一种划片自动上下料机构的制作方法

1.本实用新型涉及一种划片自动上下料机构，属于精密切割划片设备技术领域。


背景技术：

2.伴随着电子技术的飞速发展，半导体的生产方式已经发生了巨大的变化。集成电路由大规模向超大规模发展，集成度越来越高。划片机是ic生产的关键设备之一，是一种精密切割专用设备，主要用于将半导体集成电路硅片、砷化镓等芯片切割成单个集成电路。传统的划片设备主要采用手工进行上料及下料操作，加工技术因人工操作存在工件安装位置不准确，加工精度低，劳动强度大，自动化程度低，废品率高，加工效率低。


技术实现要素：

3.为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种划片自动上下料机构，通过该机构代替人工进行上下料，安装位置准确，提高加工效率。
4.为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种划片自动上下料机构，包括工作台，所述工作台设置有第一通孔，其特征在于，还包括：
5.上料组件，所述上料组件设置在所述第一通孔一侧，所述上料组件包括上料驱动件和上料推杆，所述上料驱动件和上料推杆连接，所述上料驱动件带动所述上料推杆运动；
6.下料组件，所述下料组件位于所述第一通孔远离所述上料组件一侧，所述下料组件包括下料驱动件和下料推杆，所述下料驱动件和所述下料推杆连接，所述下料驱动件带动所述下料推杆运动。
7.通过上料组件和下料组件的设置，可以自动稳定的进行上下料，提高了加工效率。
8.进一步地，还包括划片箱，所述划片箱在上下料过程中穿过所述第一通孔，所述划片箱为多层机构，划片箱用于放置划片。
9.进一步地，所述下料组件还包括下料气缸，所述下料气缸设置在工作台上，所述下料气缸位于所述第一通孔远离所述下料推杆的一侧。在下料时，通过下料驱动件带动下料推杆进行运动，下料推杆运动时，推动划片进入划片箱，通过下料气缸设置在第一通孔远离下料推杆的一侧，对划片下料时进行定位。
10.进一步地，还包括划片陈列板，所述划片陈列板设置在所述工作台上，所述划片陈列台设置在所述第一通孔远离所述上料组件一侧，所述划片陈列板上设置有第二通孔，所述下料推杆穿过所述第二通孔。
11.进一步地，所述划片陈列板上表面设置有多个凹槽，所述凹槽内设置有凸起部，所述凸起部上设置有滚动件。凹槽内设置的凸起部对划片放置的位置进行限制，通过滚动件的设置，减少了在划片放置过程中和凸起部的摩擦力，防止划片表面进行磨损。
12.进一步地，还包括升降组件，所述升降组件包括升降驱动件，所述升降驱动件设置在所述第一通孔下方并和所述工作台连接。
13.进一步地，还包括移动组件，所述移动组件包括移动驱动件、x轴滑杆和x 轴滑块，
所述x轴滑杆固定在所述工作台上方，所述x轴滑块在移动驱动件的作用下能沿着所述x轴滑杆移动。
14.进一步地，所述移动组件还包括吸盘组件，所述吸盘组件和所述x轴滑块连接，在x轴滑块的带动下能沿x轴方向移动；所述吸盘组件包括第一吸盘组件和第二吸盘组件，所述第二吸盘组件包括吸盘气缸，所述吸盘气缸和吸盘连接，所述吸盘气缸能带动所述吸盘在y轴方向移动。
15.进一步地，所述移动组件还包括夹爪组件，所述夹爪组件包括夹爪和夹爪驱动件，所述夹爪和所述夹爪驱动件连接，所述夹爪在所述夹爪驱动件的作用下能沿z轴方向移动。
16.进一步地，还包括上料定位组件和周转台，所述上料定位组件设置在所述周转台上，所述上料定位组件包括x轴定位件和y轴定位件，所述x轴定位件包括x轴气缸、x轴推板和x轴挡板，所述x轴气缸和x轴推板连接，所述x轴推板在x轴气缸的作用下能沿x轴运动，x轴推板运动过程中将划片箱向x轴挡板方向推动，x轴挡板对划片箱在x轴方向进行定位；所述y轴定位件包括y轴气缸、y 轴推板和y轴挡板，所述y轴气缸和y轴推板连接，所述y轴推板在y轴气缸的作用下能沿x轴运动，y轴推板运动过程中将划片箱箱y轴挡板方向推动，y轴挡板对划片箱在y轴方向进行定位。
