所述输送车辆进入的入口门和供所述输送车辆离开的出口门。

7、在一实施例中，可以是，在所述入口门中设置用于感测所述输送车辆的进入第一传感器，在所述出口门中设置用于感测所述输送车辆的离开第二传感器。

8、在一实施例中，可以是，所述气体喷射单元包括多个喷嘴。

9、在一实施例中，可以是，各个所述喷嘴在所述输送车辆在所述外壳内部停车之后朝向所述行驶模组的表面喷射气体。

10、在一实施例中，可以是，所述气体包括惰性气体或干燥清洁空气。

11、根据本发明的一实施例，提供一种输送车辆清洗方法，用于清洗输送车辆，所述输送车辆为了输送物品构成为能够沿着行驶轨道移动。可以是，所述输送车辆清洗方法包括：向用于清洗输送车辆的输送车辆清洗装置内部提供下降气流的步骤；使所述输送车辆向所述输送车辆清洗装置内部进入的步骤；清洗所述输送车辆的步骤；以及使所述输送车辆向所述输送车辆清洗装置外部离开的步骤，所述输送车辆清洗步骤包括用于保护包括在所述输送车辆的下方的框架免受颗粒的影响的过程。

12、在一实施例中，可以是，所述输送车辆清洗方法还包括：感测所述输送车辆向所述输送车辆清洗装置接近的步骤；以及感测所述输送车辆从所述输送车辆清洗装置离开的步骤。

13、在一实施例中，可以是，所述下降气流供应步骤经过所述输送车辆清洗方法的整体过程而持续性地执行。

14、在一实施例中，可以是，所述输送车辆清洗步骤包括：对所述输送车辆清洗装置的内部进行排气的排气步骤；使所述输送车辆位于框架盖内部的步骤；以及向位于所述框架盖内部的输送车辆喷射气体的气体喷射步骤。

15、在一实施例中，可以是，所述排气步骤在所述输送车辆进入到所述输送车辆清洗装置之后起执行，直到所述输送车辆从所述输送车辆清洗装置离开前为止。

16、根据本发明的一实施例，可以是，提供一种物品输送设备，所述物品输送设备包括：行驶轨道，设置在棚顶侧并提供用于输送物品的输送路径；至少一个物品输送车辆，包括：行驶模组以及升降模组，所述行驶模组沿着所述行驶轨道行驶，所述升降模组结合在所述行驶模组的下方并提供用于容纳所述物品的框架；以及输送车辆清洗装置，为了执行对所述物品输送车辆的清洗而与所述行驶轨道相邻配置，并能够防止从所述行驶模组飞散的颗粒再附着于所述升降模组。

17、在一实施例中，可以是，所述输送车辆清洗装置包括：外壳，构成为围绕所述行驶轨道以及所述输送车辆的移动路径并提供执行所述输送车辆的清洗的清洗空间；风扇单元，设置在所述外壳的上部，并用于在所述清洗空间形成下降气流；气体喷射单元，设置于所述外壳的棚顶，并用于朝向所述输送车辆喷射气体；排气单元，设置在所述外壳的下部，并抽吸且去除从所述清洗空间供应的气体以及从所述输送车辆去除的异物，并且对所述清洗空间进行排气；以及框架盖，构成为在所述外壳内部围绕所述框架的开放的面，并能够将所述框架内部空间与所述清洗空间进行阻断。

18、在一实施例中，可以是，所述输送车辆在进入所述框架盖内之后在预设定的位置停车。

19、在一实施例中，可以是，所述外壳包括供所述输送车辆进入的入口门和供所述输送车辆离开的出口门。

20、在一实施例中，在所述入口门中设置用于感测所述输送车辆进入的第一传感器，在所述出口门中设置用于感测所述输送车辆离开的第二传感器。

21、在一实施例中，所述气体喷射单元包括多个喷嘴。

22、可以是，各个所述喷嘴在所述输送车辆停车之后朝向所述行驶模组的表面喷射气体。

23、在一实施例中，可以是，所述风扇单元包括向所述清洗空间供应下方气流的多个风扇，所述多个风扇持续工作。

24、根据本发明的实施例，输送车辆清洗装置具备在提供清洗空间的外壳内部中，围绕输送车辆的框架的框架盖。框架盖将框架表面以及内部空间从清洗空间进行阻断从而能够防止从输送车辆上方的行驶模组飞散的颗粒等异物再附着于输送车辆下方的框架而导致的再污染。

25、另外，根据在清洗空间内部中形成下降气流并通过清洗空间下方的排气单元排气清洗空间，可以更效率性地从清洗空间去除从输送车辆表面飞散的颗粒等异物。

26、本发明的效果不限于此，通常的技术员可以从本说明书以及所附的附图中明确地理解未提及的其它效果。