17.进一步地，还包括读码器，所述读码器设置在工作台上,通过读码器对划片上信息进行读取。
18.本实用新型的有益效果是：通过上料组件和下料组件的设置，可以自动稳定的进行上下料，提高了加工效率。通过滚动件的设置，减少了在划片放置过程中和凸起部和划片之间的摩擦力，防止划片表面进行磨损。
附图说明
19.图1为本实用新型一较佳实施例的上下料机构的立体图；
20.图2为本实用新型一较佳实施例的上料定位组件局部放大图；
21.图3为本实用新型一较佳实施例的夹爪组件立体图；
22.图4为本实用新型一较佳实施例的上下料机构的的仰视图；
23.图5为本实用新型一较佳实施例的划片陈列板和下料组件连接示意图；
24.图6为本实用新型一较佳实施例的划片陈列板的局部放大图；
25.图7为本实用新型一较佳实施例的第二吸盘组件的立体图。
26.图中：
27.1、工作台；11、第一通孔；
28.2、上料组件；21、上料驱动件；22、上料推杆；
29.3、下料组件；31、下料驱动件；32、下料推杆；33、下料气缸；
30.4、划片陈列板；41、第二通孔；42、凹槽；43、凸起部；44、滚动件；
31.5、移动组件；51、x轴滑杆；52、吸盘组件；521、第一吸盘组件；522、第二吸盘组件；5221、吸盘气缸；5223、吸盘滑杆；5224、吸盘滑块；5225、吸盘；53、夹爪组件；531、夹爪；532、夹爪驱动件；
32.6、升降组件；61、升降驱动件；
33.7、周转台；71、上料定位组件；711、x轴气缸；712、x轴推板；713、x 轴挡板；714、y轴
气缸；715、y轴推板；716、y轴挡板；72、下料定位组件； 80、读码器；81、划片箱；811、划片；82、切片台。
具体实施方式
34.下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
35.参见附图1所示，本实施例中的一种划片自动上下料机构，包括工作台1和划片箱81，所述划片箱81为多层机构，划片箱81用于放置划片811，每层放置一个划片811。所述工作台1设置有第一通孔11，所述划片箱81在上下料过程中穿过所述第一通孔11。还包括上料组件2、下料组件3、划片陈列板4、移动组件5、升降组件6、上料定位组件71和读码器80，上料定位组件71对划片箱81进行定位，移动组件5用于运输划片箱81。所述读码器80设置在工作台1上,通过读码器80对划片811上信息进行读取。
36.参见附图1和附图2所示，本实施例中上料定位组件71设置在所述周转台7 上，所述上料定位组件71包括x轴定位件和y轴定位件，所述x轴定位件包括x 轴气缸711、x轴推板712和x轴挡板713，所述x轴气缸711和x轴推板712连接，所述x轴推板712在x轴气缸711的作用下能沿x轴运动，x轴推板712运动过程中将划片箱81向x轴挡板713方向推动，x轴挡板713固定在周转台7上，x轴挡板713 对划片箱81在x轴方向进行定位，当划片箱81被x轴推板712推至x轴挡板713处， x轴气缸711停止继续向前运动，向后缩回；所述y轴定位件包括y轴气缸714、y 轴推板715和y轴挡板716，所述y轴气缸714和y轴推板715连接，所述y轴推板715 在y轴气缸714的作用下能沿x轴运动，y轴推板715运动过程中将划片箱81向y 轴挡板716方向推动，y轴挡板716固定在周转台7上，y轴挡板716对划片箱81在 y轴方向进行定位，当划片箱81被y轴推板715推至y轴挡板716处，y轴气缸714 停止继续向前运动，向后缩回。通过x轴定位件和y轴定位件对划片箱81进行定位，定位准确。对划片箱81进行定位后，划片箱81等待移动组件5将其运输到工作台1上进行上料操作。
37.参见附图1和附图3所示，本实施例中所述移动组件5包括移动驱动件、x轴滑杆51和x轴滑块，所述x轴滑杆51设置在所述工作台1上方，所述x轴滑块在移动驱动件的作用下能沿着所述x轴滑杆51移动。所述移动组件5还包括夹爪组件 53，所述夹爪组件53包括夹爪531和夹爪驱动件532，所述夹爪531和所述夹爪驱动件532连接，所述夹爪531在所述夹爪驱动件532的作用下能沿z轴方向移动。移动驱动件驱动x轴滑块至上料定位组件71上方，通过夹爪组件53抓住划片箱 81，然后通过x轴滑块沿着x轴滑杆51移动，将划片箱81放置在第一通孔11中，使划片箱81穿过第一通孔11。第一通孔11下方设置有升降组件6，所述升降组件6包括升降驱动件61，所述升降驱动件61设置在所述第一通孔11下方并和所述工作台1连接，通过升降装置对划片箱81的高度进行调节。
38.参见附图1、附图4和附图5所示，本实施例中所述上料组件2设置在所述第一通孔11一侧，所述上料组件2包括上料驱动件21和上料推杆22，所述上料驱动件21和上料推杆22连接，所述上料驱动件21带动所述上料推杆22运动；所述下料组件3位于所述第一通孔11远离所述上料组件2一侧，所述下料组件3包括下料驱动件31和下料推杆32，所述下料驱动件31和所述下料推杆32连接，所述下料驱动件31带动所述下料推杆32运动。所述下料组件3还
包括下料气缸33，所述下料气缸33设置在工作台1上，所述下料气缸33位于所述第一通孔11远离所述下料推杆32的一侧。在下料时，通过下料驱动件31带动下料推杆32进行运动，下料推杆32运动时，推动划片811进入划片箱81，通过下料气缸33设置在第一通孔11 远离下料推杆32的一侧，对划片811下料时进行定位。通过上料组件2和下料组件3的设置，可以自动稳定的进行上下料，提高了加工效率。
39.参见附图5和附图6所示，本实施例还包括划片陈列板4，所述划片陈列板4 设置在所述工作台1上，所述划片陈列板4设置在所述第一通孔11远离所述上料组件2一侧，所述划片陈列板4上设置有第二通孔41，所述下料推杆32穿过所述第二通孔41。所述划片陈列板4上表面设置有多个凹槽42，所述凹槽42内设置有凸起部43，所述凸起部43上设置有滚动件44。凹槽42内设置的凸起部43对划片 811放置的位置进行限制，通过滚动件44的设置，减少了在划片811放置过程中和凸起部43的摩擦力，防止划片表面进行磨损。
40.参见附图1和附图7所示，本实施例所述移动组件5还包括吸盘组件52，所述吸盘组件52和所述x轴滑块连接，在x轴滑块的带动下能沿x轴方向移动；所述吸盘组件52包括第一吸盘组件521和第二吸盘组件522，所述第二吸盘组件522包括吸盘气缸5221，所述吸盘气缸5221和吸盘5225连接，所述吸盘气缸5221能带动所述吸盘5225在y轴方向移动。所述第二吸盘组件522还包括吸盘滑杆5223和吸盘滑块5224，吸盘滑块5224和吸盘气缸5221连接，吸盘5225和吸盘滑块5224 连接，吸盘滑块5224在吸盘气缸5221的作用下沿着吸盘滑杆5223移动。
41.工作过程：将盛装有待切割划片811的划片箱81放置在周转台7上，通过上料定位组件71对划片箱81进行定位，x轴滑块带动夹爪组件53移动至上料定位组件 71上方，通过夹爪531抓住划片箱81，然后将划片箱81放置在第一通孔11处，升降组件6对划片箱81高度进行调节，通过上料组件2将划片811推至划片陈列板4 上，通过吸盘组件52将划片811移动至合适位置，然后通过吸盘组件52将划片811 移动至切片台82进行切片。切片完成后，通过吸盘组件52将划片转移至划片陈列板4上，通过下料组件3将划片推至划片箱81内，然后通过移动组件5将划片箱 81移动至下料定位组件72处。
42.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
43.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
44.以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。